(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222244069.1 (22)申请日 2022.08.25 (73)专利权人 四川瑞明斯工程 技术有限公司 地址 610000 四川省成 都市锦江区东大路 318号2栋14层1408号 (72)发明人 白在镐　李锦哲　任兰兰　魏智涛　 张林波　王延湖　钟林江　 (74)专利代理 机构 成都中亚专利代理有限公司 51126 专利代理师 王岗 (51)Int.Cl. F16M 11/04(2006.01) F16M 11/16(2006.01) F16M 11/24(2006.01) F16F 15/067(2006.01)(ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补 强系统 (57)摘要 本实用新型公开了一种带有动刚性强化调 节器的刚性结构补强系统； 使用轴向钢板与径向 钢板进行加固， 采用高强度螺栓固连。 然后将动 刚性强化调节器安装于顶板 之上， 使用粘钢胶与 高强度螺栓同时作用固定。 本实用新型的目的在 于解决上述现有技术存在的问题， 实现对现有厂 房结构本身存在的动刚性容许值不足的弥补， 以 达到高精密设备的动刚性需求。 本实用新型对应 的优点在于； 本系统中支撑型钢高度灵活可变， 易拆装， 能适应各种工厂结构环境； 在工厂结构 本身不满足设备动刚性要求时， 通过本系统结构 补强， 就可以达到标准； 满足粘度与密度条件下， 可任意更 换液压油种类型号。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 218032348 U 2022.12.13 CN 218032348 U 1.一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统， 其特 征在于； 包括； 带有动刚性强化调节器、 上部补强H型钢 （16） 、 轴向钢板 （17） 、 径向钢板 （18） 、 下 部补强H型钢 （19） 、 底部H型钢 （20） ； 下部补 强H型钢 （19） 采用高强度螺栓安装于底部H型钢 （20） 之上； 下部补 强H型钢 （19） 上增加上部补强H型钢 （16） ， 使用轴向钢板 （17） 与径向钢板 （18） 进行加固， 采用高强度螺栓固连， 然后将动刚性 强化调节器安装于上部补强H型钢 （16） 之上， 使用粘钢胶与高强度螺 栓同时作用固定 。 2.根据权利要求1所述一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统， 其特征在于； 带有动刚性强化调节器包括底座本体 （1） 、 支撑平台 （2） 、 一级锁紧环 （3） 、 二级锁紧环 （4） 、 轴向油缸 （5） 、 螺帽锁紧环 （6） 、 进油口 （7） 、 压力仪表 （8） 、 六角螺栓 （9） 、 平垫圈 （10） 、 六角头 压紧螺钉 （11） 、 挡油环 （12） 、 弹簧 （13） 、 弹簧套 （14） 、 顶轴 （15） ； 预先放置底座本体 （1） ， 轴向 油缸 （5） 与底座本体 （1） 为一体， 安装压力仪表 （8） 与进油口 （7） 螺纹连接， 使用塑封胶带防 止泄漏， 使用六角螺栓 （9） 将弹簧 （13） 固定于底座本体 （1） ， 放置平垫圈 （10） ， 安装弹簧套 （14） ， 螺纹安装顶轴 （15） ， 使用六角头压紧螺钉 （11） 加强固定， 安装挡油环 （12） ， 安装螺帽 锁紧环 （6） ， 依次安装一级锁紧环 （3） 、 二级锁紧环 （4） 、 支撑平台 （2） 。 3.根据权利要求1所述一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统， 其特征在于； 上部补强H型钢 （16） 、 下部补强H型钢 （19） 与底部H型钢 （20） 在径向焊接加强筋， 增加支撑结 构强度。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218032348 U 2一种带有 动刚性强化调节器的刚性结构补强系统 技术领域 [0001]本实用新型涉及基座补强领域， 具体来讲涉及的是一种带有动刚性强化调节器的 刚性结构补强系统。 背景技术 [0002]随科学技术突破发展， 国内半导体、 柔性面板显示技术以及各类工业生产技术等 对设备精度要求也大幅提高。 但在工厂厂房建设过程中， 由于设计施工、 经济等各方面因 素， 无论是格构梁还是华夫孔板结构， 部分区域仍难以达到高精设备 的动刚性与防微震需 求， 如显示面板与半导体晶圆制造必不可少的掩膜对准曝光机 （Exposure） 与宏观 缺陷检测 设备 （KLA） ， 一旦周围环境震动幅度超过其允许范围， 极易影响其产品生产过程， 导致良品 率低下， 甚至存在 宕机的风险。 [0003]现如今市场流行的传统防微震基座， 多为混凝土浇筑或钢结构焊接直接成型， 为 满足设备震动与刚性要求， 通常被制作成体积大、 质量大的基座， 导致运输搬入需要的空间 过大以及后续的安装固定过程较为困难。 若制作为小型 的基座， 采用锚栓与结构 刚性连接 后， 其扛震效果依附与厂房结构本身， 往 往动刚性强度低下， 防微震能力薄弱。 实用新型内容 [0004]因此， 为了解决上述不足， 本实用新型在此提供一种带有动刚性强化调节器 的刚 性结构补强系统。 其 目的在于解决上述现有技术存在的问题， 实现对现有厂房结构本身存 在的动刚性 容许值不足的弥补， 以达 到高精密设备的动刚性需求。 [0005]本实用新型是这样实现的， 构造一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系 统， 其特征在于； 包括； 带有动刚性强化调节器、 上部补强H型钢、 轴向钢板、 径向钢板、 下部 补强H型钢、 底部H型钢； 下部补强H型钢采用高强度螺栓安装于底部H型钢之上； 下部补强H 型钢上增加上部补强H型钢， 使用轴向钢板与径向钢板进 行加固， 采用高强度螺栓固连。 （为 方便运输与吊装， 通常不直接制造为超长的完整H型钢） ， 然后将动刚性强化调节器安装于 上部补强H型钢之上， 使用粘钢胶与高强度螺 栓同时作用固定 。 [0006]根据本实用新型所述一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统， 其特征在 于； 带有动刚性强化调节器包括底座本体、 支撑平台、 一级锁紧环、 二级锁紧环、 轴向油缸、 螺帽锁紧环、 进油口、 压力仪表、 六角螺栓、 平垫圈、 六角头压紧螺钉、 挡油环、 弹簧、 弹簧套、 顶轴； 预先放置底座本体， 轴向油缸与底座本体为一体， 安装压力仪表与进油口螺纹连接， 使用塑封胶带防止泄漏， 使用六角螺栓将弹簧固定于底座本体， 放置平垫圈安装弹簧套， 螺 纹安装顶轴， 使用六角头压紧螺钉加强固定， 安装挡油环， 安装螺帽锁紧环， 依次安装一级 锁紧环、 二级锁紧环、 支撑平台。 [0007]根据本实用新型所述一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统， 其特征在 于； 具体安装过程与工作原理为： 防止地面凹凸不平， 首先安装底部型钢， 底部填充环氧树 脂调节平衡后， 采用化学锚栓固连； 然后将下部补强H型钢， 采用高强度螺栓安装于底部H型说　明　书 1/3 页 3 CN 218032348 U 3