(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212328 8470.7 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 天津环渤新材 料有限公司 地址 300270 天津市滨 海新区大港石化产 业园区 (72)发明人 袁永和　崔鹏慧　 (74)专利代理 机构 天津知川知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 12249 专利代理师 胡翠 (51)Int.Cl. C02F 9/04(2006.01) B01D 53/78(2006.01) B01D 53/50(2006.01) C01B 17/74(2006.01) C01B 17/80(2006.01)C02F 103/18(2006.01) (54)实用新型名称 一种电子酸废液预处理模块及电子酸废液 回收处理生产线 (57)摘要 本实用新型涉及电子酸废液及硫酸生产过 程中产生的烟气综合处理领域， 提供一种电子酸 废液预处理模块， 包括陶瓷膜过滤器、 活性炭处 理单元、 离子交换树脂单元中的至少一种； 电子 酸废液回收处理生产线包括电子酸废液预处理 模块以及蓄电池硫酸吸收模块、 尾气吸收模块， 电子酸废液经预处理模块预处理后， 分别向蓄电 池硫酸吸收模块及尾气吸收模块供酸 以此来回 收电子酸废液； 在蓄电池硫酸吸收模块内烟气中 的三氧化硫与浓硫酸中的水反应生成硫酸， 反应 后利用尾气中的二氧化硫与尾气吸收模块内电 子酸废液中的双氧水反应生成硫酸。 有益效果： 不但回收了电子酸废液及烟气中的三氧化硫、 二 氧化硫， 且减少了脱盐水使用量， 提高了硫酸浓 度。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 217202312 U 2022.08.16 CN 217202312 U 1.一种电子酸废液预处理模块， 其特征在于： 包括陶瓷膜过滤器、 活性炭处理单元、 离 子交换树脂单元中的至少一种， 所述陶瓷膜过滤器为内置微孔陶瓷膜的容器， 微孔陶瓷膜 的过滤等级为50纳米； 所述活性炭处理单元为内置S级活性炭的容器； 所述离子交换树脂单 元为内置 H型交换树脂的容器。 2.一种电子酸废液回收处理生产线， 其特征在于： 包括如权利要求1所述的电子酸废液 预处理模块以及蓄电池硫酸吸收模块、 尾气吸收模块， 电子酸废液预处理模块的出料 口通 过管道分别连通蓄电池 硫酸吸收模块的补酸口 Ⅰ、 尾气吸收模块的补酸口 Ⅱ。 3.根据权利要求2所述的一种电子酸废液回收处理生产线， 其特征在于： 所述蓄电池硫 酸吸收模块的过渡层及尾气吸收模块的循环槽 Ⅱ一侧均设有气排入口， 烟气从气排入口进 入到过渡层内， 所述循环槽 Ⅱ内的酸液从进酸口 Ⅱ的一侧打入到尾气吸收模块内， 经过分 酸器Ⅱ使得酸液均匀分布后， 依靠自身重力流经塔内的填料层 Ⅱ与烟气逆向接触， 反应后 的酸液回到循环槽 Ⅱ； 所述蓄电池硫酸吸收模块顶部设有尾气出 口， 所述尾气出 口通过管 道连通循环槽 Ⅱ一侧的气排入口； 循环槽 Ⅰ内的酸液从进酸口 Ⅰ打入到蓄电池硫酸吸收模块 内， 经过分酸器 Ⅰ使得酸液均匀分布后， 依靠自身重力流经塔内的填料层 Ⅰ与从蓄电池硫酸 吸收模块排出的尾气逆向接触， 反应后的酸液回落到所述循环槽 Ⅰ。 4.根据权利要求2或3所述的一种电子酸废液回收处理生产线， 其特征在于： 循环槽 Ⅰ内 设有液位传感器， 当所述循环槽 Ⅰ内的硫酸达到一定液位高度后通过出酸口 Ⅰ排出， 通过动 力装置从所述蓄电池硫酸吸收模块顶部一侧的进酸口 Ⅰ打入到蓄电池硫酸吸收模块内实现 内循环或进入计量罐使循环槽 Ⅰ内的酸液始终 维持在一定液位高度； 循环槽Ⅱ内设有液位传感器， 当所述循环槽 Ⅱ内的酸液达到一定液位高度后通过动力 装置从进酸口 Ⅱ的一侧打入到尾气吸收模块内或被收集使循环槽 Ⅱ内的酸液始终维持在 一定液位高度。 5.根据权利要求2或3所述的一种电子酸废液回收处理生产线， 其特征在于： 本生产线 还包括废酸地槽， 所述废酸地槽内设有液位传感器， 液下离心泵将废酸地槽内的电子酸废 液通过管道从废酸储罐顶部 输送到废酸储罐内， 所述废酸储罐底部一侧设有放 酸阀门。 