(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222455970.3 (22)申请日 2022.09.13 (73)专利权人 北旭 （湖北） 电子材 料有限公司 地址 433122 湖北省潜江市江汉盐化工业 园园区东路2号 (72)发明人 吴瑞　 (74)专利代理 机构 重庆卓茂专利代理事务所 (普通合伙) 50262 专利代理师 周瑶 (51)Int.Cl. G03F 7/16(2006.01) F26B 9/06(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 23/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于光刻胶的烘干 机 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于光刻胶的烘干 机， 涉及光刻胶烘干技术领域， 包括烘干箱， 所述 烘干箱的外部安装有电器盒， 且电器盒的中部插 接有电动推杆， 所述烘干箱的内部两侧安装有活 动板， 且活动板的背面与电动推杆的伸缩端相连 接， 所述烘干箱的内侧中部顶端连通有散热通 道， 且散热通道的底部安装有散热扇， 所述散热 扇外部连接风琴式钢片。 本实用新型中， 设置有 活动板、 电动推杆、 连接板、 伸缩杆以及排风扇， 通过启动电动推杆调节烘干箱内的两组活动板， 方便根据光刻胶半导体的大小， 调整烘干箱内的 烘干空间， 避免对较小的光刻胶半导体进行烘干 时， 过大的烘干空间预热速度较慢， 进而影响烘 干箱的烘干效果以及烘干箱的升温速度。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218099927 U 2022.12.20 CN 218099927 U 1.一种用于光刻 胶的烘干 机， 其特征在于， 包括： 烘干箱(1)， 所述烘干箱(1)的外部安装有电器盒(2)， 且电器盒(2)的中部插接有电动 推杆(13)， 所述烘干箱(1)的内部两侧安装有活动板(6)， 且活动板(6)的背面与电动推杆 (13)的伸缩端相连接， 所述烘干箱(1)的内侧中部顶端连通有散热通道(4)， 且散热通道(4) 的底部安装有散热扇(3)， 所述散热扇(3)外部连接风琴式钢片(5)， 且风琴式钢片(5)的另 一端与活动板(6)的内壁相连接； 加热板(11)， 所述加热板(11)安装在烘干箱(1)的内侧底部， 且加热板(11)的上方设置 有排风扇(12)， 所述活动板(6)的内壁安装有固定板(10)， 且固定板(10)的顶部 设置有线性 轨道(14)， 所述线性轨道(14)的内部滑动 连接有直线电机(15)， 且直线电机(15)的顶部安 装有连接板(9)， 所述连接板(9)的内侧安装有伸缩架(8)， 且伸缩架(8)的上方设置有承载 片(7)。 2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的烘干机， 其特征在于： 所述风琴式钢片(5) 与散热扇(3)的边框之间为固定连接， 且风琴式钢片(5)分布有两组。 3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的烘干机， 其特征在于： 所述活动板(6)通过 电动推杆(13)与烘干箱(1)构成伸缩结构， 且活动板(6)与固定 板(10)之间为固定连接 。 4.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的烘干机， 其特征在于： 所述伸缩架(8)端头 与连接板(9)的外壁之间为活动连接， 且伸缩架(8)的收缩高度与连接板(9)的板块厚度相 等。 5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的烘干机， 其特征在于： 所述连接板(9)通过 直线电机(15)、 线性轨道(14)与固定板(10)构成移动结构， 且 连接板(9)的板面开设有通孔 (16)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218099927 U 2一种用于光刻胶的烘干机 技术领域 [0001]本实用新型 涉及光刻 胶烘干技 术领域， 尤其涉及一种用于光刻 胶的烘干 机。 背景技术 [0002]光刻胶又称光致抗蚀剂， 是指通过紫外光、 电子束、 离子束、 X射线等的照射或辐 射， 其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料， 由感光树脂、 增感剂和溶剂3种主要成分组成 的对光敏感的混合液体， 在光刻工艺过程中， 用作抗腐蚀涂层材料， 半导体材料在表面加工 时， 若采用适当的有选择性的光刻胶， 可在表面上得到所需的图像， 均胶和烘干是光刻工艺 中的一道工序， 为增加胶层与硅片表面粘附能力， 提高在接触式曝光中胶层与掩模版接触 时的耐磨性能及稳定胶层的感光灵敏度， 通常采用烘箱或加热板等加热设备对光刻胶进 行 干燥。 [0003]现有的用于光刻胶的烘干机， 在对小于烘干机内部的烘干空间的光刻胶半导体进 行烘干时， 因内部空间较大， 导致烘干机内部升温耗时较长， 难以随着光刻胶半导体的大 小， 调整烘干空间的大小， 从而节省烘干时间。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有的用于光刻胶的烘干机， 在对小于烘干机内部 的烘干空间的光刻胶半导体进 行烘干时， 因内部空间较大， 导致烘干机内部升温耗时较长， 难以随着光刻胶半导体的大小， 调整烘干空间的大小， 从而节省烘干时间的缺点， 而提出的 一种用于光刻 胶的烘干 机。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种用于光刻 胶的烘干 机， 包括： [0007]烘干箱， 所述烘干箱的外部安装有电器盒， 且电器盒的中部插接有电动推杆， 所述 烘干箱的内部两侧 安装有活动板， 且活动板的背面与电动推杆的伸缩端相连接， 所述烘干 箱的内侧中部顶端连通有散热通道， 且散热通道的底部安装有散热扇， 所述散热扇外部连 接风琴式钢片， 且风琴式钢片的另一端与活动板的内壁相连接； [0008]加热板， 所述加热板安装在烘干箱的内侧底部， 且加热板的上方设置有排风扇， 所 述活动板的内壁安装有固定板， 且固定板的顶部设置有线性轨道， 所述线性轨道的内部滑 动连接有直线电机， 且直线电机的顶部安装有连接板， 所述连接板的内侧安装有伸缩架， 且 伸缩架的上 方设置有承载片。 [0009]优选的， 所述风琴式钢片与散热扇的边框之间为固定连接， 且风琴式钢片分布有 两组。 [0010]优选的， 所述活动板通过电动推杆与烘干箱构成伸缩结构， 且活动板与 固定板之 间为固定连接 。 [0011]优选的， 所述伸缩架端头与连接板 的外壁之间为活动连接， 且伸缩架的收缩高度 与连接板的板块厚度相等。说　明　书 1/3 页 3 CN 218099927 U 3