(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123058902.5 (22)申请日 2021.12.07 (73)专利权人 福建兆元光电有限公司 地址 350109 福建省福州市闽侯县南屿镇 生物医药和机电产业园区 (72)发明人 郑永智　张良校　刘莹　 (74)专利代理 机构 福州市博深专利事务所(普 通合伙) 35214 专利代理师 林振杰 (51)Int.Cl. B05C 11/10(2006.01) B05C 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种改善 涂胶机胶量 不均的泵阀结构 (57)摘要 本实用新型提供了一种改善涂胶机胶量不 均的泵阀结构， 包括胶泵、 至少两个滴胶头以及 与滴胶头对应数量的止逆阀， 胶 泵通过多通接头 与止逆阀连通， 止逆阀与滴胶头对应的连通， 本 新型的泵阀结构通过在泵口处添加止逆阀的方 式来控制胶的流向以避免吐出的胶流入其他管 路， 从而实现解决了涂胶不均 问题的目的， 且实 现了一泵 多用。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 216800442 U 2022.06.24 CN 216800442 U 1.一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构， 其特征在于， 包括胶泵、 至少两个滴胶头以及 与所述滴胶头对应数量的止逆阀， 所述胶泵通过多通接头与所述止逆阀连通， 所述止逆阀 与所述滴胶头对应连通。 2.根据权利要求1所述的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构， 其特征在于， 所述止逆 阀与所述 滴胶头之间设置有回吸阀。 3.根据权利要求2所述的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构， 其特征在于， 所述 回吸 阀与供气电磁阀之间管道上设置有三 通接头， 所述止逆阀与所述 三通接头连通。 4.根据权利要求3所述的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构， 其特征在于， 所述止逆 阀和所述 三通接头通过直径为 4mm的气管连接。 5.根据权利要求4所述的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构， 其特征在于， 所述止逆 阀、 所述回吸阀和所述 滴胶头均包括 三个， 三个所述止逆阀通过四通接 头与所述胶泵连通。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216800442 U 2一种改善涂胶机胶量不均的 泵阀结构 技术领域 [0001]本实用新型涉及光电生产技术领域， 具体涉及一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结 构。 背景技术 [0002]涂胶机属于微影制程中之重要仪器。 光阻旋转涂布时， 旋转载台的轴心将提供适 当的真空度以吸附上方的晶圆， 且带动晶圆旋转， 让喷洒在晶圆上的光阻， 因离心力而往晶 圆外围移动， 最后形成厚度均匀之光阻层。 为了保证光阻层的均匀性， 行业内的涂胶机均是 一个胶泵控制一个滴胶头， 若是让涂胶机上 的一个胶泵对应多个滴胶头的， 虽然能够减少 成本， 但是在一个滴胶头单独供胶时容易产生胶量不均的问题， 例如， CND涂胶机的胶泵为 一拖三模式， 一个泵浦控制三个滴胶头工作， 所以泵浦对其中一个滴胶头单独供胶时， 会有 一部分胶流入另外两个滴胶头的管路中， 从而导致三个滴胶头吐出来的胶量均不精确。 胶 量的不精确会导致涂布在晶圆表面上 的胶有多有少， 致使晶圆涂胶不均而返工， 影响晶圆 的产能和生产成本 。 实用新型内容 [0003]本实用新型所要解决的技术问题是： 提供一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构， 能够在保持一胶泵对多滴胶头的情况 下保证出胶精确均匀。 [0004]为了解决上述 技术问题， 本实用新型采用的技 术方案为： [0005]一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构， 包括胶泵、 至少两个滴胶头以及与所述滴 胶头对应数量的止逆阀， 所述胶泵通过多通接头与所述止逆阀连通， 所述止逆阀与所述滴 胶头对应连通。 [0006]进一步地， 所述止逆阀与所述 滴胶头之间设置有回吸阀。 [0007]进一步地， 所述回吸阀与供气电磁阀之间管道上设置有三通接头， 所述止逆阀与 所述三通接头连通。 [0008]进一步地， 所述止逆阀和所述三通接头以及所述回吸阀和所述三通接头通过直径 为4mm的气管连接。 [0009]进一步地， 所述止逆阀、 所述回吸阀和所述滴胶头均 包括三个， 三个所述止逆阀通 过四通接 头与所述胶泵连通。 [0010]本实用新型的有益效果在于： 在一带多的胶泵与滴胶头之间设置止逆阀， 通过涂 胶机的控制系统控制止逆阀， 在滴胶头吐胶时控制其他未使用的滴胶头管路上的止逆阀开 启， 即可避免光刻胶流入其他未使用的滴胶头管路中， 从而保证其他滴胶头各自胶量不受 影响而实现胶量稳定， 保证各个滴胶头出胶准确均匀。 附图说明 [0011]图1为本实用新型实施例一的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构的连接示意说　明　书 1/3 页 3 CN 216800442 U 3