(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222402395.0 (22)申请日 2022.09.09 (73)专利权人 无锡荣能半导体材 料有限公司 地址 214183 江苏省无锡市惠山区玉祁工 业集中区 (72)发明人 章祥静　王伟　 (74)专利代理 机构 无锡睿升知识产权代理事务 所(普通合伙) 32376 专利代理师 肖晨 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种薄片化硅片清洗装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种薄片化硅片清洗装 置， 包括底座， 底座的上表面固定连接有顶 罩， 所 述底座的上表 面固定连接有多个气缸， 多个气缸 的输出端固定连接有同一个垫板， 且垫板的上表 面放置有超声波清洗槽、 超声碱洗槽、 超声漂洗 槽、 双氧水槽、 纯水超声溢流漂洗槽、 慢提拉脱水 槽、 热风烘干槽和冷风槽， 且超声碱洗槽有三个， 纯水超声溢流漂洗槽有四个， 热风烘干槽有两 个。 本实用新型中各槽体 之间呈点状 分布的设计 可以将薄片化硅片进行超声清洗、 超声碱洗、 双 氧水清洗、 慢提拉脱水等及 烘干、 冷却等工序， 避 免薄片化硅片在清洗过程中进行转运， 减少了薄 片化硅片的清洗时间， 提升了薄片化硅片的加工 效率， 保障薄片化硅片的加工 应用。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217963857 U 2022.12.06 CN 217963857 U 1.一种薄片化硅片清洗装置， 包括底座(1)， 底座(1)的上表面固定连接有顶罩(2)， 其 特征在于， 所述底 座(1)的上表 面固定连接有多个气缸(3)， 多个气缸(3)的输出端固定连接 有同一个垫板(4)， 且垫板(4)的上表 面放置有超声波清洗槽(5)、 超声碱洗槽(6)、 超声漂洗 槽(7)、 双氧水槽(8)、 纯水超声溢流漂洗槽(9)、 慢提拉脱水槽(10)、 热风烘干槽(11)和冷风 槽(12)， 且超声碱洗槽(6)有三个， 纯水超声溢流漂洗槽(9)有四个， 热风烘干槽(11)有两 个， 且超声波清洗槽(5)、 超声碱洗槽(6)、 超声漂洗槽(7)、 双氧水槽(8)、 纯水超声溢流漂洗 槽(9)、 慢提拉脱水槽(10)、 热风烘干槽(11)和冷风槽(12)之间呈点状 分布， 所述顶罩(2)的 一侧外壁设置有 多个安装口， 安装口内设置有透明观察窗(13)。 2.根据权利要求1所述的一种薄片化硅片清洗装置， 其特征在于， 所述顶罩(2)的两侧 分别固定连接有侧板(14)和密封帘(15)， 且密封帘(15)与侧板(14)相接触。 3.根据权利要求1所述的一种薄片化硅片清洗装置， 其特征在于， 所述顶罩(2)的两侧 内壁分别固定连接有固定 板(16)， 且两个固定 板(16)的底部分别固定连接有支撑 板(17)。 4.根据权利要求1所述的一种薄片化硅片清洗装置， 其特征在于， 所述顶罩(2)的顶部 内壁转动连接有两个转动辊(18)， 且两个转动辊(18)之间绕接有同一个皮带(19)。 5.根据权利要求4所述的一种薄片化硅片清洗装置， 其特征在于， 所述顶罩(2)的顶部 内壁固定连接有电机， 且电机的输出端与其中一个转动辊(18)相固定连接 。 6.根据权利要求3所述的一种薄片化硅片清洗装置， 其特征在于， 两个所述支撑板(17) 之间固定连接盛放机构， 盛放机构包括滑动架(20)、 两个转动轮(21)、 导向板(22)、 多个连 接柱(23)和镂空板(24)。 7.根据权利要求6所述的一种薄片化硅片清洗装置， 其特征在于， 所述滑动架(20)位于 两个支撑 板(17)， 且两个转动轮(21)与皮带(19)和支撑 板(17)相接触。 8.根据权利要求7所述的一种薄片化硅片清洗装置， 其特征在于， 所述滑动架(20)与导 向板(22)相连接， 且多个连接柱(23)固定连接在导向板(2 2)与镂空板(24)之间。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217963857 U 2一种薄片化硅片清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及硅片清洗技 术领域， 尤其涉及一种薄片化硅片清洗装置 。 背景技术 [0002]薄片化硅片是制作集成电路的重要材料， 在生产过程中需要经过表面整形、 定向、 切割、 研磨、 腐蚀、 抛光、 清洗等工序， 硅片清洗机是薄硅片清洗工序中需要频繁使用的仪 器， 而硅片清洗装置是硅片清洗 机中的重要组成结构。 [0003]在薄片化硅片清洗 的过程中， 由于清洗 的工序较多， 会将薄片化硅片放置在不 同 区域的条状清洗 槽内清洗， 不便 于薄片化硅片加工的使用。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种薄片化硅片 清洗装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种薄片化硅片清洗装置， 包括底座， 底座的上表面固定连接有顶罩， 所述底座的 上表面固定连接有多个气缸， 多个气缸 的输出端固定连接有同一个垫板， 且垫板的上表面 放置有超声波清洗槽、 超声碱洗槽、 超声漂洗槽、 双氧水槽、 纯水超声溢流漂洗槽、 慢提拉脱 水槽、 热风烘干槽和冷风槽， 且超声碱洗槽有三个， 纯水超声溢流漂洗槽有四个， 热风烘干 槽有两个， 且超声波清洗槽、 超声碱洗槽、 超声漂洗槽、 双氧水槽、 纯水超声溢流漂洗槽、 慢 提拉脱水槽、 热风烘干槽和冷风槽之间呈点状分布， 所述顶罩的一侧外壁设置有多个安装 口， 安装口内设置有透明观察窗。 [0007]进一步的， 所述顶罩的两侧 分别固定连接有侧板和密封帘， 且密封帘与侧板相接 触。 [0008]进一步的， 所述顶罩的两侧内壁分别固定连接有固定板， 且两个固定板的底部分 别固定连接有支撑 板。 [0009]进一步的， 所述顶罩的顶部内壁转动连接有两个转动辊， 且两个转动辊之间绕接 有同一个皮带。 [0010]进一步的， 所述顶罩的顶部内壁固定连接有电机， 且电机 的输出端与其中一个转 动辊相固定连接 。 [0011]进一步的， 两个所述支撑板之间固定连接盛放机构， 盛放机构包括滑动架、 两个转 动轮、 导向板、 多个连接柱和镂空板 。 [0012]进一步的， 所述滑动架位于 两个支撑 板， 且两个转动轮与皮带和支撑 板相接触。 [0013]进一步的， 所述滑动架与导向板相 连接， 且多个连接柱固定连接在导向板与镂空 板之间。 [0014]本实用新型的有益效果 为： [0015]1.通过超声波清洗槽、 超声碱洗槽、 超声漂洗槽、 双氧水槽、 纯水超声溢流漂洗槽、说　明　书 1/3 页 3 CN 217963857 U 3