(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123336311.X (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 成都海威华芯科技有限公司 地址 610299 四川省成 都市双流县西南 航 空港经济开发区物联大道8 8号 (72)发明人 王旭东　 (74)专利代理 机构 成都华风专利事务所(普通 合伙) 51223 专利代理师 张巨箭 (51)Int.Cl. B05C 11/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统 (57)摘要 本实用新型公开了一种自动涂胶管路及其 构成的涂胶系统， 属于光刻胶技术领域， 管路包 括依次连接的氮气管(1)、 光阻瓶(2)、 回流瓶(3) 和光阻喷头(4)， 氮气管(1)连接在光阻瓶(2)上， 光阻瓶(2)通过第一管道(5)与回流瓶(3)连接， 回流瓶(3)通过第二管道(6)与光阻喷头(4)连 接， 第二管道(6)上设有回吸阀(7)， 回吸阀(7)上 连接有压缩空气阀(8)， 氮气管(1)上设有氮气阀 (11)， 回流瓶(3)上设有 排气管(9)， 排气管(9)上 设有排气阀(91)， 该管路利用氮气加压实现自动 喷涂， 通过回吸组件确保喷胶时不产生气泡和胶 滴落； 系统实现全自动涂胶， 提高工作效率， 既能 保证涂胶的均匀性又能节省材 料。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 216459844 U 2022.05.10 CN 216459844 U 1.一种自动涂胶管路， 其特征在于， 所述管路包括依次连接的氮气管(1)、 光阻瓶(2)、 回流瓶(3)和光阻喷头(4)， 所述氮气管(1)连接在所述光阻瓶(2)上， 所述光阻瓶(2)通过第 一管道(5)与所述回流瓶(3)连接， 所述回流瓶(3)通过第二管道(6)与所述光阻喷头(4)连 接， 所述第二管道(6)上设有回吸阀(7)， 所述回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8)， 所述氮气 管(1)上设有氮气阀(11)， 所述回流瓶(3)上设有排气管(9)， 所述排气管(9)上设有排气阀 (91)。 2.根据权利要求1所述的一种自动涂胶管路， 其特征在于， 所述光阻瓶(2)为加仑光阻 瓶。 3.根据权利要求1所述的一种自动涂胶管路， 其特征在于， 所述压缩空气阀(8)、 氮气阀 (11)、 回吸阀(7)和排气阀(91)均为电磁阀。 4.一种自动涂胶系统， 包括权利要求1 ‑3中任意一项所述的一种自动涂胶管路， 其特征 在于， 所述系统还 包括： 用于控制光阻喷头(4)位置的驱动组件， 所述驱动组件与所述 光阻喷头(4)连接； 用于检测待涂胶晶圆水平位置的传感器； PLC控制单元， 所述PLC控制模块分别与所述传感器、 驱动组件、 压缩 空气阀(8)、 氮气阀 (11)、 回吸阀(7)和排气阀(91)连接； 用于设定涂胶参数的处理器， 所述处理器与所述PLC控制单元连接， 所述涂胶参数包括 涂胶量、 涂胶速度和涂胶位置 。 5.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统， 其特征在于， 所述驱动组件包括驱动电机 和旋转马达， 所述驱动电机分别与所述PLC控制单元、 旋转马达连接， 所述旋转马达与所述 光阻喷头(4)连接 。 6.根据权利要求 4所述的一种自动涂胶系统， 其特 征在于， 所述传感器为限位传感器。 7.根据权利 要求4所述的一种自动涂胶系统， 其特征在于， 所述PLC控制单元包括PLC控 制器。 8.根据权利要求5所述的一种自动涂胶系统， 其特 征在于， 所述驱动电机为 步进电机 。 9.根据权利要求 4所述的一种自动涂胶系统， 其特 征在于， 所述处 理器为ARM处 理器。 10.根据权利要求7所述的一种自动涂胶系统， 其特征在于， 所述PLC控制单元还包括继 电器开关和电源转换器， 所述继电器开关和电源转换器分别与所述PLC控制器连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216459844 U 2一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统 技术领域 [0001]本实用新型涉及光刻胶技术领域， 尤其涉及一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系 统。 背景技术 [0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一， 特别是近年来大规模和超 大规模集成电路的发展， 更 是大大促进了光刻 胶的研究开发和应用。 [0003]近年来， 伴随着生产和技术的不断创新， 传统涂胶工艺研发和生产都是依靠人手 工来完成， 待需要涂胶的晶圆固定在可旋转的工作台上， 人工手动倒在所需涂胶晶圆上后 工作台旋转。 这种涂胶模式， 工人劳动强度大， 涂胶的效率极低， 而且很难保证涂胶的均匀 性和胶体厚度的一致性， 涂胶精度低， 影响晶圆与晶圆之间重复性且涂胶量也不稳定造成 原材料浪费。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于克服现有技术中人工涂胶存在的问题， 提供了一种自动涂 胶管路及其构成的涂胶系统。 [0005]本实用新型的目的是通过以下技 术方案来实现的： [0006]主要提供一种自动涂胶管路， 所述管路包括依次连接的氮气管、 光阻瓶、 回流瓶和 光阻喷头， 所述氮气管连接在所述光阻瓶上， 所述光阻瓶通过第一管道与所述回流瓶连接， 所述回流瓶通过第二管道与所述光阻喷头连接， 所述第二管道上设有回吸阀， 所述回吸阀 上连接有压缩空气阀， 所述氮气管上设有氮气阀， 所述回流瓶上设有排气管， 所述排气管上 设有排气阀。 [0007]作为一优选项， 一种自动涂胶管路， 所述 光阻瓶为加仑光阻瓶。 [0008]作为一优选项， 一种自动涂胶管路， 所述压缩空气阀、 氮气阀、 回吸阀和排气阀均 为电磁阀。 [0009]本实用新型还提供一种自动涂胶系统， 包括所述一种自动涂胶管路， 所述系统还 包括： [0010]用于控制光阻喷头位置的驱动组件， 所述驱动组件与所述 光阻喷头连接； [0011]用于检测待涂胶晶圆水平位置的传感器； [0012]PLC控制单元， 所述PLC控制模块分别与所述传感器、 驱动 组件、 压缩空气阀、 氮气 阀、 回吸阀和排气阀连接； [0013]用于设定涂胶参数的处理器， 所述处理器与所述P LC控制单元连接， 所述涂胶参数 包括涂胶量、 涂胶速度和涂胶位置 。 [0014]作为一优选项， 一种自动涂胶系统， 所述驱动组件包括驱动电机和旋转马达， 所述 驱动电机分别与所述PLC控制单 元、 旋转马达连接， 所述旋转马达与所述 光阻喷头连接 。 [0015]作为一优选项， 一种自动涂胶系统， 所述传感器为限位传感器。说　明　书 1/4 页 3 CN 216459844 U 3