(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123013847.8 (22)申请日 2021.12.0 3 (73)专利权人 无锡帝科电子材 料股份有限公司 地址 214200 江苏省无锡市宜兴 市屺亭街 道永宁路1 1号创业园二期B2幢 (72)发明人 史卫利　黄立夫　 (74)专利代理 机构 北京智行 阳光知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11738 代理人 黄文捷 (51)Int.Cl. B62B 3/04(2006.01) B62B 5/00(2006.01) B08B 1/02(2006.01) H05F 3/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅片半导体减 震防静电转 运装置 (57)摘要 本实用新型提供一种硅片半导体减震防静 电转运装置， 包括运输托板， 支撑柱， 移动轮， 底 部支撑架， 上部支撑架， 可调节夹紧靠板组件， 静 电消除棒组件， 防尘硅片运输水箱， 硅片清理擦 拭巾组件， 夹紧气囊， 约束挂钩， 斜撑支杆， 手推 扶手杆和移动握柄。 本实用新型所述的夹紧气 囊， 移动推板， 移动滑块， 定位螺钉， 缓冲弹簧， 夹 紧板和防护套的设置， 有利于对硅片半导体片 进 行夹持固定， 并在夹紧气 囊和防护套的作用下起 到减震缓冲保护的作用， 保护硅片半导体片的安 全； 所述的卷筒壳， 防尘罩， 连接挂钩和固定挂环 的设置， 有利于起到遮挡防护的作用， 避免杂物 落入到储水箱内， 保护硅片的安全。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 216232473 U 2022.04.08 CN 216232473 U 1.一种硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 该硅片半导体减震防静电转运 装置， 包括运输托板(1)， 支撑柱(2)， 移动轮(3)， 底部支撑架(4)， 上部支撑架(5)， 可调节夹 紧靠板组件(6)， 静电消除棒组件(7)， 防尘硅片运输水箱(8)， 硅片清理擦拭巾组件(9)， 夹 紧气囊(10)， 约束挂钩(1 1)， 斜撑支杆(12)， 手 推扶手杆(13)和移动握柄(14)； 所述的支撑柱(2)一端分别螺栓连接在运输托板(1)的下部四角位置， 另一端螺栓连接 在移动轮(3)的上部； 所述的底部支撑架(4)横向螺栓连接在两个支撑柱(2)的内侧下部位 置； 所述的上部支撑架(5)横向螺栓连接在两个支撑柱(2)的内侧上部位置； 所述的可调节 夹紧靠板组件(6)滑动卡接在底部支撑架(4)和上部支撑架(5)之间； 所述的静电消除棒组件(7)螺钉连接在右侧前部设置的支撑柱(2)的上侧位置； 所述的 防尘硅片运输水箱(8)胶接在运输托板(1)的上表面； 所述的硅片清理擦拭巾组件(9)螺钉 连接在左侧设置的支撑柱(2)的左侧上部位置； 所述的夹紧气囊(10)纵 向胶接在底部支撑架(4)和上部支撑架(5)的之间位置； 所述的 约束挂钩(11)螺纹连接在右侧设置的支撑柱(2)的前部下侧位置； 所述的斜撑支杆(12)一 端螺栓连接在支撑柱(2)的右侧， 另一端螺栓连接在手推扶手杆(13)的左侧； 所述的移动握 柄(14)镶嵌在手 推扶手杆(13)的右侧上部位置； 所述的可调节夹紧靠板组件(6)包括移动推板(61)， 移动滑块(62)， 定位螺钉(63)， 缓 冲弹簧(64)， 夹紧板(65)和防护套(66)， 所述的移动滑块(62)分别螺钉连接在移动推板 (61)的四角位置； 所述的定位螺钉(63)螺纹连接在移动滑块(62)的前部中间位置； 所述的 缓冲弹簧(64)一端螺钉连接在移动推板(61)的左侧， 另一端螺钉连接在夹紧板(65)的哟 粗； 所述的防护套(6 6)铆接在移动推板(61)的左侧外圈位置 。 2.如权利要求1所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的静电消除 棒组件(7)包括连接支板(71)， 第一滚 珠轴承(72)， 旋转铜棒(73)， 导线缠绕轮(74)， 接地导 线(75)和连接夹子(76)， 所述的第一滚珠轴承(72)镶嵌在连接支板(71)的右侧下部位置； 所述的旋转铜棒(73)的两端插接在第一滚 珠轴承(72)的内圈； 所述的接地导线(75)铆接在 旋转铜棒(73)的下部； 所述的导线缠绕轮(74)镶嵌在下部设置的连接支板(71)的外表面； 所述的连接 夹子(76)系接在接地 导线(75)的下端。 3.如权利要求1所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的防尘硅片 运输水箱(8)包括储水箱(81)， 排放管(82)， 控制阀门(83)， 卷筒壳(84)， 固定挂环(85)和缓 冲胶垫(86)， 凸球块(861)， 所述的排放管(82)螺纹连接在储水箱(81)的左侧下部中间位 置； 所述的控制阀门(83)螺纹连接在排放管(82)的上部； 所述的卷筒壳(84)螺钉连接在储 水箱(81)的左侧上部位置； 所述的固定挂环(85)分别螺钉连接在储 水箱(81)的右侧上部前 后两侧位置； 所述的缓冲胶垫(86)横向平铺 在储水箱(81)的内部下侧位置 。 4.如权利要求1所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的硅片清 理 擦拭巾组件(9)包括支撑吊板(91)， 第二滚 珠轴承(92)， 清理刮辊(93)， 清理刷毛(94)， 毛巾 垫(95)和棉布条(96)， 所述的第二滚珠轴承(92)镶嵌在支撑吊板(91)的内部左侧位置； 所 述的清理刮辊(93)纵向插接在第二滚 珠轴承(92)的内圈； 所述的清理刷毛(94)分别胶接在 清理刮辊(93)的外表 面； 所述的毛巾垫(95)纵向螺钉连接在两个支撑吊板(91)之间的右侧 位置； 所述的棉布条(96)缝接在毛巾垫(95)的外表面。 5.如权利要求1所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的移动轮权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216232473 U 2(3)的具体采用带有刹车片的静音橡胶万向轮； 所述的移动轮(3)设置有四个。 6.如权利要求1所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的防护套 (66)具体采用弹性的橡胶皮套； 所述的缓冲弹簧(64)和夹紧板(65)位于防护套(66)的内 部。 7.如权利要求3所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的卷筒壳 (84)的内部卷接有防尘罩(841)， 所述的防尘罩(841)的右侧前后两部胶接有连接挂钩 (842)。 8.如权利要求3所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的缓冲胶垫 (86)的上部一体化注塑有凸球块(861)。 9.如权利要求4所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的支撑吊板 (91)与支撑柱(2)相螺钉连接设置； 所述的清理刷毛(94)采用长度设置在一厘米至三厘米 的尼龙丝刷毛。 10.如权利要求1所述的硅片半导体减震防静电转运装置， 其特征在于， 所述的移动滑 块(62)分别与底部支撑架(4)和上部支撑架(5)的边沿相互卡接设置并用定位螺钉(63)顶 紧固定。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216232473 U 3