(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221246724.0 (22)申请日 2022.05.23 (73)专利权人 江苏新智达新能源设备有限公司 地址 214000 江苏省无锡市梁 溪区会北路 26-14 (72)发明人 向军　 (74)专利代理 机构 南京中高专利代理有限公司 32333 专利代理师 陈章 (51)Int.Cl. H01L 21/677(2006.01) H01L 21/60(2006.01) B23K 37/00(2006.01) (54)实用新型名称 半导体共晶焊 接炉用的上 下料机构 (57)摘要 本实用新型提供了一种半导体共晶焊接炉 用的上下料机构， 可用于半导体共晶焊接装置中 的上料工位和下料工位， 包括机架、 吸嘴、 驱动机 构和料架， 所述驱动机构安装在所述机架上， 所 述料架上堆叠有料片， 所述料架下方设有自动推 料机构， 所述自动推料机构可顶推所述料架上的 料片向上移动， 驱动机构采用设置第一电机、 同 步带、 第一滑块和第一滑轨， 通过第一电机带动 同步带转动， 使第一滑轨可在第一滑块上移动， 带动安装板和吸嘴在横向方向上的运动， 同时采 用气缸驱动第二滑块沿第二滑轨上下运动， 进而 带动吸嘴进行上下运动， 吸嘴可快速的在烧结炉 和料架之间运输料片， 相较于现有技术结构简 单， 操作方便， 有效的提高了 工作效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217719533 U 2022.11.01 CN 217719533 U 1.一种半导体共晶焊接炉用的上下料机构， 可用于半导体共晶焊接装置中的上料工位 和下料工位， 其特征在于， 包括机架(1)、 吸嘴(2)、 驱动机构和料架(3)， 所述驱动机构安装 在所述机架(1)上， 所述料架(3)上堆叠有 料片， 所述 驱动机构可控制所述吸嘴(2)吸取所述 料片进行上料或者下料， 所述料架(3)下方设有自动推料机构， 所述自动推料机构可顶推所 述料架(3)上的料片向上移动。 2.如权利要求1所述的半导体共晶焊接炉用的上下料机构， 其特征在于， 所述驱动机构 包括第一电机(4)、 第一滑块(5)、 第一滑轨(6)和支撑板(7)， 所述机架(1)上固定连接有第 一安装板(8)， 所述第一滑块(5)固定在所述第一安装板(8)的底面， 所述第一滑轨(6)滑动 设置在所述第一滑 块(5)上， 所述第一滑轨(6)横向固定在所述支撑板(7)上， 所述第一电机 (4)固定在所述第一安装板(8)上， 所述第一电机(4)的输出轴上设有第一带轮(9)， 所述支 撑板(7)的两端均转动设有第二带轮(10)， 所述第一带轮(9)和两个所述第二带轮(10)通过 同步带(11)进行连接， 所述同步带(11)上固定设有连接块(12)， 所述连接块(12)固定在所 述支撑板(7)上； 所述支撑板(7)的右端竖直固定有气缸(13)， 所述气缸(13)上竖直固定有第二滑轨 (14)， 所述第二滑轨(14)上滑动设有第二滑块(15)， 所述气缸(13)的活塞杆与所述第二滑 块(15)的下端 连接， 所述第二滑块(15)的下端固定有第二安装板(16)， 所述吸嘴(2)安装在 所述第二 安装板(16)上。 3.如权利要求1所述的半导体共晶焊接炉用的上下料机构， 其特征在于， 所述自动推料 机构包括第二电机(17)、 丝杆(18)、 推板(19)和丝杆支座(20)， 所述丝杆支座(20)竖直固定 在所述机架(1)上， 所述丝杆(18)安装在所述丝杆支座(20)上， 所述第二电机(17)固定在所 述丝杆支座(20)的底端， 所述第二电机(17)的输出端与所述丝杆(18)传动连接， 所述丝杆 (18)上套设有螺母， 所述推板(19)的一端固定在所述螺母上， 所述推板(19)的另一端设置 在所述料片的下 方。 4.如权利要求2所述的半导体共晶焊接炉用的上下料机构， 其特征在于， 所述第 一安装 板的底面还设有二个导轮(21)， 二个所述 导轮(21)分别位于所述第一带轮(9)的两侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217719533 U 2半导体共 晶焊接炉用的上下 料机构 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体封装领域， 尤其涉及一种半导体共晶焊接炉用的上下料机 构。 背景技术 [0002]共晶焊接技术在电子封装行业具有广泛的应用， 如晶片与基板 的粘接、 基板与管 壳的粘接、 管壳封帽等等， 与传统的环氧导电胶 粘接相比， 共晶焊接具有 热导率高、 热阻低、 传热快、 可靠性 强、 粘接后强度大的优点， 适用于高频、 大功 率器件中晶片与基板、 基板与管 壳的互联。 [0003]半导体的共晶焊接烧结炉 中一般设置有多道工位， 包括料片的上料和下料， 现有 的上料和下料工序操作操作较繁琐， 工作的效率较低。 实用新型内容 [0004]本实用新型要解决的技术问题是， 现有的上料和下料工序操作操作较繁琐， 工作 的效率较低的问题， 本实用新型提供了一种半导体共晶焊接炉用的上下料机构来解决上述 问题。 [0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 一种半导体共晶焊接炉用的上 下料机构， 可用于半导体共晶焊接装置中的上料工位和下料工位， 包括机架、 吸嘴、 驱动机 构和料架， 所述 驱动机构安装在所述机架上， 所述料架上堆叠有 料片， 所述 驱动机构可控制 所述吸嘴吸取所述料片进行上料或者下料， 所述料架下方设有自动推料机构， 所述自动推 料机构可顶推所述料架上的料片向上移动。 [0006]进一步地： 所述驱动机构包括第一电机、 第一滑块、 第一滑轨和支撑板， 所述机架 上固定连接有第一安装板， 所述第一滑块固定在所述第一安装板的底面， 所述第一滑轨滑 动设置在所述第一滑块上， 所述第一滑轨横向固定在所述支撑板上， 所述第一电机固定在 所述第一安装板上， 所述第一电机的输出轴 上设有第一带轮， 所述支撑板的两端均转动设 有第二带轮， 所述第一带轮和两个所述第二带轮通过同步带进行连接， 所述同步带上固定 设有连接块， 所述连接块固定在所述支撑板上； 所述支撑板的右端 竖直固定有气缸， 所述气 缸上竖直固定有第二滑轨， 所述第二滑轨上滑动设有第二滑块， 所述气缸 的活塞杆与所述 第二滑块的下端连接， 所述第二滑块的下端固定有第二安装板， 所述吸嘴安装在所述第二 安装板上。 [0007]进一步地： 所述自动推料机构包括第二电机、 丝杆、 推板和丝杆支座， 所述丝杆支 座竖直固定在所述机架上， 所述丝杆安装在所述丝杆支座上， 所述第二电机固定在所述丝 杆支座的底端， 所述第二电机的输出端与所述丝杆传动连接， 所述丝杆上套设有螺母， 所述 推板的一端固定在所述螺母上， 所述推板的另一端设置在所述料片的下 方。 [0008]进一步地： 所述第一安装板 的底面还设有二个导轮， 二个所述导轮分别位与所述 第一带轮的两侧。说　明　书 1/3 页 3 CN 217719533 U 3