(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222586596.0 (22)申请日 2022.09.29 (73)专利权人 江苏芯梦半导体设备有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中经济开发 区南湖路6 6号8幢101室 (72)发明人 邵树宝　蒋超伟　张海珠　王泳彬　 (74)专利代理 机构 苏州创元专利商标事务所有 限公司 3210 3 专利代理师 冯尚杰 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆刷洗装置 (57)摘要 本实用新型公开一种晶圆刷洗装置， 包括支 撑臂、 刷盘组件和与支撑臂连接的液压旋转器， 刷盘组件包括含有出口的流出通道， 液压旋转器 包括流体腔室、 上连接部和旋转组件， 流体腔室 与上连接部固定连接或一体成型， 旋转组件设置 在流体腔室内， 流体腔室的内部设有容纳腔； 支 撑臂的内部设置有第一流体通道， 上连接部的内 部设置有连接通道， 上连接部开设有多个通液 孔， 流体可依次流经第一流体通道及连接通道后 进入容纳腔， 再从流出通道并经出口喷出， 旋转 组件用于在流体从连接通道进入容纳腔时旋转 并带动刷盘组件旋转。 本实用新型无需额外设置 固定喷嘴、 带动刷盘部分旋转的旋转电机， 整体 结构简单。 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 CN 217726445 U 2022.11.04 CN 217726445 U 1.一种晶圆刷洗装置， 包括支撑臂和刷盘组件， 所述刷盘组件包括含有出口的流出通 道， 其特征在于： 所述晶圆刷洗装置还包括与所述支撑臂连接的液压旋转器， 所述液压旋转 器包括流体腔室、 上连接部和旋转组件， 所述流体腔室与所述上连接部固定连接或一体成 型， 所述旋转组件设置在所述流体腔室内， 所述流体腔室的内部 设有容纳腔， 所述上连接部 与所述支撑臂固定连接， 所述旋转组件与所述刷盘组件固定连接； 所述支撑臂 的内部设置有第一流体通道， 所述上连接部的内部设置有连接通道， 所述 上连接部开设有多个通液孔， 所述第一流体通道、 所述连接通道、 所述通液孔、 所述容纳腔 及所述流出通道相连通， 流体可依 次流经所述第一流体通道、 所述连接通道、 所述通液孔、 所述容纳腔及所述 流出通道并经由所述出口喷出； 所述旋转组件包括支撑杆以及 设置在所述支撑杆上的多个旋转叶片， 所述旋转叶片设 置在所述容纳腔内， 所述支撑杆与所述流体腔室转动连接， 所述刷盘组件与所述支撑杆固 定连接； 所述旋转组件用于在流体从所述连接通道进入所述容纳腔时旋转并带动所述刷盘组 件旋转。 2.根据权利要求1所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述上连接部的上端与 所述支撑 臂可拆卸的固定连接 。 3.根据权利要求1所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述刷盘组件还包括刷盘底杆、 刷盘底座和刷体， 所述刷盘底杆与所述刷盘底座固定连接， 所述刷体固定设置在所述刷盘 底座上， 部分所述的流出通道设置在所述刷盘底杆的内部 。 4.根据权利要求3所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述支撑杆的下端与 所述刷盘底 杆的上端可拆卸的固定连接， 所述刷盘底杆 的侧壁和/或所述支撑杆 的侧壁上设置有多个 分别与所述流出通道连通的液流孔， 所述液流孔位于所述容纳腔的下部， 流体从所述容纳 腔经所述液流 孔流入所述 流出通道。 5.根据权利要求1所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述晶圆刷洗装置还包括旋转电 机和旋转轴， 所述旋转电机用于使所述旋转轴绕其轴心线旋转， 所述液压旋转器与所述支 撑臂的一端连接， 所述支撑臂的另一端与所述旋转轴连接 。 6.根据权利要求5所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述旋转轴的轴心线与 所述支撑 臂的轴心线相垂直， 所述支撑臂沿水平方向延伸。 7.根据权利要求5所述的 晶圆刷洗装置， 其特 征在于： 所述旋转电机为旋转 步进电机 。 8.根据权利要求5所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述晶圆刷洗装置还包括旋转轴 固定架， 所述旋转轴固定架用于固定所述旋转轴。 9.根据权利要求5所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述旋转轴的内部设置有第 二流 体通道， 所述第二 流体通道与所述第一 流体通道相连通。 10.根据权利要求1所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述支撑臂包括沿水平方向延 伸的第一臂和沿竖直方向延伸的第二臂， 所述上 连接部与所述第二臂固定连接 。 11.根据权利要求3所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述晶圆刷洗装置还包括接液 杯， 所述接液杯用来盛装清洗所述刷体的清洗液。 12.根据权利要求5所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述晶圆刷洗装置还包括直线 式电动缸， 所述 直线式电动缸用于控制所述旋转轴的上升和下降。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217726445 U 213.根据权利要求12所述的晶圆刷洗装置， 其特征在于： 所述晶圆刷洗装置还包括用于 固定所述 直线式电动缸的固定座。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217726445 U 3