ICS 71.060.30 HG G 11 备案号：41827—2013 中华人民共和国化工行业标准 HG/T 4509—2013 工业高纯氢氟酸 High purity hydrofluoric acid for industrial use 2014-03-01实施 2013-10-17发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 HG/T 4509—2013 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准的附录A为资料性附录。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会（SAC/TC63/SC1)归口。 泰化工科技有限公司、浙江蓝苏氟化有限公司、贵州省产品质量监督检验院、巨化集团技术中心、山东兴 氟新材料有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、多氟多化工股份有限公司、中海油天津化工研究设计 院、国家无机盐产品质量监督检验中心。 本标准主要起草人：田志扬、赵晓亚、杜宏军、林益兴、施卫寅、钟宏波、周晓红、周鹏鹅、孙宏华、刘海 霞、郭风鑫。 1 HG/T45092013 工业高纯氢氟酸 1范围 本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级，要求，试验方法，检验规则，标志、标签，包装、运输和贮存及 安全。 本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超 大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T191—2008包装储运图示标志 GB/T6678化工产品采样总则 GB/T6680液体化工产品采样通则 GB/T6682一2008分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 HG/T3696.1 无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第1部分：标准滴定 溶液的制备 HG/T3696.2 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分：杂质标准 溶液的制备 HG/T3696.3 无机化工产品 品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第3部分：制剂及制 品的制备 3分子式和相对分子质量 分子式：HF 相对分子质量：20.01（按2011年国际相对原子质量） 4分级 工业高纯氢氟酸按用途分为四个等级。 EL级：主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造，以及作为生产其他高纯氟化物的原料； UP级：主要用于线宽为0.8μm~1.2μm集成电路的清洗与蚀刻； UP-S级：主要用于线宽为0.2μm~0.6μm集成电路的清洗与蚀刻； UP-SS级：主要用于线宽为0.09μm~0.2μm集成电路的清洗与蚀刻。 5要求 5.1外观：无色透明液体。 5.2工业高纯氢氟酸按本标准规定的试验方法检测应符合表1技术要求。 1 HG/T 4509--2013 表 1 技术要求 指 标 EL级 UP级 UP-S级 UP-SS级 总酸度(以HF计)w/% 49.0±0.5 49.0±0.5 49.0±0.5 49.0±0.5 氟硅酸（HzSiFs）w/（mg/kg） 50 50 30 30 氛化物（以Cl计）w/（mg/kg） 5 5 0. 2 0. 05 硝酸盐(以NO;计）w/(mg/kg) 3 3 0. 1 0. 05 磷酸盐(以POi-计)w/(mg/kg) 1 1 0. 1 0. 05 硫酸盐(以 SO-计)w/(mg/kg) ≤ 5 5 0. 2 0. 05 铝(Al)w/(μg/kg) 100 10 1 0. 1 砷(As)w/(μg/kg) 200 10 1 0. 1 硼(B)w/(μg/kg) 100 10 1 0. 1 (Ba)w/(μg/kg) 100 10 - 0. 1 钙(Ca)w/(μg/kg) 100 10 1 0. 1 镉(Cd)w/(μg/kg) 50 10 1 0. 1 铬(Cr)w/(μg/kg) 20 10 1 0. 1 铜(Cu)w/（μg/kg) 20 10 0. 1 铁(Fe)w/(μg/kg) 100 10 - 0. 1 钾(K)w/(μg/kg) 100 10 0. 1 锂(Li)w/(μg/kg) 20 10 0. 1 镁(Mg)w/(μg/kg) 100 10 0. 1 锰(Mn)w/(μg/kg) 50 10 0. 1 钠(Na)w/(μg/kg) 100 10 0. 1 镍(Ni)w/(μg/kg) 50 10 1 0. 1 铅(Pb)w/(μg/kg) 50 10 1 0. 1 钛(Ti)w/(μg/kg) 100 10 0. 