(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222203911.7 (22)申请日 2022.08.22 (73)专利权人 苏州清越光电科技股份有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市高新区 晨丰路18 8号 (72)发明人 屈鹏鹏　李勇　王太访　 (74)专利代理 机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 1 1659 专利代理师 刘彦伟 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 清洁机构及清洁装置 (57)摘要 本实用新型涉及半导体制造技术领域， 公开 了一种清洁机构以及清洁装置。 清洁机构包括： 清洁组件， 包括沿第一方向间隔排布的两个清洁 头， 两个清洁头沿第二方向的同一侧的侧壁上均 开设有凹槽， 凹槽沿第一方向贯通对应的清洁 头； 止挡组件， 包括止挡件和转动轴， 转动轴沿第 二方向延伸， 转动轴的一端固定连接于凹槽的开 槽面上， 凹槽沿宽度方向的至少一侧设置转动 轴， 转动轴穿设于止挡件， 止挡件至少遮挡部分 凹槽， 止挡件能够绕转动轴转动， 以调整止挡件 遮挡凹槽的面积； 驱动组件， 能够驱动至少一个 清洁头沿第一方向移动。 本实用新型防止清洁带 料脱离清洁头， 降低邦定区域上的引线损伤的可 能性， 保证产品合格率， 又扩大了适用范围， 提高 实用性。 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 CN 217911701 U 2022.11.29 CN 217911701 U 1.清洁机构， 其特 征在于， 包括： 清洁组件(1)， 包括沿第一方向间隔排布的两个清洁头(11)， 两个所述清洁头(11)沿第 二方向的同一侧的侧壁上均开设有凹槽(12)， 两个所述凹槽(12)沿所述第一方向正对设置 且分别沿所述第一方向贯 通对应的所述清洁头(1 1)； 止挡组件(2)， 包括止挡件(21)和转动轴(22)， 所述转动轴(22)沿所述第二方向延伸， 所述转动轴(22)的一端固定连接于所述凹槽(12)的开槽面上， 所述凹槽(12)沿宽度方向的 至少一侧设置所述转动轴(22)， 所述转动轴(22)穿设于所述止挡件(21)， 所述止挡件(21) 至少遮挡部分所述凹槽(12)， 所述止挡件(21)能够绕所述转动轴(22)转动， 以调整所述止 挡件(21)遮挡所述凹槽(12)的面积， 所述第一方向与所述第二方向垂直设置； 驱动组件(3)， 能够驱动 至少一个所述清洁头(11)沿所述第一方向移动， 以使两个所述 清洁头(1 1)相互靠 近或远离 。 2.根据权利 要求1所述的清洁机构， 其特征在于， 所述止挡组件(2)还包括限位件(23)， 所述止挡件(21)沿第三方向的侧壁上开设有限位槽(211)， 所述限位槽(211)靠近所述转动 轴(22)一侧的侧壁为弧形壁(2111)， 所述弧形壁(2111)的轴线与所述转动轴(22)的轴线共 线设置， 所述限位件(23)沿所述第二方向延伸， 所述限位件(23)的一端固定连接于所述开 槽面， 所述限位件(23)置于所述限位槽(211)内并能够沿所述弧形壁(2111)相对所述止挡 件(21)滑动， 所述第一方向、 所述第二方向以及所述第三方向两 两相互垂直。 3.根据权利要求1所述的清洁机构， 其特征在于， 两个所述清洁头(11)朝向彼此的端面 均包括清洁平 面(111)和避 让斜面(112)， 所述清洁平 面(111)垂直于所述第一方向， 所述清 洁平面(111)与所述凹槽(12)正对设置， 所述清洁平 面(111)沿第三方向的两侧均连接有所 述避让斜面(112)， 所述避让斜面(112)远离所述清洁平面(111)的一端朝向远离另一个所 述清洁头(1 1)的方向倾 斜， 所述第一方向、 所述第二方向以及所述第三方向两 两相互垂直。 4.根据权利要求3所述的清洁机构， 其特征在于， 所述清洁机构还包括支撑件(4)， 至少 一个所述清洁头(11)沿所述第二方向远离所述凹槽(12)的一侧设置有所述支撑件(4)， 所 述支撑件(4)朝向另一所述清洁头(11)的面上开设有承托槽(41)， 所述承托槽(41)沿所述 第二方向贯通所述支撑件(4)， 所述承托槽(41)的槽底 面与所述清洁平 面(111)沿所述第二 方向排布且 共面设置 。 5.根据权利要求3所述的清洁机构， 其特征在于， 所述清洁平面(111)上凸出设置有凸 棱(13)。 6.根据权利要求5所述的清洁机构， 其特征在于， 所述凸棱(13)沿所述第二方向延伸； 和/或， 所述凸棱(13)间隔设置有 多个。 7.根据权利要求1 ‑6任一项所述的清洁机构， 其特征在于， 设定其中一个所述清洁头 (11)为第一清洁头(1 1a)； 所述驱动组件(3)包括驱动气缸(31)， 所述驱动气缸(31)的输出端(311)连接于所述第 一清洁头(11a)且能够沿所述第一方向移动， 所述驱动气缸(31)的活塞将所述驱动气缸 (31)的缸体内腔分 隔为第一腔室与第二腔室， 所述缸体上设置有两个进气接头(312)， 两个 所述进气接头( 312)分别与所述第一腔室与所述第二腔室缸体连通， 每个所述进气接头 (312)均通过 管路与一个调压阀连接 。 8.根据权利要求7所述的清洁机构， 其特征在于， 设定另一个所述清洁头(11)为第二清权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217911701 U 2洁头(11b)； 所述驱动组件(3)包括调节件(32)， 所述调节件(32)连接于所述第二清洁头(11b)， 所 述调节件(32)为微分头， 所述微分头能够沿所述第一方向调节所述第二清洁头(11b)的位 置。 9.根据权利要求1 ‑6任一项所述的清洁机构， 其特征在于， 所述驱动组件(3)包括导轨 (33)和滑块(34)， 所述导轨(33)沿所述第一方 向延伸， 所述导轨(33)上滑动设置有两个所 述滑块(34)， 两个所述滑块(34)分别对应连接 于两个所述清洁头(1 1)。 10.清洁装置， 其特征在于， 包括供带组件以及如权利要求1 ‑9任一项所述的清洁机构， 所述供带组件设置有两组， 每组所述供带组件均包括供带料盘和收带料盘， 所述供带料盘 能够供给清洁带料(20)， 所述收带料盘能够收卷来自对应的所述供带料盘的所述清洁带料 (20)， 来自两个所述供带料盘的所述清洁带料(20)分别对应经过两个所述清洁头(11)的所 述凹槽(12)。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217911701 U 3