ICS 23.160 J78 备案号：51587—2015 中华人民共和国机械行业标准 JB/T6922—2015 代替JB/T6922—2004 真空蒸发镀膜设备 Vacuum evaporation coating plant 2015-10-10发布 2016-03-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T6922—2015 目 次 前言 范围. 规范性引用文件. 型号、形式与基本参数 3.1 型号. 3.2 结构形式. 3.3 基本参数， 4技术条件. 4.1 设备正常工作条件， 4.2 结构要求. 4.3 制造要求. 4.4 安全防护要求 试验方法 5.1 极限压力测量. 5.2 抽气时问测量 5.3 升压率的测量 5.4 电阻蒸发源通电试验 5.5 电子束蒸发源通电试验. 5.6 镀膜室工件烘烤装置有效加热区加热均匀度的测量 检验规则， 7 标志、包装、运输与贮存， 7.1 标志. 7.2 包装.. 7.3 运输. 7.4 贮存 JB/T6922—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替JB/T6922一2004《真空蒸发镀膜设备》，与JB/T6922一2004相比主要技术变化如下： 删除了GB/T11164一1999，增加了GB/T13384（见第2章，2004年版的第2章）； 将原标准第3章中的“型式”修改为“形式”（见第3章，2004年版的第3章）； 删除原标准表1中有关镀膜室尺小的内容（见表1，2004年版的表1）： 删除了原标准4.1中对GB/T11164一1999的引用，增加了对“环境温度”“环境相对湿度”“冷 却水进水温度”“冷却水质量”的要求，以及对电源、工作环境和产品使用说明书内容的要求 （见4.1，2004年版的4.1）； 删除了原标准中以扩散泵为主泵时的要求（见2004年版的4.2.4）； -增加了对触摸屏的要求（见4.2.8）； 一增加了对蒸发热源的加热器的清洁要求（见4.2.9，2004年版的4.2.9)； -增加了对不锈钢保护罩的要求（见4.2.12)； 修改了原标准针对负载情况的保护要求（见4.4.7，2004年版的4.4.7)； 修改了原标准4.4.11中对标牌的要求（见4.4.11，2004年版的4.4.11)； 修改了原标准试验条件中对所用真空计的要求【见5.1.1c），2004年版的5.1.1c）]； 修改了原标准中镀膜室工件烘烤装置有效加热区加热均匀度的测量（见5.6，2004年版的5.6）； 修改了原标准中的公式（2），增加了公式（3），且将温度表示符号由改为T见公式（2）和 （3），2004年版的公式（2）]； 一删除了原标准中对辐射的测量要求（见2004年版的6.2.2.1)； 修改了原标准中对制造厂商的要求【见7.1a），2004年版的7.1a）]； 增加了对设备包装的要求（见7.2.1，2004年版的7.2.1）。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：中山凯旋真空技术工程有限公司。 本标准参加起草单位：湖南玉丰真空科学技术有限公司、东莞劲胜精密纠件股份有限公司、肇庆市 科润真空设备有限公司、东莞市汇成真空科技有限公司、人连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研 究所。 本标准主要起草人：李龙军、吴樱华、周毅、王长明、戴晋福、罗志明、陈人民、李玉英。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： JB/T6922—1993，JB/T6922—2004。 II JB/T6922—2015 真空蒸发镀膜设备 1范围 本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、 包装、运输和贮存。 本标准适用于极限压力在5×10-4Pa5×10-3Pa范用内的真空蒸发镀膜设备（以下简称设备）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 6070 真空技术法兰尺寸 GB/T13306 标牌 GB/T13384机电产品包装通用技术条件 JB/T1090 J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸 JB/T 1091 JO型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸 JB/T 1092 O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸 JB/T 7673 真空技术真空设备型号编制方法 型号、形式与基本参数 3 3.1 型号 设备的型号应符合JB/T7673的规定。 3.2 结构形式 设备主要由镀膜室、蒸发系统、真空系统、机架、保护装置及电气控制装置组成。 