(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221708013.0 (22)申请日 2022.07.04 (73)专利权人 信利光电股份有限公司 地址 516600 广东省汕尾市城区工业大道 信利工业城一区第15 栋 (72)发明人 李思拥　曾一鑫　 (74)专利代理 机构 广州粤高专利商标代理有限 公司 44102 专利代理师 温德昌 (51)Int.Cl. F26B 9/06(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) F25D 31/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种干燥 光阻的低温干燥箱 (57)摘要 本实用新型公开了一种干燥光 阻的低温干 燥箱， 包括箱体， 所述箱体的底端内部设置有基 板， 且基板与箱体的内壁相接触， 所述基板的一 端顶部设置有管道， 所述管道的顶端延伸至箱体 的顶部， 本实用新型涉及显示模组技术领域。 该 干燥光阻的低温干燥箱， 通过管道的移动使 得释 放管随着一起运动， 并通过释放管对冷风机产生 的冷气进行释放， 可以第一时间对光阻(液体)进 行冷却， 且将密封布进行拉伸， 以及与挡板的配 合， 可以防止冷气泄露到其他地方， 便于对光阻 (液体)进行冷却， 并将抽风机打开， 使得冷气从 右向左发生运动， 使得气体经过光阻(液体)进行 冷却， 使得光阻快速失去流动性， 解决了图案均 匀性和图案异色的问题。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 217876823 U 2022.11.22 CN 217876823 U 1.一种干燥光阻的低温干燥箱， 包括箱体(1)， 其特征在于： 所述箱体(1)的底端内部设 置有基板( 2)， 且基板( 2)与箱体(1)的内壁相接触， 所述基板( 2)的一端顶部设置有管道 (3)， 所述管道(3)的顶端延伸至箱体(1)的顶部， 所述管道(3)的正面以及 背面均与 箱体(1) 的内壁相接触； 所述管道(3)的底端一侧设置有释放管(4)， 以及管道(3)的另一端底部设置有挡板 (5)， 所述释放管(4)的一侧设置有密封布(6)， 所述密封布(6)与释放管(4)固定连接， 所述 密封布(6)的底部设置有抽动管(7)， 所述箱体(1)的一侧表 面设置有槽洞(8)， 以及箱 体(1) 的另一侧表面设置有孔槽(9)， 所述 孔槽(9)位于基板(2)的一侧， 且与基板(2)相适配。 2.根据权利要求1所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述箱体(1)的顶 部设置有螺纹杆(10)， 所述螺纹杆(10)的一侧设置有电机(1 1)。 3.根据权利要求2所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述螺纹杆(10)靠 近挡板(5)的一端外侧设置有移动块(12)， 所述螺纹杆(10)贯穿移动块(12)且与移动块 (12)螺纹连接 。 4.根据权利要求3所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述移动块(12)位 于箱体(1)的顶部， 且移动块(12)与管道(3)固定连接 。 5.根据权利要求1所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述孔槽(9)的顶 部设置有卡槽(13)， 所述 卡槽(13)与孔槽(9)相连通。 6.根据权利要求5所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述卡槽(13)与挡 板(5)相适配。 7.根据权利要求1所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述抽动管(7)的 底部设置有抽风机(14)， 所述抽动管(7)的顶端位于基板(2)的顶部 。 8.根据权利要求7所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述抽风机(14)的 顶部设置有缠绕杆(15)， 所述缠绕杆(15)的背面 一端设置有扭转弹簧。 9.根据权利要求8所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述密封布(6)的 顶端卷绕设置在缠绕杆(15)的表面。 10.根据权利要求1所述的一种干燥光阻的低温干燥箱， 其特征在于： 所述释放管(4)的 顶端设置有冷风机(16)， 所述释放管(4)通过支撑杆与管道(3)固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217876823 U 2一种干燥光阻的低温 干燥箱 技术领域 [0001]本实用新型 涉及显示模组技 术领域， 具体为 一种干燥 光阻的低温干燥箱。 背景技术 [0002]光阻， 亦称为光阻剂， 是一个用在许多工业制程上的光敏材料， 光阻有两种， 正向 光阻和负向光阻， 正向光阻是光阻的一种， 其照到光的部 分会溶于光阻显影液， 而没有照到 光的部分不会溶于光阻显影液， 负向光阻是光阻的一种， 其照到光的部分不会溶于光阻显 影液， 而没有照到光的部 分会溶于光阻显影液。 像是光刻技术， 可以在材料表 面刻上一个图 案的被覆层， 在触控面板， 显示器生产过程制程工艺是通过涂布曝光显影的方式来获取解 析图案， 由于涂布使用的是光阻， 在光阻涂覆到基板上时， 由于光阻(液体)具有流动性特 性， 在和基板底部接触的位置会出现局部区域光阻偏薄， 从而造成显影掉的光阻出现局部 线宽偏小， 未显影掉的光阻出现图案异色情况(和正常不 一样的颜色)。 [0003]专利申请公布号CN201510550945.5的本发明提供一种真空干燥装置， 在反应腔室 顶部设有第一管路， 所述第一管路与反应腔室的外部相连通， 用于抽取反应腔室内部的气 体或向所述反应腔室内部填充气体； 在反应腔室内部的上方设有数个相互平行的第二管 路， 所述第二管路与反应腔室内部的上表面之间留有空隙， 可保证反应腔室内部各个位置 的蒸汽压相同， 形成有利于光阻干燥的稳定均匀的气体流场， 进而保证基板表面光阻内的 有机溶剂的挥发速度相同， 最终保证基板表面光阻干燥的均匀 性， 避免了利用现有真空干 燥装置干燥光阻时， 容 易在基板表面产生Mura的问题， 有效提升产品良率。 [0004]上述专利号CN201510550945.5， 现有技术中， 仍旧存在较多缺点， 在对光阻(液体) 进行处理时， 由于不能第一时间进 行处理， 且冷气容易 发生泄露， 不能与光阻(液体)进 行充 分接触， 使得图案均匀性和图案异色存在问题。 实用新型内容 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种干燥光阻的低温干燥箱， 通过管道 的移动使得释放管随着一起运动， 并通过释放管对冷风机产生的冷气进行释放， 可以第一 时间对光阻(液体)进 行冷却， 且将密封布进 行拉伸， 以及与挡板的配合， 可以防止冷气泄露 到其他地方， 便于对光阻(液体)进 行冷却， 并将抽风机 打开， 可以让抽动管一侧的冷气进 行 抽动， 使得冷气从右向左发生运动， 使得气 体经过光阻(液体)进 行冷却， 使 得光阻快速失去 流动性， 解决了图案均匀性和图案异色的问题。 [0006]为实现以上目的， 本实用新型通过以下技 术方案予以实现： [0007]一种干燥光阻的低温干燥箱， 包括箱体， 所述箱体的底端内部设置有基板， 且基板 与箱体的内壁相 接触， 所述基板的一端顶部设置有管道， 所述管道的顶端延伸至箱体的顶 部， 所述管道的正 面以及背面均 与箱体的内壁相接触。 [0008]所述管道的底端一侧 设置有释放管， 以及管道的另一端底部设置有挡板， 所述释 放管的一侧设置有密封布， 所述密封布与释放管固定连接， 所述密封布的底部设置有抽动说　明　书 1/5 页 3 CN 217876823 U 3