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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202110264981.0 (22)申请日 2021.03.08 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 112949197 A (43)申请公布日 2021.06.11 (73)专利权人 北京理工大 学 地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5 号 (72)发明人 张晓芳 顾云 常军 赵文秀  李冰岛  (74)专利代理 机构 北京正阳理工知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11639 专利代理师 王民盛 (51)Int.Cl. G06F 30/27(2020.01)G06N 3/04(2006.01) 审查员 王晓时 (54)发明名称 一种基于深度学习的平凸透镜曲率半径在 线测量方法 (57)摘要 本发明涉及一种基于深度学习的平凸透镜 曲率半径在线测量方法, 属于光电测量技术领 域。 针对传统曲率半径检测方法具有损伤性、 易 受环境影 响、 装置调整复杂、 价格昂贵等缺点, 本 方法基于相位恢复原理, 建立了单平凸透镜成像 系统, 揭示了透镜曲率半径与系统焦面、 离焦面 PSF两幅图像的关系。 采用深度学习方法构建平 凸透镜PSF图像与曲率 半径误差之间的非线 性映 射, 实现透镜曲率半径的测量。 使用标准透镜标 定焦面、 离焦面的方法, 使待测透镜在标定面上 产生数据集输入神经网络, 提高了探测精度。 本 方法无损伤性, 对软硬件环境要求不高, 操作简 单, 成本低、 速度快, 且精度高。 权利要求书2页 说明书6页 附图8页 CN 112949197 B 2022.09.09 CN 112949197 B 1.一种基于深度学习的平凸透 镜曲率半径在线测量方法, 其特 征在于, 包括以下步骤: 首先, 利用已知曲率半径的标准平凸透镜标定焦面、 离焦面位置; 然后, 基于MATLAB与 ZEMAX平台, 针对不同曲率半径的待测平凸透镜, 获取在前述标定位置处的相应焦面、 离焦 面PSF图像, 以两幅PSF图像为输入, 以曲率半径 误差, 即待测镜与标准镜的曲率半径差值为 输出, 构建卷积神经网络数据集; 同时, 分析波 前相位随曲率半径变化的规律; 最后, 进 行卷 积神经网络训练, 通过不断调整参数进 行图像特征提取, 回归 预测待测镜的曲率半径, 直至 精度满足要求。 2.如权利要求1所述的一种基于深度学习的平凸透镜曲率半径在线测量方法, 其特征 在于, 利用已知曲率半径的标准平凸透 镜标定焦面、 离焦面 位置, 采用以下 方法: 建立并标定单个平凸透镜成像系统: 根据透镜成像公式(1), 当平凸透镜曲率半径变化 时, 焦距也随之改变, 导致透镜焦面、 离焦面定位不准确, 因此, 需要一个已知参数的透镜标 定焦面位置: 其中, f为透镜焦距, R1、 R2分别为透镜前、 后表面的曲率半径, d为透镜两表面之间的间 隔, n为透镜的折射率; 将平凸透镜作为标准镜, 将其设计参数值输入ZEMAX仿真平台; 在单透镜前表面插入 Zernike标准相位面, 实时获取以Z ernike多项式描述的系统波前信息, 即对应的Z ernike像 差系数; 同时, 为减少像差影响, 选取中心视场, 最终使用边 缘光线高度求 解焦面位置。 3.如权利要求2所述的一种基于深度学习的平凸透镜曲率半径在线测量方法, 其特征 在于, 入瞳直径根据相对孔径进行设定, 从而减少 透镜边缘对像质的影响; 其中, 入瞳直径 等于相对孔径 乘以透镜焦距f。 4.