(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221705379.2 (22)申请日 2022.07.04 (73)专利权人 江苏国瓷金盛陶瓷科技有限公司 地址 213200 江苏省常州市金坛区经济开 发区思母路1号 (72)发明人 朱东岳　王芳　程志明　莫雪魁　 (74)专利代理 机构 南京勤行知识产权代理事务 所(普通合伙) 32397 专利代理师 尹英 (51)Int.Cl. F26B 15/18(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 7/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种氮化铝陶瓷基 板用烘干设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种氮化铝陶瓷基板用 烘干设备， 输送模块用于竖直向机体内腔输送陶 瓷基板， 包括对称固定在机体内顶 壁与内底壁上 的底座、 安装在底座内壁上的传送组件以及安装 在底座外侧面上且与传送组件 连接的电机， 输送 模块上下对称设置， 从而能够将陶瓷基板的顶端 与底板进行固定并移动， 使陶瓷基板保持竖直的 姿态， 方便两侧的烘干模块对陶瓷基板的两个面 进行同时的烘干， 底座横 截面呈U字型， 用于安装 传送组件， 传送组件包括对称且转动安装在底座 内壁上的转轴、 套接固定在相对转轴上的传送带 以及对称固定在传送带外侧面两侧的橡胶凸起， 该氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 具有双面同时烘 干以及烘干效率高的优点。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 217876974 U 2022.11.22 CN 217876974 U 1.一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 包括： 机体 （100） 、 输送模块 （200） 以及烘干模块 （300） ， 其特征在于， 所述输送模块 （200） 包括对称固定在机体 （100） 内顶 壁与内底 壁上的底 座 （210） 、 安装在底座 （210） 内壁上的传送组件 （220） 以及安装在底座 （210） 外侧面上且与传 送组件 （2 20） 连接的电机 （23 0） ； 所述烘干模块包括对称固定在机体 （100） 内侧壁上的风机 （310） 、 设置在风机 （310） 一 侧的加热组件 （320） 、 设置在风机 （310） 另一侧的制冷组件 （330） 、 对称设置在机体 （100） 内 腔且端部与加热 组件 （320） 连接的热风组件 （340） 以及对称设置在机体 （100） 内腔且端部与 制冷组件 （3 30） 连接的冷风组件 （3 50） 。 2.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 其特征在于， 所述传送组件 （220） 包括对称且转动安装在底座 （210） 内壁上的转轴 （221） 、 套接固定在相对转轴 （221） 上 的传送带 （2 22） 以及对称固定在 传送带 （2 22） 外侧面两侧的橡胶凸起 （2 23） 。 3.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 其特征在于， 所述加热组件 （320） 包括固定在机体 （100） 内壁上的第一壳体 （321） 、 对称安装在第一壳体 （321） 内壁上的 电热管 （322） 以及设置在第一壳体 （321） 内腔且伸出第一壳体 （321） 的第一循环管 （323） 。 4.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 其特征在于， 所述制冷组件 （330） 包括固定在机体 （100） 内壁上的第二壳体 （331） 、 对称安装在第二壳体 （331） 内壁上的 半导体制冷片 （332） 以及设置在第二壳体 （331） 内腔且伸出第二壳体 （331） 的第二循环管 （333） 。 5.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 其特征在于， 所述热风组件 （340） 包括一个端部与第一循环管 （323） 端部连接的第一连接管 （341） 以及 多个通过支管与 第一连接管 （341） 另一个端部连通的热风出口管道 （342） 。 6.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 其特征在于， 所述冷风组件 （350） 包括一个端部与第二循环管 （333） 端部连接的第二连接管 （351） 以及 多个通过支管与 第二连接管 （3 51） 另一个端部连通的冷风出口管道 （3 52） 。 7.根据权利要求6所述的一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 其特征在于， 所述冷风出口 管道 （352） 与热风出口管道 （342） 相互 交错设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217876974 U 2一种氮化铝陶瓷基板用烘干设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及陶瓷基板技 术领域， 具体为 一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备。 背景技术 [0002]氮化铝陶瓷基板是一种具有高导热性和导电性的绝缘 陶瓷基板， 它具有低膨胀系 数和高抗氧化性， 因此是多种半导体的合适选择。 氮化铝 陶瓷的高耐热性和耐化学性使其 成为多种用途的首选材料， 还有许多其他应用， 它是一种出色的导热和导电体， 在氮化铝陶 瓷基板生产时需用使用到烘干设备对氮化铝陶瓷基板进行烘干作业。 [0003]现有的用于氮化铝陶瓷基板的烘干设备在使用的过程中主要存在以下弊端： 烘干 效率较低， 一次只能对陶瓷基板的一面进行烘干， 需要再次将陶瓷基板反向放入烘干设备 对反面进 行烘干， 烘干效率较慢， 同时在烘干时， 烘干的时间较长， 效果较差， 导致烘干效率 低， 存在改进空间。 实用新型内容 [0004]本实用新型旨在解决现有技 术或相关技 术中存在的技 术问题之一。 [0005]为此， 本实用新型所采用的技术方案为： 一种氮化铝陶瓷基板用烘干设备， 包括： 机体、 输送模块以及烘干模块， 所述输送模块包括对称 固定在机体内顶壁与内底壁上 的底 座、 安装在底座内壁上的传送组件以及安装在底座外侧面上且与传送组件连接的电机； 所述烘干组件包括对称固定在机体内侧壁上的风机、 设置在风机一侧的加热组 件、 设置在风机另一侧的制冷组件、 对称设置在机体内腔且端部与加热组件连接的热风组 件以及对称设置在机体内腔且端部与制冷组件连接的冷风组件。 [0006]优选的， 所述传送组件包括对称且转动安装在底座内壁上的转轴、 套接固定在相 对转轴上的传送带以及对称固定在 传送带外侧面两侧的橡胶凸起。 [0007]优选的， 所述加热组件包括固定在机体内壁上的第一壳体、 对称安装在第一壳体 内壁上的电热 管以及设置在第一壳体内腔且伸出第一壳体的第一循环管。 [0008]优选的， 所述制冷组件包括固定在机体内壁上的第二壳体、 对称安装在第二壳体 内壁上的半导体制冷片以及设置在第二壳体内腔且伸出第二壳体的第二循环管。 [0009]优选的， 所述热风组件包括一个端部与第一循环管端部连接的第一连接管以及多 个通过支管与第一连接管另一个端部连通的热风出口管道。 [0010]优选的， 所述冷风组件包括一个端部与第二循环管端部连接的第二连接管以及多 个通过支管与第二连接管另一个端部连通的冷风出口管道。 [0011]优选的， 所述冷风出口管道与热风出口管道相互 交错设置 。 [0012]通过采用上述 技术方案， 本实用新型 所取得的有益效果 为： 1.本实用新型中， 通过在机体 的内腔上下对称设置底座， 并在底座内安装传送组 件， 利用传送组件将陶瓷基板的顶端与底端进行固定并移动， 同时在底座的两侧设置烘干 模块， 使陶瓷基板在移动的过程中， 两侧的烘干模块能够同时对陶瓷基板的两面进行同时说　明　书 1/3 页 3 CN 217876974 U 3