(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123077973.X (22)申请日 2021.12.09 (73)专利权人 苏州科阳半导体有限公司 地址 215143 江苏省苏州市苏州相城经济 技术开发区漕湖产业园方桥路5 68号 (72)发明人 苗银成　陈胜　江勇　殷晨辉　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 陈宏 (51)Int.Cl. B05C 5/02(2006.01) B05C 9/14(2006.01) B05C 11/10(2006.01) B05C 13/02(2006.01) B05D 3/02(2006.01)H01L 21/67(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种晶圆玻璃涂胶系统 (57)摘要 本实用新型涉及电子元器件加工技术领域， 具体公开了一种晶圆玻璃涂胶系统。 该系统用于 对玻璃本体涂胶， 包括搬运模块和具有第一工位 和第二工位的第一操作平台； 第一操作平台安装 有第一涂胶模块、 第二涂胶模块、 两个支撑组件 和用于加热位于加热工位的玻璃本体的加热模 块； 第一涂胶模块用于向位于第一工位的玻璃本 体涂抹IPA和ADP； 第二涂胶模块用于向位于第二 工位的玻璃本体涂抹PR； 两个支撑组件中一个用 于铺匀玻璃 本体上的IPA和ADP， 另一个用于铺匀 玻璃本体上的PR； 搬运模块用于搬运玻璃本体。 通过上述设计， 能够规避ADP涂抹前晶圆玻璃表 面污染的风险， 从而提升了涂胶的洁净度， 改善 了晶圆玻璃显 影不洁的情况。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 216573896 U 2022.05.24 CN 216573896 U 1.一种晶圆玻璃涂胶系统， 用于对玻璃本体(90 0)涂胶， 其特 征在于， 包括： 第一操作平台(500)， 所述第一操作平台(500)具有第一工位、 第二工位和加热工位， 所 述第一操作平台(500)上安装有第一涂胶模块(200)、 第二涂胶模块(300)、 加热模块和两个 支撑组件(110)； 所述第一涂胶模块(200)用于向位于所述第一工位的所述玻璃本体(900) 涂抹IPA和ADP； 所述第二涂胶模块(300)用于向位于所述第二工位的所述玻璃本体(900)涂 抹PR； 两个所述支撑组件(110)中的一个用于铺匀位于所述第一工位的所述 玻璃本体(900) 上的所述IPA和所述ADP， 另一个用于铺匀位于所述第二工位的所述玻璃本体(900)上的所 述PR； 所述加热模块用于加热位于所述加热工位的所述玻璃本体(90 0)； 搬运模块(400)， 用于在所述第一工位、 所述第二工位和所述加热工位之间搬运所述玻 璃本体(90 0)。 2.根据权利要求1所述的晶圆玻璃涂胶系 统， 其特征在于， 所述支撑组件(110)包括处 理腔， 所述处理腔内设有玻璃支撑台(113)， 所述玻璃支撑台(113)用于驱动所述玻璃本体 (900)绕所述玻璃本体(90 0)的轴线旋转； 所述第一操作平台(500)上还安装有盖板组件(120)， 所述盖板组件(120)包括盖板本 体(121)， 所述盖板本体(121)能够封闭或打开收纳有位于所述第二工位的所述玻璃本体 (900)的所述处 理腔。 3.根据权利要求2所述的晶圆玻璃涂胶系 统， 其特征在于， 所述玻璃支撑台(113)的顶 面设有摩擦面(114)， 所述摩擦面(114)支撑所述玻璃本体(900)的底面； 所述玻璃支撑台 (113)通过绕所述玻璃 支撑台(1 13)轴向旋转， 带动所述玻璃本体(90 0)旋转。 4.根据权利要求3所述的晶圆玻璃涂胶系统， 其特征在于， 所述处理腔由支撑台底座 (112)形成， 所述玻璃支撑台(113)能够相对所述支撑台底座(112)沿垂直于所述第一操作 平台(500)所在平面的方向上升降。 5.根据权利要求2所述的晶圆玻璃涂胶系统， 其特征在于， 所述处理腔通过加工口与外 部环境连通， 所述加工口套接有凹口垫圈(111)， 当所述盖板本体(121)封闭所述处理腔时， 所述盖板本体(121)的一侧抵 压于所述凹口垫圈(1 11)。 6.根据权利要求1所述的晶圆玻璃涂胶系 统， 其特征在于， 所述搬运模块(400)包括升 降底座(43 0)、 转动柱(420)和搬运架(410)； 所述升降底座(430)固连于所述第一操作平台(500)， 所述转动柱(420)能够相对所述 升降底座(430)沿垂直于所述第一操作平台(500)所在平面的方向上升降， 所述转动柱 (420)还能绕所述转动柱(420)的轴向旋转， 所述转动柱(420)上穿设有搬运架(410)， 所述 搬运架(410)的一端设有搬运爪(411)， 所述搬运爪(411)能在平行于所述第一操作平台 (500)所在平面的方 向上靠近或远离所述转动柱(420)， 所述搬运爪(411)用于支撑所述玻 璃本体(90 0)的底面。 7.根据权利要求1 ‑6任一项所述的晶圆玻璃涂胶系统， 其特征在于， 所述第 一涂胶模块 (200)包括平行于所述第一操作平台(500)延伸的第一滑轨(220)和滑设于所述第一滑轨 (220)的第一涂胶臂(210)； 所述第一涂胶臂(210)包括滑设于所述第一滑轨(220)的第一滑 块(211)以及能够相对 所述第一滑 块(211)沿垂直于所述第一操作平台(500)所在平 面的方 向上升降的第一定位杆( 212)， 所述第一定位杆( 212)上固连有用于涂抹IPA的第一管路 (231)和用于 涂抹ADP的第二管路(232)。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216573896 U 28.根据权利要求7所述的晶圆玻璃涂胶系 统， 其特征在于， 所述第一涂胶臂(210)还包 括第一升降单元(213)， 所述第一升降单元(213)用于驱动所述第一定位杆(212)沿垂直于 所述第一操作平台(5 00)所在平面的方向上升降。 9.根据权利要求1 ‑6任一项所述的晶圆玻璃涂胶系统， 其特征在于， 所述第 二涂胶模块 (300)包括平行于所述第一操作平台(500)延伸的第二滑轨(320)和滑设于所述第二滑轨 (320)的第二涂胶臂(310)； 所述第二涂胶臂(310)包括滑设于所述第二滑轨(320)的第二滑 块(311)以及能够相对 所述第二滑 块(311)沿垂直于所述第一操作平台(500)所在平 面的方 向上升降的第二定位杆(312)， 所述第二定位杆(312)上固连有用于涂抹PR的第三管路 (331)。 10.根据权利要求9所述的晶圆玻璃涂胶系统， 其特征在于， 所述第 二涂胶臂(310)还包 括第二升降单元(313)， 所述第二升降单元(313)用于驱动所述第二定位杆(312)沿垂直于 所述第一操作平台(5 00)所在平面的方向上升降。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216573896 U 3