如权利要求1所述的一种基于深度学习的平凸透镜曲率半径在线测量方法, 其特征 在于, 曲率半径误差的获取 方法如下: 针对曲率半径变化对波前相位的影响, 利用光圈数与曲率半径公差ΔR的转化公式 (2), 计算标准镜的ΔR变化范围: 其中, D为透 镜的口径, R为透 镜的曲率半径, λ为 光波长, N 为光圈数; 利用MATLAB与ZEMAX之间的DDE服务器, 编写接口程序, 在 单平凸透镜成像系统中, 引入 曲率半径误差, 并实时获取以Zernike多项式描述的系统波前信息, 即对应的Zernike像差 系数; 当ΔR变化时, 仅Zen ike多项式系数中的平 移、 离焦、 三阶球差发生变化; 如公式(3)至(4)所示, 根据 傅里叶变换光学基本原理, 点扩散函数PSF是广义光瞳函数 的傅里叶变换, 则曲率半径变化所导致Zernike像差系数的变化, 将必然会间接引起PSF图 像的改变, 通过深度学习方法, 构建两者之间的非线性映射关系, 通过输入PSF图像, 直接输 出曲率半径误差: 其中, ak为Zernike像差系数; Zk(x,y)为对应的Zernike像差项, x、 y表示光瞳坐标; 为权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 112949197 B 2波前像差; 其中, W为广义光瞳函数, 为傅里叶变换运 算符, ||为取模运 算; 构建卷积神经网络 CNN数据集, 分析波前相位随 曲率半径变化的规 律的方法如下: 根据离焦相位与离焦距离的关系式(5), 计算出标准镜的最佳离焦距离, 该位置即为标 定的离焦面 位置, 在相同焦面、 离焦位置获取待测镜的P SF图像: 其中, Δφ为离焦相位, 设为1λ, F为系统F 数, ΔZ为离焦距离; 首先通过ZEMAX获取不同曲率半径平凸透镜成像系统的波前, 再根据公式(4), 利用 MATLAB计算广义光瞳函数, 获取PSF图像作为神经网路的输入样 本, 同时保存相应的曲率半 径误差值作为神经网络的标签; 在模型训练时, 使用带有GPU显卡的计算机搭建环境神经网络, 训练包括两部分: 数据 预处理和网络模型构建; 首先进 行数据预处理, 将待处理数据进 行标准归一化处理后, 按照 设定比例划分为训练集、 验证集和测试集, 其中, 测试集仅在训练完成后进行最终性能验证 时使用; 然后, 进行网络模型构建; 采用以Alexnet网络为基础改进的子网络结构, 整个结构架 构包含10层, 即1层输入层, 5层卷积层、 2层池化层以及2层全连接层; 输入层输入128 ×128 ×2大小的样 本, 2个通道 为焦面、 离焦面PSF图像; 使用Relu函数和最大池化, 池化层均选择 最大池化, 步长均为2; 卷积层后均设置批归一化层, 最后一层全连接输出层神经元个数设 置为1, 回归预测单个曲率半径误差; 选择Adam算法作为梯度优化器, 权重初始化方法为lecun_uniform, 初始学习率为10‑4; 训练时, 采用动态调整 方式监控验证集损失值变化, 当损失值不再变化, 按10%的比例降低 学习率; 采用mi ni‑batch方式训练; 采用均方误差MSE作为损失评价函数loss来衡量预测值与真实值的离散程度, 表示为 公式(6), 训练时根据损失值变化调整相应的结构参数: 其中, ΔR_predictons为网络预测值, ΔR_real为实际曲率半径值, m表示数据数量, i 表示第i个数据。 5.如权利要求4所述的一种基于深度学习的平凸透镜曲率半径在线测量方法, 其特征 在于, 待测镜的P SF图像分辨 率均为128*128。 6.如权利要求4所述的一种基于深度学习的平凸透镜曲率半径在线测量方法, 其特征 在于, 将数据进行 标准归一 化处理后, 按照4: 1: 1的比例划分为训练集、 验证集和 测试集。 7.如权利要求4所述的一种基于深度学习的平凸透镜曲率半径在线测量方法, 其特征 在于, 采用mini ‑batch方式训练时, 最大迭代次数Epoch设置为400, 每批数量Batch大小设 置为128, 权 重衰减系数weight_decay设为0.0 0005。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 112949197 B 3

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