3.3 基本参数 设备的基本参数应符合表1的规定。 表1 项次 参数名称 参数数值 分档 B A 真帘 极限压力 ≤5× 104 ≤5×10-3 指标 抽气时间 min ≤15（从大气压至7×10-3Pa） ≤8（从大气压至7×10-Pa） 升压率Pa/h ≤8×10-l ≤2 工件烘烤装置温度调节范围 空温~200℃、空温～300℃、3 空温~350℃、空温~400℃、空温~600℃ 2 有效加热区加热均匀度 ≤5% 3 JB/T6922—2015 4技术条件 4.1设备正常工作条件 4.1.1环境温度：10℃~35℃。 4.1.2环境相对湿度：不人下75%。 4.1.3冷却水进水温度：不高25℃。 4.1.4冷却水质量：城市自来水或质量相当的水。 4.1.5供电电源：380V、三相.五线制、50Hz；电压允许范围为361V～399V；频率允许范围为49Hz~ 51 Hz。 4.1.6.T作环境：室内应整洁；地面、天花板及设备周围墙壁应干净：空气应清洁，不应有可引起电 器及其他金属表面腐蚀或引起金属问导电的尘埃或气体存在。 4.1.7设备所需的总功率及压缩空气、液氮、冷却水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书中 写明。 4.2结构要求 4.2.1设备的结构应布局合理，造型美观，便于操作和维修。 4.2.2诊 设备中静、动密封的结构形式及尺寸应符合GB/T6070和JB/T1090～1092的规定。 4.2.3 在低真空和高真空管道及镀膜室上应装设真空规管接口，分别测量各部位的压力。 4.2.4 镀膜室应有观察窗，对在镀膜过程中发生射线的设备，观察窗上应加装防射线镜片。 4.2.5带T件烘烤装置的设备，应有测温装置。 4.2.6T件架旋转机构的转速应符合产品设计要求。 4.2.7装有离子轰山装置或宽束低能离子源装置的设备，在产品设计要求规定的参数范围内应能正常 连续稳定T作30min以上。 4.2.8设备配有触摸屏的，触摸屏的界面应清晰，易于操作，并且应有程序备份且随机携带。 4.2.9采用钨丝作为蒸发热源的加热器加热前应进行清洁处理，应能使蒸镀材料正常蒸发，且在蒸发 过程中，加热器的儿何形状应不影响正常蒸发。 4.2.10设备的蒸发源工作状况应稳定，易丁调节控制。对各类蒸发源（如电阻蒸发源、电子束蒸发源、 离子束蒸发源、激光蒸发源、感应式蒸发源等）的技术要求应按相应的产品标准做具体规定。 4.2.11设备采用低电压、人电流电阻蒸发源时，每个蒸发源加热器应在电压4V20V、电流50A~ 180A状态下正常T作。 4.2.12镀膜室内壁宜配有不锈钢保护罩，并易丁拆装清洗。 4.3制造要求 4.3.1设备的零、部件机械加工质量及焊接质量、装配质量应符合制造厂技术文件的规定。 4.3.2设备镀膜室内表面及各密封表面的表面粗糙度Ra值宜不人」1.6μm，且对.T.作时处」真空状态 的各表面应进行有效的真空清洁处理并予以干燥。各转动件、升降机构等动作应灵活，不得有卡、滞 松、抖及异常声响等现象，需用润滑脂的动密封处应充入适量真空油脂。 4.3.3设备主要零部件的材料应符合相应材料标准的规定。 4.3.4设备配套的电气装置的质量应符合制造厂技术文件的规定，并应保证设备运行和操作时安全可 靠。装置中线路的排布应整齐、清晰、便丁维修，设备中电器回路的绝缘电阻应符合表2的规定 4.3.5设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗不平表面。零、部件结合 面的边沿应整齐匀称，不得有明显错位。金属零件的镀层应牢固，无脱落及生锈等现象，所有紧固件应 有防锈层。设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固，无脱落、起皮等现象。 2 JB/T6922—2015 表 2 电压kv 0.5 0.5~1 1~3 3~10 绝缘电阻M2 ≥2 ≥2.5 ≥3.5 ≥6 4.3.6设备中外购的配套产品，应符合相应的产品标准，并应有质量合格证。设备中白制的配套产品， 经制造厂检验部门检验合格后方可使用。 4.3.7设备中各类蒸发源、辅助离子源及离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、膜厚监控等装 置，应逐项调试和联合调试，其性能均应达到设计要求，运行可靠。工件加热到额定温度，真空室外表 面温度不得高于45℃，设备运动部分应能正常T作。 4.4安全防护要求 4.4.1关键部件的水冷系统应有断水或水压不足的报警装置，并且与电源、真空系统、传动系统相关 联的部分应有联锁保护机构，且保护机构的动作应灵敏、可靠。 4.4.2对装设电磁或气动阀门的设备，镀膜室充气阀与高真空阀及高真空阀与预抽阀应保持互锁，突 然停电时，阀门应能白动关闭。 4.4.3设备及其附属的电气装置均应有接地装置，接地处应有明显标记。 4.4.4在配电板上或电线管内不得用由几段连接起来的电线，电线出入口及电线穿过的金属壁应用光 滑的