ICS13.040.40 CCSZ60 31 上海市地方标准 DB31/374—2024 代替DB31/374—2006 半导体行业污染物排放标准 Thedischargestandardsofpollutantsforsemiconductorindustry 2024-2-29发布 2024-05-01实施   发布上海市生态环境局 上海市市场监督管理局DB31/374—2024 I目次 前 言............................................................................II 引 言...........................................................................III 1范围.................................................................................1 2规范性引用文件.......................................................................1 3术语和定义...........................................................................3 4水污染物排放控制要求.................................................................4 5大气污染物排放控制要求...............................................................5 6污染物监测要求.......................................................................7 7达标判定要求........................................................................10 8实施与监督..........................................................................10 附录A（资料性）固定污染源废气含三甲苯的苯系物的测定气袋采样-气相色谱法.11 参考文献........................................................................15DB31/374—2024 II前言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替DB31/374—2006《半导体行业污染物排放标准》，与DB31/374—2006相比，除结构调 整和编辑性改动外，主要技术变化如下： ——更改了水污染物排放标准的标准分级：将原第一类污染物两个级别的排放标准调整为执行同 一级别的排放标准，将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别（见4.1， 2006版的4.1.4）； ——删除了大气污染物的排放速率控制方式（2006版的4.2.2.2）； ——更改了污染物控制项目：增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂 和总锌（见表1）；取消了水污染物控制项目五日生化需氧量（2006版的4.1.4）；增加了大 气污染物控制项目氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧 化物（见5.1.1，2006版的4.2.2.2）； ——更改了部分污染物项目的排放限值：收严了悬浮物、化学需氧量、总有机碳、氨氮、总氰化 物、总铜、总铅、总镉、总镍等9项水污染物项目的排放限值（见4.1，2006版的4.1.4）； 收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物项目的排放限值（见5.1.1，2006 版的4.2.2.2）； ——增加了边界污染物监控要求（见5.3）； ——更改了部分污染物项目的测定分析方法（见6.2.2和6.3.4，2006版的5.4）； ——增加了达标判定要求（见8）。 本文件由上海市生态环境局提出并组织实施。 本文件由上海市生态环境保护标准化技术委员会归口。 本文件起草单位：上海市环境科学研究院、上海市集成电路行业协会。 本文件主要起草人：裴蓓、邵一平、艾丽丽、卢士强、刘扬、陈昊、何姚军、石建宾。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为： ——2006年首次发布为DB31/374—2006； ——本次为第一次修订。DB31/374—2024 III引言 为贯彻《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国大气污染防治法》《中华人民共和国水污 染防治法》《上海市环境保护条例》《上海市大气污染防治条例》，引导半导体行业企业生产工艺和污 染治理技术的进步和可持续发展，结合上海市的实际情况，对DB31/374—2006《半导体行业污染物排 放标准》进行修订。 本文件由上海市人民政府2024年2月7日批准。DB31/374—2024 1半导体行业污染物排放标准 1范围 本文件规定了半导体行业水污染物排放控制要求、大气污染物排放控制要求、污染物监测要求、达 标判定要求、实施与监督等内容。 本文件适用于半导体行业现有企业水和大气污染物排放管理，以及新建企业环境影响评价、环境保 护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T7466水质总铬的测定 GB/T7467水质六价铬的测定二苯碳酰二肼分光光度法 GB/T7470水质铅的测定双硫腙分光光度法 GB/T7471水质镉的测定双硫腙分光光度法 GB/T7475水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法 GB/T7484水质氟化物的测定离子选择电极法 GB/T7485水质总砷的测定二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法 GB/T7494水质阴离子表面活性剂的测定亚甲蓝分光光度法 GB/T11893水质总磷的测定钼酸铵分光光度法 GB/T11900水质痕量砷的测定硼氢化钾-硝酸银分光光度法 GB/T11901水质悬浮物的测定重量法 GB/T11907水质银的测定火焰原子吸收分光光度法 GB/T11910水质镍的测定丁二酮肟分光光度法 GB/T11912水质镍的测定火焰原子吸收分光光度法 GB/T16157固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB37822挥发性有机物无组织排放控制标准 GB39731电子工业水污染物排放标准 HJ/T27固定污染源排气中氯化氢的测定硫氰酸汞分光光度法 HJ/T28固定污染源排气中氰化氢的测定异烟酸-吡唑啉酮分光光度法 HJ/T30固定污染源排气中氯气的测定甲基橙分光光度法 HJ/T38固定污染源废气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定气相色谱法 HJ/T42固定污染源排气中氮氧化物的测定紫外分光光度法 HJ/T43固定污染源排气中氮氧化物的测定盐酸萘乙二胺分光光度法 HJ/T55大气污染物无组织排放监测技术导则 HJ/T60水质硫化物的测定碘量法 HJ/T65大气固定污染源锡的测定石墨炉原子吸收分光光度法 HJ/75固定污染源烟气（SO2、NOX、颗粒物）排放连续监测技术规范 HJ84水质无机阴离子（F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、PO43-、SO32-、SO42-）的测定离子色谱法DB31/374—2024 2HJ/T91.1污水监测技术规范 HJ/T195水质氨氮的测定气相分子吸收光谱法 HJ/T199水质总氮的测定气相分子吸收光谱法 HJ/T200水质硫化物的测定气相分子吸收光谱法 HJ355水污染源在线监测系统（CODCr、NH3-N等）运行技术规范 HJ/T373固定污染源监测质量保证与质量控制技术规范（试行） HJ/T397固定源废气监测技术规范 HJ/T399水质化学需氧量的测定快速消解分光光度法 HJ484水质氰化物的测定容量法和分光光度法 HJ485水质铜的测定二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法 HJ486水质铜的测定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法 HJ487水质氟化物的测定茜素磺酸锆目视比色法 HJ488水质氟化物的测定氟试剂分光光度法 HJ489水质银的测定3,5-Br2-PADAP分光光度 HJ490水质银的测定镉试剂2B分光光度法 HJ493水质采样样品的保存和管理技术规定 HJ494水质采样技术指导 HJ495水质采样方案设计技术指导 HJ501水质总有机碳的测定燃烧氧化-非分散红外吸收法 HJ533环境空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法 HJ535水质氨氮的测定纳氏试剂分光光度法 HJ536水质氨氮的测定水杨酸分光光度法 HJ537水质氨氮的测定蒸馏-中和滴定法 HJ544固定污染源废气硫酸雾的测定离子色谱法 HJ548固定污染源废气氯化氢的测定硝酸银容量法 HJ549环境空气和废气氯化氢的测定离子色谱法 HJ604环境空气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定直接进样-气相色谱法 HJ636水质总氮的测定碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法 HJ637水质石油类和动植物油的测定红外分光光度法 HJ657空气和废气颗粒物中铅等金属元素的测定电感