1 锑(Sb)w/(μg/kg) 50 10 1 0. 1 锡(Sn)w/(μg/kg) 20 10 1 0. 1 锌(Zn)w/(μg/kg) 50 10 1 0. 1 (≥1. 0 μm)/(个/mL) 25 一 - : (≥0.5μm)/(个/mL) ≤ 颗粒 一 25 5 - (≥0.2μm)/(个/mL) - 20 6试验方法 6. 1 警告 本试验方法中所使用的部分试剂和样品具有腐蚀性，操作者应小心谨慎，避免与皮肤接触，如接触 到皮肤上应立即用水冲洗，严重者应立即治疗。 2 HG/T 4509—2013 6.2一般规定 本标准所用试剂和水，在没有注明其他要求时，均指分析纯试剂和GB/T6682--2008中规定的三 级水，试验中所用标准滴定溶液、杂质标准溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按 HG/T3696.1、HG/T3696.2、HG/T3696.3的规定制备。 6.3外观检验 在自然光下，将试样置于聚乙烯瓶中，用目视法判定外观。 6.4总酸度的测定 6.4.1方法提要 以酚酞为指示剂，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定试样的总酸度。 6.4.2试剂 6.4.2.1氢氧化钠标准滴定溶液：c(NaOH)~1mol/L。 6.4.2.2酚酰指示液：10g/L。 6.4.3分析步骤 在带盖的聚乙烯塑料瓶中加人约5mL水，称量，用塑料管加入约1.5g（约1.3mL)试样，再称量， 两次称量均精确至0.0002g，差减计算所称取试样的质量。用约50mL水将试样转移至塑料杯中，加 2滴酚酰指示液，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至溶液呈粉红色并保持15s不消失为终点。 6.4.4结果计算 总酸度以氟化氢（HF)的质量分数W1计，按公式（1)计算： (1) m 式中： V-—滴定所消耗氢氧化钠标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升（mL）； c-—氢氧化钠标准滴定溶液浓度的准确数值，单位为摩尔每升（mol/L）； m--一试料质量的数值，单位为克（g）； M一一氟化氢（HF）摩尔质量的数值，单位为克每摩尔（g/mol)（M=20.01）。 取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值不大于0.2%。 6.5氨硅酸含量的测定 6.5.1方法提要 用氯化钠与试样中氟硅酸反应生成不挥发的盐，蒸发除去氟化氢。在弱酸性介质中，加适量硼酸抑 盐的干扰，将硅钼杂多酸选择还原为硅钼蓝，在波长795nm处测量蓝色络合物的吸光度。 6.5.2试剂 6.5.2.1氯化钠溶液：10g/L。 6.5.2.2 硫酸溶液：1十3，用优级纯试剂配制。 6.5.2.3盐酸溶液：1+5。 6.5.2.4 硼酸溶液：40g/L，用优级纯试剂配制。 6.5.2.5 草酸溶液：100g/L。 6.5.2.6钼酸铵溶液：100g/L，当溶液出现沉淀时应重新配制。 6.5.2.7还原液 6.5.2.7.1将7g无水亚硫酸钠溶于50mL水中，加人1.5g1-氮基-2-萘酚-4-磺酸，搅拌至溶解。 6.5.2.7.2将90g偏重亚硫酸钠溶于900mL水中。 6.5.2.7.3混合6.5.2.7.1和6.5.2.7.2两种溶液，并稀释至1000mL，必要时过滤，将此溶液置于 阴凉、避光处保存，使用期不超过20d。 3 HG/T 4509—2013 6.5.2.8氟硅酸标准储备溶液：1mL溶液含氟硅酸（H2SiFs）1.000mg。 称取0.417g于1000℃灼烧至质量恒定的二氧化硅，置于铂埚中，加5g无水碳酸钠，充分搅 匀。置于1000℃的高温炉中使其慢慢熔融，放置冷却。加人热水溶解，冷却后全部移入1000mL容 量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。贮存于聚乙烯瓶中。使用期不超过30d。 6.5.2.9氟硅酸标准使用溶液：1mL溶液含氟硅酸（H2SiFs）0.050mg。 用移液管移取5mL氟硅酸标准储备溶液（6.5.2.8），置于100mL容量瓶中，用水稀释至刻度， 摇匀。 6.5.3仪器、设备 6.5.3.1分光光度计：配有2cm比色皿。 6.5.3.2铂血：容积约100mL。 6.5.4分析步骤 6.5.4.1工作曲线的绘制 在一系列100mL容量瓶中，分别加人0.00mL、2.00mL、4.00mL、6.00mL、8.00mL和 10.00mL氟硅酸标准使用溶液（6.5.2.9），加水至约10mL，加10mL氯化钠溶液，加4mL盐酸溶液、 35mL硼酸溶液，放置5min。加10mL钼酸铵溶液，摇匀，放置15min。加5mL草酸溶液、20mL硫 酸溶液，摇匀后再加2mL还原液，用水稀释至刻度，摇匀，放置20min。在分光光度计上，于795nm波 长处，使用2cm比色血，以水调零，测定每个标准溶液的吸光度。 从每个标准溶液的吸光度中减去