ICS 77.120.99 YS H 68 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T9542014 金砷蒸发料 Gold-arsenicalloyfor evaporating 2014-10-14发布 2015-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T9542014 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)负责归口。 本标准起草单位：北京达博有色金属焊料有限责任公司、有色金属技术经济研究院。 本标准主要起草人：陈彪、向磊、杜连民、张蕴、向翠华、闫茹、赵月国、禹洁丽、杨志新、周晓光。 YS/T 954—2014 金砷蒸发料 1范围 本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合 同(或订货单)等内容。 本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于木文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T11066.1金化学分析方法金量的测定火试金法 GB/T15077量 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T25934.1高纯金化学分析方法第1部分：乙酸乙酯萃取分离-ICP-AES法测定杂质元索 的含量 3要求 3.1产品分类 3.1.1产品按化学成分分为Z-Au99.80As和Z-Au99.50As两种牌号。 3.1.2产品主要以柱状和线盘状为主，产品形状及供货状态见表1。 表 1 产品形状 供货状态 形状 柱状 直径为0.5mm~8mm、长度为2mm~100mm的线材 硬态 直径为0.5mm～~2mm、质量在100g~500g的线材盘成线盘状为主，线盘外径为100mm~ 线盘状 300mm 3.2产品标记示例 3.2.1 柱状产品标记： Z-Au99.80As,Φ×mm 长度 直径 示例：直径为2mm、长度为3mm、成分为99.80%的柱状金砷蒸发料标记为：Z-Au99.80As，2×3mm。 1 YS/T954—2014 3.2.2 线盘状产品标记： Z-Au99.80As，mmg/盘 质量 线径 示例线径为0.5mm、每盘100g质量的线盘状金砷蒸发料标记为：Z-Au99.80As，$0.5mm，100g/盘。 3.3化学成分 产品化学成分应符合表2的规定，其中金含量直接测出，砷的测量方法按照附录A的规定进行。 表 2 牌 Z-Au 99.80 As Z-Au 99.50 As Au(质量分数)/%，不小于 99.8 99.5 合金成分(质量分数)/% As 0.20±0.02 0.50±0.05 Ag 0.000 2 0.000 2 Cu 0.0001 0.000 1 Fe 0.000 2 0.000 2 Pb 0.000 1 0.000 1 18 0.000 1 0.000 1 qs 0.000 1 0.0001 单个杂质含.量(质放分数)/% IS 0.000 2 0.000 2 不大于 Pd 0.000 1 0.000 1 Mg 0.000 1 0.000 1 Sn 0.000 1 0.000 1 Cr 0.000 1 0.000 1 IN 0.000 1 0.000 1 Mn 0.000 1 0.000 1 3.4尺寸及允许偏差 产品形状如图1所示，柱状产品的尺寸及允许偏差应符合表3和表4的要求；线盘状产品外径为 100mm~300mm，长度不做要求。 D. 图1 金砷蒸发料 2 YS/T 954—2014 表 3 单位为毫米 直径d 允许偏差 >0.1~1.0 ±0.01 >1.0~5.0 ±0.08 >5.0~7.0 ±0.09 >7.0 ±0.1 表 4 单位为毫米 长度L 允许偏差 ≤10 ±1.0 >10 ±2.0 3.5外观质量 3.5.1产品表面应清洁，不应有裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷 3.5.2产品表面允许有不超出直径允许偏差的凹坑和划痕等缺陷。 3.5.3产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹。 4 试验方法 4.1产品的砷化学成分仲裁分析方法按附录A的规定进行，金含量按GB/T11066.1的规定进行，单 个杂质元素含量按GB/T25934.1的规定进行。 4.2产品尺寸测量按GB/T15077的规定进行。 4.3 外观质量检验采用目视进行，必要时可采用5～10倍放大镜或10～25倍双目显微镜检查。 5 检验规则 5.1 检查与验收 5.1.1 产品由供方进行检验，保证产品质量符合本标准规定并填写质量证明书。 5.1.2 需方可对收到的产品按本标准规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同，或技术协议） 规定不符合时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，可委托双方 认可的单位进行检验，仲裁取样在需方由双方共同进行。 5.2组批 产品应成批提交验收，每批产品应为同一牌号、同一炉号、同一状态、同一线材直径的产品组成。 5.3检验项目 每批产品应进行化学成分、尺寸、外观质量检验。 YS/T954—2014 5.4取样 检验项目、取样位置及数量应符合表5的规定。 表5 检验项目 取样规定 要求的章条号 检验的章条号 化学成分 按批在每个铸锭的任意部位或半成品时任取一个试样 3.3 4.1 柱状产品按数量的1%进行取样，但不得少于3个；线盘状产品分 尺寸 盘前任意取3个部位进行直径测量，每部位测两次直径，两次互 3.4 4,2 为 90° 外观质量 逐件检验 3.5 4.3 5.5 5检验结果的判定 5.5.1 化学成分不合格时，则判该批产品为不合格。 5.5.2尺寸不合格，重新取双倍样进行重复试验，若仍有不合格，则判该批产品不合格。但允许对余下 的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货。 5.5.3表面质量不合格，判该件产品不合格。 6标志、包装、运输、贮存 6.1 标志、包装 6.1.1 每件产品应附有标签，其上注明： a) 供方名称； b) 产品名称及牌号； 规格尺寸； 批号； (P e) 净重； f) 生产日期。 6.1.2 将检验的合格产品按要求分件包装。 6.1.3 产品内包装采用真空或容器密封，内外包装间装防震的填充物。 6.2 运输、贮存 6.2.1 运输中应防止包装箱挤压变形、碰伤、雨淋、受潮及恶劣环境。 6.2.2 产品应在清洁、干燥、无腐蚀性环境中贮存。 6.3 质量证明书 每批产品应附有质量证明书，其上注明： 供方名称； b) 需方名称； 产品名称，产品牌号； (P 采购技术文件编号或本标准编号； 4 YS/T954—2014 批号、规格尺寸、净重、件数； e) f) 各项分析检验结果、检验人员及检验部门印记； g) 出厂日期。 合同（或订货单）内容 7 本标准所列材料的订货单(或合同)应包括下列内容： a) 供方名称； b) 需方名称； c) 产品名称； 产品牌号； d) 规格尺寸； e) f) 数量或净重； g) 本标准编号； h) 供货时间； i) 其他标准之外技术协议、采购规范编号、供货要求等。 5