6.根据权利要求2或3所述的一种电子酸废液回收处理生产线， 其特征在于： 循环槽 Ⅰ内 设有98％硫酸， 循环槽 Ⅱ内设有30％硫酸； 所述循环槽 Ⅱ内设有浓度传感器， 当所述浓度传感器检测循环槽 Ⅱ内酸液的浓度 大于 30％时自动打开动力装置由进水口 Ⅰ向循环槽 Ⅱ内加入脱盐水使酸液浓度控制在3 0％。 7.根据权利要求6所述的一种电子酸废液回收处理生产线， 其特征在于： 本装置还包括 1台换热器， 所述换热器上设有酸液入口、 酸液出口、 进水口 Ⅱ、 出水口Ⅱ， 所述酸液入口通 过管道连通循环槽 Ⅰ底部的出酸口 Ⅰ， 所述酸液出口通过管道连通蓄电池硫酸吸收模块一侧 出酸口Ⅰ所连通的出酸管道， 所述进水口 Ⅱ通过外管 连通水罐。 8.根据权利要求7所述的一种电子酸废液回收处理生产线， 其特征在于： 本装置还包括 多个用于控制开关状态、 开度的电磁阀及 控制终端， 所述电磁阀分布在各个管道上， 所述控 制终端电连接液 下离心泵、 液位传感器、 循环泵、 废酸泵、 浓度传感器及电磁阀。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217202312 U 2一种电子酸废液预处理模块及电子酸废液回收处理生产线 技术领域 [0001]本实用新型涉及电子酸废液及硫酸生产过程中产生的烟气综合处理领域， 尤其是 涉及一种电子酸废液 预处理模块及电子酸废液回收处 理生产线。 背景技术 [0002]湿电子化学品 ‑‑电子级硫酸又称高纯硫酸、 超纯硫酸， 属于超净高纯试剂， 是一种 微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂， 广泛应用于半导体、 超大规模集成 电路的装配和加工过程， 也应用于硅晶片的清洗、 光刻、 腐蚀， 印刷电路板的腐蚀和电镀清 洗。 [0003]申请人为一家专门生产电子酸、 各种含量硫酸的化工企业， 目前所销售的电子酸 主要用于电子芯片的蚀刻、 清洗过程使用电子级硫酸进行清洗， 之后产生的电子酸废液目 前国内还没有合理的回收办法， 为提高公司产品的竞争力， 申请人对已售出、 已使用的电子 酸废液回收进一 步提高酸的利用率。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是提供一种电子酸废液预处理模块及电子酸废液与烟气协同 回收处理生产线， 采用该生产线电子酸废液与烟气的回收率高。 [0005]本实用新型的技 术方案是： [0006]一种电子酸废液预处理模块， 包括陶瓷膜过滤器、 活性炭处理单元、 离子交换树脂 单元中的至少一种， 所述陶瓷膜过滤器为内置微孔陶瓷膜的容器， 微孔陶瓷膜的过滤等级 为50纳米； 所述活性炭处理单元为内置S级活性炭的容器， 利用S级活性炭吸附性将电子酸 废液中的带颜色有机物进行吸 附， 去除电子酸废液中带颜色有机物； 所述离子交换树脂单 元为内置H型交换树脂的容器， 通过H型交换树脂的离子交换， 将电子酸废液中的金属离子 进行去除。 [0007]一种电子酸废液回收处理生产线， 包括上述电子酸废 液预处理模块以及蓄电池硫 酸吸收模块、 尾气吸 收模块； [0008]废酸地槽内设有液下离心泵及液位传感器， 所述液下离心泵将废酸地槽内的电子 酸废液通过管道从废酸储罐顶部输送到废酸储罐内， 使所述废酸地槽液位保持合理指标范 围， 直至所述槽车或吨桶中的电子酸废液卸放完毕； 所述废酸储罐底部一侧设有放酸阀门， 打开所述放酸阀门使电子酸废液流入废酸地槽， 与此同时开启所述液下离心泵， 所述废酸 地槽内的电子酸废液通过液下离心泵及管道先后通过陶瓷膜 过滤器、 活性炭处理单元以及 离子交换树脂单元 的全部三个单元或其中任意1 ‑2个单元， 去除电子酸废液中固体机械杂 质、 有机物或重金属离子中的全部三种或其中任意 1‑2种， 所述电子酸废液预 处理模块的出 料口通过管道分别连通蓄电池硫酸吸收模块的补酸口 Ⅰ、 尾气吸收模块的补酸口 Ⅱ， 然后通 过管道分别向所述蓄电池 硫酸吸收模块及尾气吸 收模块供酸； [0009]进一步， 上述过程中， 通过控制 管道及其上面的电磁阀使得电子酸废液通过所述说　明　书 1/5 页 3 CN 217202312 U 3