(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222217007.1 (22)申请日 2022.08.23 (73)专利权人 山东瑞翼德科技股份有限公司 地址 264200 山东省威海市经济技 术开发 区众科创新工业园北区8-2号 (72)发明人 乔佳原　王育才　崔铭博　 (74)专利代理 机构 威海科星专利事务所 37202 专利代理师 李沫 (51)Int.Cl. B01D 46/62(2022.01) B01D 46/10(2006.01) B01D 46/30(2006.01) (54)实用新型名称 一种气液分离装置 (57)摘要 本实用新型提出一种气液分离装置， 包括壳 体， 所述壳体上设有进气 口， 在所述壳体内设有 支撑架， 所述支撑架上设有一次分离机构， 所述 一次分离机构用于对从进气口进入的废气进行 气液分离， 在所述支撑架的下方设有盒体， 所述 盒体包括侧壁以及顶板， 出气管道的一端处在所 述盒体内， 所述出气管道的另一端穿过所述壳 体， 在所述盒体侧壁与出气管道之间设有二次分 离机构， 所述二次分离机构用于对一次分离机构 分离后的气体进行二次气液分离， 在所述壳体的 底板处设有引流管。 上述气液分离装置通过使气 液经过两次分离， 能尽可能的将药液进行回收再 利用， 这样还能有效的减轻排气管内壁积水现 象， 尽可能避免液体腐蚀排气管。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217961778 U 2022.12.06 CN 217961778 U 1.一种气液分离装置， 其特征在于： 包括壳体， 所述壳体上设有进气口， 在所述壳体内 设有支撑架， 所述支撑架上设有一次分离机构， 所述一次分离机构用于对从进气口进入的 废气进行气液分离， 在所述支撑架的下方设有盒体， 所述 盒体包括侧壁以及顶板， 出气管道 的一端处在所述盒体内， 所述出气管道的另一端穿过所述壳体， 在所述盒体侧 壁与出气管 道之间设有二次分离机构， 所述二次分离机构用于对一次分离机构分离后的气 体进行二次 气液分离， 在所述壳体的底板处设有引流管。 2.根据权利要求1所述的气液分离装置， 其特征在于： 所述一 次分离机构采用丝圈或海 绵。 3.根据权利要求2所述的气液分离装置， 其特征在于： 所述丝圈或海绵与所述壳体的侧 壁相接触。 4.根据权利要求1至3中任意一项所述的气液分离装置， 其特征在于： 所述二次分离机 构包括设置在所述盒体侧壁与出气管道之 间的呈环状的上连接架和下连接架， 在所述上连 接架和下 连接架之间设有分离层。 5.根据权利要求 4所述的气液分离装置， 其特 征在于： 所述分离层采用过 滤网。 6.根据权利要求1所述的气液分离装置， 其特 征在于： 所述顶板呈圆锥状。 7.根据权利要求1所述的气液分离装置， 其特征在于： 所述壳体的底板呈倾斜状， 在所 述底板的最低端设有引流管。 8.根据权利要求1所述的气液分离装置， 其特征在于： 所述进气口设置在所述壳体的上 盖板处， 或者设置在所述壳体侧壁的上端处。 9.根据权利要求1所述的气液分离装置， 其特征在于： 所述壳体上设有第一连接件， 所 述第一连接件用于使 所述壳体与进气管相连接； 在所述出气管道的另一端设有用于连接出 气管的第二连接件。 10.根据权利要求9所述的气液分离装置， 其特征在于： 所述第 一连接件采用进口法兰， 所述第二连接件 采用出口法兰。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217961778 U 2一种气液分离 装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及分离装置技 术领域， 尤其涉及一种气液分离装置 。 背景技术 [0002]在薄膜晶体管液晶显示器(TFT ‑LCD)生产行业中， 玻璃基板在腔室内进行水清洗 或药液刻蚀工艺时， 会将腔室内的废气进 行排放， 由于废气中含有 液体， 例如水、 药液等， 因 此在废气排放之前需要经过气液分离处理， 以便将药液进行回收再利用， 减少排气管内壁 积水现象， 防止液体腐蚀排气管， 以及尽可能的防止含有药液的气体排放至空气 中污染环 境。 [0003]现有技术中的气液分离装置通常只经过一道过滤网进行水汽分离， 分离效果不太 理想， 使药液难以充分回收再利用， 还会使排气管内壁容易出现积水现象， 液体腐蚀排气 管， 甚至有可能造成环境污染。 实用新型内容 [0004]为了解决现有技术中存在的问题， 本申请提出了一种气液分离装置， 其通过使气 液经过两次分离， 能尽可能的将药 液进行回收再利用， 节约生产成本 。 [0005]为了实现上述目的， 本申请提出了一种气液分离装置， 包括壳体， 所述壳体上设有 进气口， 在所述壳体内设有支撑架， 所述支撑架上设有一次分离机构， 所述一次分离机构用 于对从进气口进入的废气进行气液分离， 在所述支撑架的下方设有盒体， 所述盒体包括侧 壁以及顶板， 出气管道的一端处在所述盒体内， 所述出气管道的另一端穿过所述壳体， 在所 述盒体侧壁与出气管道之 间设有二次分离机构， 所述二次分离机构用于对一次分离机构分 离后的气体进行二次气液分离， 在所述壳体的底板处设有引流管。 [0006]在一些实施例中， 所述 一次分离 机构采用丝圈或海绵。 [0007]在一些实施例中， 所述丝圈或海绵与所述壳体的侧壁相接触。 [0008]在一些实施例中， 所述二次分离机构包括设置在所述盒体侧壁与出气管道 之间的 呈环状的上 连接架和下 连接架， 在所述上 连接架和下 连接架之间设有分离层。 [0009]在一些实施例中， 所述分离层采用过 滤网。 [0010]在一些实施例中， 所述顶板呈圆锥状。 [0011]在一些实施例中， 所述壳体的底板呈倾 斜状， 在所述底板的最低端设有引流管。 [0012]在一些实施例中， 所述进气口设置在所述壳体的上盖板处， 或者设置在所述壳体 侧壁的上端处。 [0013]在一些实施例中， 所述壳体上设有第一连接件， 所述第一连接件用于使所述壳体 与进气管相连接； 在所述出气管道的另一端设有用于连接出气管的第二连接件。 [0014]在一些实施例中， 所述第一连接件 采用进口法兰， 所述第二连接件 采用出口法兰。 [0015]本申请的该方案 的有益效果在于上述气液分离装置， 通过使气液经过两次分离， 能尽可能的将药液进行回收再利用， 节约生产成本； 这样还能有效的减轻排气管内壁积水说　明　书 1/3 页 3 CN 217961778 U 3