(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202111454472.0 (22)申请日 2021.12.02 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 113897598 A (43)申请公布日 2022.01.07 (73)专利权人 苏州力碳 新能源发展 有限公司 地址 215000 江苏省苏州市太 仓市娄东 街 道宣公东路2 9号 (72)发明人 李同意　汪炜　李云初　周翟和　 (74)专利代理 机构 北京汇捷知识产权代理事务 所(普通合伙) 11531 代理人 霍从芳 (51)Int.Cl. C23C 16/54(2006.01) C23C 16/32(2006.01)C23C 16/458(2006.01) H01M 4/04(2006.01) H01M 4/1395(2010.01) H01M 10/0525(2010.01) (56)对比文件 CN 110500879 A,2019.1 1.26 CN 205300229 U,2016.0 6.08 CN 110005810 A,2019.07.12 CN 211739832 U,2020.10.23 CN 210036227 U,2020.02.07 审查员 汤庆新 (54)发明名称 一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉 (57)摘要 本发明公开了一种连续式硅碳负极包覆动 态CVD沉积炉， 属于CVD沉积炉领域。 一种连续式 硅碳负极包覆动态CVD沉积炉， 包括底座和炉管， 所述底座上固定连接有支撑板， 所述支撑板的顶 部设有用于支撑炉管的支撑件， 所述支撑板上还 滑动连接有与炉管相配合的罩体； 所述罩体的内 壁通过支撑块支撑有筒体， 所述炉管上设有细 孔， 所述支撑板上还设有与炉管相配合的送料机 构； 所述筒体内设有与炉管相抵的第一密封气 囊 和第二密封气囊， 所述罩体内设有抽风机， 用于 抽取筒体与炉管之间的气体； 所述密封法兰与炉 管密封连接； 本发明可有效的进行密封操作， 防 止乙炔、 甲烷和氢气等气体产生泄露， 避免了产 生爆炸的危险， 提高了使用时的安全程度。 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 CN 113897598 B 2022.03.08 CN 113897598 B 1.一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉， 包括底座 （1） 和炉管 （2） ， 其特征在于， 所 述底座 （1） 上固定连接有支撑板 （101） ， 所述支撑板 （101） 的顶部设有用于支撑炉管 （2） 的支 撑件 （202） ， 所述支撑 板 （101） 上还滑动连接有与 炉管 （2） 相配合的罩体 （102） ； 所述罩体 （102） 的内壁通过支撑块 （307） 支撑有筒体 （3）， 所述炉管 （2） 上设有细孔 （201） ， 所述细孔 （201） 置于筒体 （3） 内部， 所述支撑板 （101） 上还设有与炉管 （2） 相配合的进 料机构； 所述筒体 （3） 内设有与炉管 （2） 相抵的第一密封气囊 （609） 和第二密封气囊 （705） ， 所述 罩体 （102） 内设有抽风机 （3 02） ， 用于抽取筒体 （3） 与 炉管 （2） 之间的气体； 所述罩体 （102） 的端部设有固定法兰 （104） ， 所述固定法兰 （104） 上连接有密封法兰 （105） ， 所述密封法兰 （10 5） 与炉管 （2） 密封连接； 所述筒体 （3） 内设有锥管 （303） ， 所述抽风机 （302） 的抽风端设有与锥管 （303） 相连通的 抽风管 （304） ， 所述抽风机 （302） 的出风端通过出风管 （305） 连接有箱体 （6） ， 所述箱体 （6） 设 置在筒体 （3） 与罩体 （102） 之间， 所述出风管 （3 05） 上设有单向阀 （3 06） ； 所述箱体 （6） 内滑动连接有横板 （601） ， 所述横板 （601） 的底部与箱体 （6） 的底部之间设 有弹性件， 所述箱体 （6） 上设有连接管 （608） ， 所述连接管 （608） 与第一密封气囊 （609） 相连 通； 所述筒体 （3） 内设有空腔 （7） ， 所述空腔 （7） 内滑动连接有活塞板 （701） ， 所述活塞板 （701） 的底部设有梯形块 （702） ， 所述梯形块 （702） 与炉管 （2） 的外壁相抵， 所述空腔 （7） 内还 设有环形挡块 （703） 和第一弹簧 （706） ， 所述第一弹簧 （706） 设置在活塞板 （701） 与空腔 （7） 的内壁之间， 所述空腔 （7） 上 连接有与第二密封气囊 （70 5） 相连通的输送管 （704） 。 2.根据权利要求1所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉， 其特征在于， 所述 横板 （601） 上设有限位块 （603） ， 所述横 板 （601） 上还设有滑动连接在罩体 （102） 上的螺纹杆 （602） ， 所述螺纹杆 （602） 上设有固定螺母 （606） ， 所述箱体 （6） 的顶部设有排气管 （604） ， 所 述排气管 （604） 置于罩体 （102） 外的一端设有控制阀 （605） ， 所述罩体 （102） 的顶部设有挡板 （106） ， 所述挡板 （10 6） 上设有与排气管 （6 04） 相连接的连接法兰 （6 07） 。 3.根据权利要求1所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉， 其特征在于， 所述 密封法兰 （105） 的内壁设有 固定板 （8） ， 所述固定板 （8） 上滑动 连接有压板 （801） ， 所述压板 （801） 上设有橡胶垫 （802） ， 所述橡胶垫 （802） 上设有与炉管 （2） 上的通孔 （204） 相配合的橡 胶锥块 （80 3） 。 4.根据权利要求3所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉， 其特征在于， 所述 固定板 （8） 内设有凹槽 （804） ， 所述凹槽 （804） 内滑动连接有滑板 （805） ， 所述滑板 （805） 上固 定连接有与压板 （801） 相连的连杆 （806） ， 所述连杆 （806） 上套接有第二弹簧 （807） ， 所述第 二弹簧 （807） 连接在固定板 （8） 与压板 （801） 之间， 所述固定板 （8） 内还设有长管 （808） ， 所述 长管 （808） 分别与第三密封气囊 （809） 和凹槽 （804） 相连通。 5.根据权利要求1所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉， 其特征在于， 所述 进料机构包括送料箱 （5） ， 所述送料箱 （5） 内设有填充垫 （503） ， 所述送料箱 （5） 内转动连接 有送料轴 （501） ， 所述送料轴 （501） 上设有与填充垫 （503） 相抵的转动板 （502） ， 所述送料箱 （5） 的底部设有下料孔 （504） ， 所述炉管 （2） 置于罩体 （102） 外的一端设有与下料孔 （504） 相 配合的凹孔， 所述炉管 （2） 内设有从动轴 （403） ， 所述 从动轴 （403） 上设有螺旋片 （407） ， 所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 113897598 B 2送料箱 （5） 的顶部转动连接有箱门。 6.根据权利要求5所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉， 其特征在于， 所述 支撑板 （101） 上设有步进电机 （4） ， 所述步进电机 （4） 的输出端设有转动轴 （401） ， 所述转动 轴 （401） 与从动轴 （403） 上均设有通过第一皮带 （405） 相连的第一带轮 （402） ， 所述从动轴 （403） 与送料轴 （5 01） 上均设有通过第二皮带 （40 6） 相连的第二带轮 （404） 。 7.根据权利要求6所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉， 其特征在于， 所述 筒体 （3） 内还设有加热组件 （301） ， 用于加热炉管 （2） ， 所述炉管 （2） 内设有用于支撑从动轴 （403） 的立板 （203） ， 所述罩体 （102） 上设有滑孔 （103） ， 所述炉管 （2） 滑动连接在滑孔 （103） 内。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 113897598 B 3