(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111349326.1 (22)申请日 2021.11.15 (71)申请人 歌尔股份有限公司 地址 261031 山东省潍坊市高新 技术产业 开发区东方路268号 (72)发明人 刘艺　朱春霖　董立超　刘宝山　 金成滨　代杰　吾晓　饶轶　 (74)专利代理 机构 北京博雅睿泉专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11442 代理人 王莹辉 (51)Int.Cl. G06F 30/27(2020.01) G06N 3/04(2006.01) G06N 3/08(2006.01) G06F 111/14(2020.01) (54)发明名称 获取光栅结构数据的方法、 装置及可读存储 介质 (57)摘要 本公开涉及一种获取光栅结构数据的方法、 装置及可读存储介质， 该方法包括： 获取待测光 栅的第一衍射效率数据， 其中， 所述第一衍射效 率数据通过检测得到； 根据目标模 型和所述第一 衍射效率数据， 获得所述待测光栅的第一光栅结 构数据； 其中， 所述目标模型为根据设定光栅的 第二光栅结构数据和第二衍射效率数据对设定 模型的模型参数进行调整所得到的模 型， 所述待 测光栅和所述设定光栅的光栅类型相同， 所述第 二光栅结构数据和所述第二衍射效率数据均通 过检测得到， 根据所述第二光栅结构数据和所述 目标模型获得的衍射效率数据与所述第二衍射 效率数据符合设定匹配要求。 权利要求书2页 说明书13页 附图4页 CN 114169224 A 2022.03.11 CN 114169224 A 1.一种获取光 栅结构数据的方法， 其特 征在于， 包括： 获取待测光 栅的第一 衍射效率数据， 其中， 所述第一 衍射效率数据通过检测得到； 根据目标模型和所述第一 衍射效率数据， 获得 所述待测光 栅的第一 光栅结构数据； 其中， 所述目标模型为根据设定光栅的第 二光栅结构数据和第 二衍射效率数据对设定 模型的模型参数进行调整所得到的模型， 所述待测光栅和所述设定光栅的光栅类型相同， 所述第二光栅结构数据和所述第二衍射效率数据均通过检测得到， 根据所述第二光栅结构 数据和所述目标模型获得的衍 射效率数据与所述第二 衍射效率数据符合设定匹配要求。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 在所述根据目标模型和所述第 一衍射效率 数据， 获得 所述待测光 栅的第一 光栅结构数据之前， 所述方法还 包括： 根据所述第二 光栅结构数据和所述设定模型获得第三 衍射效率数据； 检测所述第 三衍射效率数据与所述第 二衍射效率数据是否符合所述设定匹配要求， 得 到检测结果； 根据所述检测结果和所述设定模型， 获得 所述目标模型。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述根据所述检测结果和所述设定模型， 获得所述目标模型， 包括： 在所述检测结果表示所述第三衍射效率数据与所述第二衍射效率数据不符合所述设 定匹配要求的情况下， 对所述设定模型 的模型参数进行调整得到第二模型， 并以所述第二 模型作为所述设定模型， 再次执行所述根据所述第二光栅结构数据和所述设定模型获得第 三衍射效率数据的步骤； 在所述检测结果表示所述第三衍射效率数据与所述第二衍射效率数据符合所述设定 匹配要求的情况 下， 以所述设定模型作为所述目标模型。 4.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述获取待测光栅的第一衍射效率数据， 包括： 通过控制光谱仪的探测装置的位置变化， 获得所述待测光栅的不同角度衍射光生成的 光谱数据； 根据所述光谱数据， 获取所述不同角度下的光栅衍射效率数据， 作为所述第一衍射效 率数据。 5.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述第二光栅结构数据通过原子力显微 镜、 扫描电子 显微镜、 透射电子 显微镜中的任意 一种检测得到 。 6.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述光栅类型为闪耀光栅、 二元光栅、 倾斜 光栅中的任意 一种。 7.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述第 一光栅结构数据和所述第 二光栅结 构数据均包括： 光栅结构参数、 用于指示光栅缺陷情况的数据、 用于指示光栅基底和结构层 材料光学特性的数据中的至少一种。 8.一种获取光 栅结构数据的装置， 其特 征在于， 包括： 第一获取模块， 用于获取待测光栅的第一衍射效率数据， 其中， 所述第 一衍射效率数据 通过检测得到； 以及， 第二获取模块， 用于根据目标模型和所述第一衍射效率数据， 获得所述待测光栅的第 一光栅结构数据；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114169224 A 2其中， 所述目标模型为根据设定光栅的第 二光栅结构数据和第 二衍射效率数据对设定 模型的模型参数进行调整所得到的模型， 所述待测光栅和所述设定光栅的光栅类型相同， 所述第二光栅结构数据和所述第二衍射效率数据均通过检测得到， 根据所述第二光栅结构 数据和所述目标模型获得的衍 射效率数据与所述第二 衍射效率数据符合设定匹配要求。 9.一种获取光栅结构数据的装置， 包括存储器和处理器， 所述存储器用于存储计算机 程序； 所述处理器用于执行所述计算机程序， 以实现根据权利要求 1‑7中任意一项 所述的方 法。 10.一种计算机可读存储介质， 所述计算机可读存储介质上存储计算机程序， 所述计算 机程序在被处 理器执行时实现根据权利要求1 ‑7中任意一项所述的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114169224 A 3