ICS25.120.40;ICS25.080.99 J59 中华人民共和国机械行业标准 JB/T13699.1—-2019 电解磨料线切割机床 第1部分：精度检验 Electrochemical abrasive wire sawing machines- Part l: Testing of accuracy 2020-04-01实施 2019-08-02发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T13699.1-2019 目 次 前言 1范围. 2规范性引用文件， 3主要零部件和坐标轴的命名. 4使用说明。 4.1计量单位... 4.2 参照GB/T17421.1—1998.. 4.3 检验次序 4.4 检验的实施 测量仪器. 4.5 4.6 最小公差， 4.7 定位精度检验并参照GB/T17421.2—2016.. 4.8 加工检验， 5几何精度检验 5.1基本线性运动. 5.2线辊 6定位精度检验， 7、加工检验 参考文献， 图1 机床及其坐标轴. 表1 机床主要零部件名称.. JB/T13699.1-2019 前 言 JB/T13699《电解磨料线切割机床》分为两个部分： —第1部分：精度检验； 一第2部分：技术条件。 本部分为JB/T13699的第1部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分由中国机械工业联合会提出。 本部分由全国特种加工机床标准化技术委员会（SAC/TC161）归口。 本部分起草单位：南京航空航天大学、苏州电加工机床研究所有限公司。 本部分主要起草人：汪炜、鲍官培、赵建社、云乃彰、于志三、王应。 本部分为首次发布。 II JB/T13699.1--2019 电解磨料线切割机床第1部分：精度检验 1范围 JB/T13699的本部分规定了电解磨料线切割机床的主要零部件和坐标轴的命名、使用说明、几何精 度检验、定位精度检验以及加工检验。 本部分适用于（但不限于）加工硅、锗等半导体材料的电解磨料线切割机床（以下简称机床）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T1958一2017产品几何量技术规范（GPS）几何公差检测与验证 GB/T17421.1一1998机床检验通则第1部分：在无负荷或精加工条件下机床的几何精度 GB/T17421.2一2016机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定 GB/T30860—2014太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 GB/T30869—2014太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法 3主要零部件和坐标轴的命名 机床及其坐标轴如图1所示，机床主要零部件名称见表1。 +Z 图1 机床及其坐标轴 JB/T13699.12019 表1机床主要零部件名称 序号 中文名称 英文名称 1 横梁 beam 2 丝杠 lead screw 3 头架(Z轴) head (Z-axis) 4 导套 guide sleeve 5 导柱 guide pole 6 工件安装板 workpiece holder 7 前轴承箱 front bearing box 8 线电极 wire electrode 9 线辊 wire guide 10 后轴承箱 rear bearing box 床身 11 bed 12 底座 base 4 使用说明 4.1计量单位 在本部分中，所有线性尺寸、偏差及相应的公差均以毫米为单位；角度以度为单位，角度偏差及相 应的公差用比率表示，但在某些情况下可以微弧度或角秒为单位，下列表达式是等效的： 0.010/1000=10×10~10μrad~2" 4.2参照GB/T17421.11998 使用本部分时应参照GB/T17421.1一1998执行，特别是机床检验前的安装和其他运动件的预热、 计量方法的说明以及检验设备的推荐精度。 本部分第5章～第7章中的“检验方法”应符合GB/T17421.1--1998的规定，并附有GB/T 17421.1-1998中相关条文的清单。 4.3检验次序 本部分给出的检验项目的顺序并不限定检验的实际次序。为了简化仪器或量具的安装，检验可按任 意次序进行。 4.4检验的实施 检验机床时并不完全对本部分规定的全部项目进行检验。当检验项目用于验收目的时，用户应在取 得供应商（制造厂）同意的情况下，选择其关心的机床相关部件和性能指标的检验项目。但在订购机床 时，合同应明确指定这些检验项目。合同仅仅规定引用本部分来验收检验，但未说明如何实施检验以及 在相应费用上未达成一致时，不能视为对任何缔约方有约束力。 4.5测量仪器 第5章～第7章的检验项目中指定的测量仪器仅是举例，也可使用能测量同样参数和至少同样精度 的其他仪器。指示器应有0.002mm或更高的分辨力。 4.6最小公差 当实测长度与本部分给出的长度不同时，公差应按照GB/T17421.1-1998中2.3.1.1的规定进行折 2 JB/T13699.1—2019 算。当折算结果小于0.005时，最小公差值应计到0.005。 4.7定位精度检验并参照GB/T17421.2—2016 检验项目P1仅适用于数控轴Z。 检验时应参照GB/T17421.2一2016执行，特别是在环境条件、机床预热、测量方法及结果的计算 和数据处理方面。 机床有其他数控轴时，应由供应商（制造厂）与用户协商一致再进行检验。 4.8加工检验 对于加工检验项目，若供应商（制造厂）与用户协商一致，也可根据协议进行检验。 5几何精度检验 5.1 基本线性运动 检验项目 G1 Z轴运动直线度： a）在ZX平面（垂直平面）内： b）在ZY平面（垂直平面）内。 简图 b) 公差 实测值 a)和b) a) 任意500测量长度上为0.015。 b) 测量仪器 直角尺、指示器和量块，或采用光学方法。 检验方法（见GB/T17421.1-1998中5.2.3.2.1.1） 指示器固定在工件安装板底面，在机床底座XY平面内放置直角尺。 a）调整直角尺在ZX测量面内与Z方向平行，指示器测头沿X方向触及直角尺侧面，在整个测量长度上移动Z 轴，并记录指示器读数，取指示器读数的最大差值为误差值。 b）调整直角尺在ZY测量面内与Z方向平行，指示器测头沿Y方向触及直角尺侧面，在ZY平面内按同样方法重 复检查。