ICS 71.020 CCS J 74 63 青海省 地方 标准 DB 63/T 2467—2025 多晶硅制造装置基于风 险的评价与检验技 术规范 2025 - 09 - 24发布 2025 - 11 - 01实施 青海省市场监督管理局 发布 DB 63/T 2467 —2025 I 目次 前 言 ................................ ................................ ........... II 1 范围 ................................ ................................ ................ 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ...... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ .......... 1 4 装置损伤分布 ................................ ................................ ........ 2 5 关键设备主要损伤及部位 ................................ .............................. 4 6 风险评估过程及要求 ................................ ................................ .. 4 7 基于风险的检验策略制定 ................................ .............................. 5 8 风险评估质量评定 ................................ ................................ .... 6 附录 A （资料性） 多晶硅制造装置损伤分布流程图 ................................ .... 7 附录 B （资料性） 多晶硅制造装置风险评估质量评定 ................................ . 11 DB 63/T 2467 —2025 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国特种设备检测研究院提出。 本文件由青海省市场监督管理局归口。 本文件起草单位：中国特种设备检测研究院、华北科技学院、青海省特种设备检验检测院、青海中 特检特种设备检测有限公司、内蒙古自治区特种设备检验研究院、北京化工大学、西安交通大学、宁波 市特种设备检验研究院、江苏省特种设备安全监督检验研究院、榆林市特种设备检验检测 院、青海丽豪 半导体材料有限公司、武汉左晟检测技术有限公司、上海歌略软件科技有限公司。 本文件主要起草人：路笃辉、王目凯、丛广佩、李兵、侯令玮、童世合、刘大隆、李翔、杨硕、王 伟华、张峰、李恒、冉祎、高东、徐业银、赵盈国、励凯宏、胡健、马殿国、杨白冰、宋策、赵梦曦、 王强、丁彦龙、赵毅、李修能、奚春洪。 本文件由青海省市场监督管理局监督实施。 DB 63/T 2467 —2025 1 多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范 1 范围 本文件规定了多晶硅制造装置基于风险的评价与检验的术语和定义、装置损伤分布、关键设备主要 损伤及部位、风险评估过程及要求、基于风险的检验策略制定、风险评估质量评定等内容。 本文件适用于多晶硅制造装置基于风险的评价与检验过程。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 26610.1 承压设备系统基于风险的检验实施导则 第1部分：基本要求和实 施程序 GB/T 26610.2 承压设备系统基于风险的检验实施导则 第2部分：基于风险的检验策略 GB/T 26610.4 承压设备系统基于风险的检验实施导则 第4部分：失效可能性定量分析方法 GB/T 26610.5 承压设备系统基于风险的检验实施导则 第5部分：失效后果定量分析方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 风险评估 风险识别、风险分析与风险评价的全过程。 [来源：GB/T 26610.1 -2022,3.19] 失效 系统、结构、设备或部件丧失规定的功能 . [来源：GB/T 26610.1-2022,3.7] 基于风险的检验 一种重点针对材料损伤引起的设备失效的风险评估和管理风险过程。 [来源：GB/T 26610. 1-2022,3.20] 损伤模式 DB 63/T 2467 —2025 2 随着时间的推移 ,引起材料发生有害微观和 (或)宏观变化的过程 [来源：GB/T 26610. 1-2022,3.5] 4 装置损伤分布 反应工段 4.1.1 损伤模式分布 反应工段的损伤模式分布见图 A.1。 4.1.2 硅粉计量加料系统 硅粉计量加料系统损伤分布如下： a) 硅粉料仓至氢化反应器入口：大气腐蚀； b) 阀门：多相流冲蚀。 4.1.3 反应系统 反应系统损伤分布如下： a) 反应器至反应产物 /氢气热交换器入口：σ相脆化 +475℃脆化+晶间腐蚀 +再热裂纹 +盐酸腐蚀 （停产降温过程） +氯化物应力腐蚀开裂（停产降温过程）； b) 反应器至反应产物 /氢气热交换器连接管道：多相流冲蚀； c) 反应产物 /氢气热交换器至混合器：含固多相流冲蚀 +盐酸腐蚀（停产降温过程） +氯化物应力 腐蚀开裂（停产降温过程）。 4.1.4 注氢系统 注氢系统损伤分布如下： a) 补氢缓冲罐、循环氢缓冲罐至四氯化硅汽化器入口：大气腐蚀 +机械疲劳； b) 四氯化硅汽化器至反应产物 /氢气热交换器入口：大气腐蚀； c) 反应产物 /氢气热交换 器相连管道：盐酸腐蚀（装置停产降温过程） +氯化物应力腐蚀开裂（装 置停产降温过程）； d) 反应产物 /氢气热交换器至四氯化硅 /氢气加热器入口： 475℃脆化+晶间腐蚀 +再热裂纹 +盐酸 腐蚀（装置停产降温过程） +氯化物应力腐蚀开裂（装置停产降温过程）； e) 四氯化硅 /氢气加热器至氢化反应器底部入口：σ相脆化 +475℃脆化+晶间腐蚀 +再热裂纹 +盐 酸腐蚀（装置停产降温过程） +氯化物应力腐蚀开裂（装置停产降温过程）。 4.1.5 注氯化氢系统 注氯化氢系统损伤主要分布在加氢反应器底部氯化氢进料管道：大气腐蚀 +机械疲劳。 分馏工段 4.2.1 损伤模式分布 分馏工段的损伤模式分布见图 A.2。 4.2.2 反应产物洗涤系统 DB 63/T 2467 —2025 3 反应产物洗涤系统损伤分布如下： a) 混合器至洗涤塔入口：盐酸腐蚀 +氯化物应力腐蚀开裂 +含固多相流冲蚀 +大气腐蚀； b) 洗涤塔至冷凝器入口、冷凝液中间储罐入口：盐酸腐蚀 +大气腐蚀； c) 冷凝器至中间热交换器入口、冷凝液中间储罐入口：盐酸腐蚀 +大气腐蚀； d) 中间热交换器至终极冷却器入口：大气腐蚀； e) 冷凝液中间储罐至洗涤塔塔顶回流入口、粗三氯氢硅缓冲罐入口：大气腐蚀。 4.2.3 反应产物紧急排放系统 反应产物紧急排放系统损伤分布如下： a) 洗涤塔塔底出口至紧急排放罐入口：含固多相流 冲蚀+大气腐蚀； b) 紧急排放罐出口至洗涤塔中部回流入口：含固多相流冲蚀 +大气腐蚀。 4.2.4 精馏系统 精馏系统损伤分布如下： a) 氯硅烷缓冲罐至精馏塔入口：大气腐蚀； b) 精馏塔经塔顶冷凝器至渣浆闪蒸罐：盐酸腐蚀 +大气腐蚀； c) 精馏塔冷凝器经精馏塔回流罐至分馏塔塔顶、界区：大气腐蚀； d) 精馏塔至氯硅烷缓冲罐：大气腐蚀； e) 精馏塔塔底出口至精馏塔再沸器入口、渣浆闪蒸罐：大气腐蚀； f) 精馏塔再沸器至精馏塔塔底回流入口：盐酸腐蚀 +大气腐蚀。 渣浆处理工段 4.3.1 损伤模式分布 渣浆处理工段的损伤模式分布见图 A.3。 4.3.2 渣浆蒸发系统 渣浆蒸发系统损伤 分布如下： a) 渣浆闪蒸罐底经渣浆蒸发罐至渣浆旋转干燥机入口： 盐酸腐蚀 +大气腐蚀 +含固多相流冲蚀 （阀 门处）； b) 渣浆高沸蒸发罐至渣浆旋转干燥机入口：盐酸腐蚀 +大气腐蚀 +含固多相流冲蚀（阀门处）； c) 渣浆闪蒸罐顶至一级尾气冷凝器入口：盐酸腐蚀 +大气腐蚀； d) 一级尾气冷凝器至二级尾气冷凝器入口， 或经氯硅烷回收罐至粗三氯氢硅缓冲罐入口：