(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222006578.0 (22)申请日 2022.08.01 (73)专利权人 广州富乐德科技发展 有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区(中新广 州知识城)亿创街1号 406房之397 (72)发明人 汤高　惠朝先　 (74)专利代理 机构 广州立凡知识产权代理有限 公司 44563 专利代理师 肖嘉 (51)Int.Cl. B24B 41/06(2012.01) B24B 5/48(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定治具 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体多孔圆盘中 心孔打磨固定治具， 包括装置外壳， 所述装置外 壳上端面的中心位置设有圆弧凹槽， 所述圆弧凹 槽的两侧位于装置外壳的上端分别设有圆弧衬 垫A和圆弧衬垫B， 所述圆弧衬垫A和圆弧衬垫B的 底端均设有连接块， 所述连接块的下方位于装置 外壳的内侧设有活动槽， 所述连接块一侧的中心 位置设有螺纹孔， 所述螺纹孔的内侧设有丝杆， 所述丝杆的外侧位于活动槽的内侧设有螺纹槽。 本实用新型通过旋转旋钮使 得圆弧衬垫A和圆弧 衬垫B进行位移对多孔圆盘进行固定夹持， 便于 工作人员在对多孔圆盘固定后对中心孔 以拉锯 方式拉扯条状百洁布进行孔内打磨， 提高工作效 率。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217860744 U 2022.11.22 CN 217860744 U 1.一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定治具， 包括装置外壳(1)， 其特征在于： 所述装 置外壳(1)上端面的中心 位置设有圆弧凹槽(6)， 所述圆弧凹槽(6)的两侧位于装置外壳(1) 的上端分别设有圆弧衬垫A(4)和圆弧衬垫B(5)， 所述圆弧衬垫A(4)和圆弧衬垫B(5)的底端 均设有连接块(8)， 所述连接块(8)的下方位于装置外壳(1)的内侧设有活动槽(7)， 所述连 接块(8)一侧的中心位置设有螺纹孔(14)， 所述螺纹孔(14)的内侧设有丝杆(9)， 所述丝杆 (9)的外侧位于活动槽(7)的内侧设有螺纹槽(11)， 所述螺纹槽(11)的一端位于装置外壳 (1)的外表面设有连接口(12)。 2.根据权利要求1所述的一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定治具， 其特征在于： 所述 装置外壳(1)的底端设有装置底座(2)， 所述装置底座(2)下端面的四端均设有支撑脚垫 (10)。 3.根据权利要求1所述的一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定治具， 其特征在于： 所述 丝杆(9)的一端设有旋钮(3)， 所述丝杆(9)和旋钮(3)为 一体结构。 4.根据权利要求1所述的一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定治具， 其特征在于： 所述 圆弧凹槽(6)半径20～25厘米， 最大夹角 θ 1为90～180 °， 所述圆弧衬垫A(4)和圆弧衬垫B(5) 半径15～ 20厘米， 最大夹角 θ 1为90～180 。 5.根据权利要求1所述的一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定治具， 其特征在于： 所述 圆弧衬垫A(4)底端连接块(8)的前端面设有定位槽(13)， 所述圆弧衬垫B(5)底端的连接块 (8)插接在定位槽(13)的内侧。 6.根据权利要求1所述的一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定治具， 其特征在于： 所述 圆弧衬垫A(4)和圆弧衬垫B(5)的外表面设有抗磨层。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217860744 U 2一种半导体多孔圆 盘中心孔打磨固定治 具 技术领域 [0001]本实用新型涉及固定治具技术领域， 具体为一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定 治具。 背景技术 [0002]多孔圆盘部件在等离子体蚀刻腔体中， 不仅因等离子体蚀刻在表面形成一层腐蚀 产物， 也不可避免会产生沉积物， 沉积物掉落形成颗粒或碎片， 可能造成半导体器件品质不 良。 因此， 设备腔体需要及时停机维护。 [0003]现有的多孔圆盘一般通过用百洁布剪切成条状， 穿过最小的中心孔， 手以拉锯方 式拉扯条状百洁布进行孔内打磨， 但在孔内打磨过程中， 双手难以扶稳部件， 部件经常晃 动， 影响打磨效率并且容易刮伤部件； 因此， 不满足现有的需求， 对此我们提出了一种半导 体多孔圆盘中心孔打磨固定治具。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种半导体多孔圆盘中心孔打磨固定治具， 以解决上 述背景技术中提出 的现有的多孔圆盘一般通过用百洁布剪切成条状， 穿过最小的中心孔， 手以拉锯方式拉扯条状百洁布进 行孔内打磨， 但在孔内打磨过程中， 双手难以扶稳部件， 部 件经常晃动， 影响打磨效率并且容 易刮伤部件等问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种半导体多孔圆盘中心孔打 磨固定治 具， 包括装置外壳， 所述装置外壳上端面的中心 位置设有圆弧凹槽， 所述圆弧凹槽 的两侧位于装置外壳的上端分别设有圆弧衬垫A和圆弧衬垫B， 所述圆弧衬垫A和圆弧衬垫B 的底端均设有连接块， 所述连接块的下方位于装置外壳的内侧设有活动槽， 所述连接块一 侧的中心位置设有螺纹孔， 所述螺纹孔的内侧设有丝杆， 所述丝杆的外侧 位于活动槽的内 侧设有螺纹槽， 所述螺纹槽的一端位于装置 外壳的外表面设有连接口。 [0006]优选的， 所述装置外壳的底端设有装置底座， 所述装置底座下端面的四端均设有 支撑脚垫 。 [0007]优选的， 所述丝杆的一端设有旋钮， 所述丝杆和旋钮为 一体结构。 [0008]优选的， 所述圆弧凹槽半径20～25厘米， 最大夹角 θ1为90～180 °， 所述圆弧衬垫A 和圆弧衬垫B半径15～ 20厘米， 最大夹角 θ 1为90～180 。 [0009]优选的， 所述圆弧衬垫A底端连接块的前端面设有定位槽， 所述圆弧衬垫B底端的 连接块插接在定位槽的内侧。 [0010]优选的， 所述圆弧衬垫A和圆弧衬垫B的外表面设有抗磨层。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0012]1、 本实用新型通过装置外壳上端的两侧分别设有圆弧衬垫A和圆弧衬垫B， 且丝杆 贯穿圆弧衬垫A和圆弧衬垫B延伸至装置外壳的内侧， 进而旋转旋钮使得圆弧衬垫A和圆弧 衬垫B进行位移对多孔圆盘进行固定夹持， 便于工作人员 在对多孔圆盘固定后对中心孔以说　明　书 1/3 页 3 CN 217860744 U 3