(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222255843.9 (22)申请日 2022.08.26 (73)专利权人 江西维易科半导体科技有限公司 地址 334000 江西省上饶市广丰区上饶高 新区霞峰电子信息产业园 专利权人 江西维易尔半导体设备有限公司 (72)发明人 叶政弦　徐利兵　 (74)专利代理 机构 深圳市智旭鼎浩知识产权代 理事务所(普通 合伙) 44746 专利代理师 张玲霞 (51)Int.Cl. F16M 11/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种匀胶显 影机的安装固定底座 (57)摘要 本实用新型涉及一种固定装置， 尤其涉及一 种匀胶显影机的安装固定底座。 提供一种能够进 行高度调节的匀胶显影机的安装固定底座。 一种 匀胶显影机的安装固定底座， 包括有显影机、 支 撑块、 底架、 滑杆、 上升块、 气缸、 显影机和限位机 构等； 两个底架共同固接支撑块， 底架上固接滑 杆， 滑杆上滑动式连接上升块， 支撑块上安装气 缸， 气缸的输出轴与上升块连接， 上升块顶部通 过滑槽滑动式连接限位机构， 限位机构内放置显 影机。 在气缸和固定架的作用下， 既能够实现对 匀胶显影机的高度调节， 同时也能够对匀胶显影 机进行限位固定 。 权利要求书1页 说明书2页 附图4页 CN 218153236 U 2022.12.27 CN 218153236 U 1.一种匀胶显影机的安装固定底座， 包括有显影机(1)， 其特征在于， 还包括有底架 (3)、 滑杆(301)、 上升块(4)、 支撑块(5)、 限位机构和气缸(501)， 两个底架(3)共同固接支撑 块(5)， 底架(3)上固接滑杆(301)， 滑杆(301)上滑动式连接上升块(4)， 支撑块(5)上安装气 缸(501)， 气缸(501)的输出轴 与上升块(4)连接， 上升块(4)顶部通过滑槽(401)滑动式连接 限位机构， 限位机构内放置 显影机(1)。 2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的安装固定底座， 其特征在于， 所述限位机构 还包括有固定架(2)、 卡块(202)和伸缩 杆(204)， 上升块(4)两侧通过滑槽(401)滑动式连接 固定架(2)， 固定架(2)上固接卡块(202)， 一侧的固定架(2)上固接伸缩杆(204)， 另一侧的 固定架(2)开有通 孔， 伸缩杆(204)和通 孔契合。 3.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的安装固定底座， 其特征在于， 还包括有橡胶 垫(203)， 固定架(2)底部固接 橡胶垫(20 3)。 4.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的安装固定底座， 其特征在于， 还包括有螺纹 杆(205)和拧动杆(201)， 两侧的固定架(2)底部共同被螺纹杆(205)贯穿， 且与一侧的固定 架(2)转动式连接， 与另一侧的固定架(2)螺纹式连接， 末端固接拧动杆(201)。 5.根据权利要求4所述的一种匀胶显影机的安装固定底座， 其特征在于， 所述拧动杆 (201)末端可拆卸的安装 “L”型摇杆。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218153236 U 2一种匀胶显影机的安装固定底座 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种固定装置， 尤其涉及一种匀胶显影机的安装固定底座。 背景技术 [0002]匀胶显影机是一种用于芯片光刻工艺的设备， 主要用于处理芯片晶圆的后续处理 工艺， 在使用时对设备的水平位置有较高的要求。 [0003]在现有的技术产品中， 显影机整体 的外部由外框和底座构成， 而在底座下方安装 有万向轮便于移动， 并且显影机在使用的时候根据不同的场景需求， 需要调整其高度， 而在 现有的显影机中， 其高度是固定的， 并无相关的调节设置， 不能够进行有效的高度调节。 [0004]鉴于此， 我们设计一种能够进行高度调节的匀胶显影机的安装固定底座。 实用新型内容 [0005]本实用新型为了克服现有显影机不能进行高度调节的缺点， 本实用新型要解决的 技术问题是提供一种能够进行高度调节的匀胶显影机的安装固定底座。 [0006]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的安装固定底 座， 包括有显影机、 底架、 滑杆、 上升块、 支撑块、 限位机构和气缸， 两个底架共同固接支撑 块， 底架上固接滑杆， 滑杆上滑动式连接上升块， 支撑块上安装气缸， 气缸的输出轴与上升 块连接， 上升块顶部通过滑槽滑动式连接限位机构， 限位机构内放置 显影机。 [0007]优选地， 所述限位机构还包括有固定架、 卡块和伸缩杆， 上升块两侧通过滑槽滑动 式连接固定架， 固定架上固接卡块， 一侧的固定架上固接伸缩杆， 另一侧的固定架开有通 孔， 伸缩杆和通 孔契合。 [0008]优选地， 还 包括有橡胶垫， 固定架 底部固接 橡胶垫。 [0009]优选地， 还包括有螺纹杆和拧动杆， 两侧的固定架底部共同被螺纹杆贯穿， 且与一 侧的固定架转动式连接， 与另一侧的固定架螺纹式连接， 末端固接拧动杆。 [0010]优选地， 所述拧动杆末端可拆卸的安装 “L”型摇杆。 [0011]本实用新型的有益效果 为： [0012]在气缸和固定架的作用下， 既能够实现对匀胶显影机 的高度调节， 同时也能够对 匀胶显影机进行限位固定 。 [0013]在螺纹杆的作用下， 转动拧动杆能够对不同的大小的匀胶显影机进行放置固定 。 附图说明 [0014]图1为本实用新型的立体示 意图。 [0015]图2为本实用新型的固定架、 拧动杆等部分立体结构示 意图。 [0016]图3为本实用新型的上升块、 滑槽等部分立体结构示 意图。 [0017]图4为本实用新型的底 架、 滑杆等部分立体结构示 意图。 [0018]附图中的标记为： 1 ‑显影机， 2 ‑固定架， 201 ‑拧动杆， 202 ‑卡块， 203 ‑橡胶垫， 204 ‑说　明　书 1/2 页 3 CN 218153236 U 3