(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122370869.3 (22)申请日 2021.09.2 9 (73)专利权人 上海切普电子科技有限公司 地址 201306 上海市浦东 新区南汇新城镇 环湖西二路8 88号C楼 (72)发明人 邵玉成　 (74)专利代理 机构 北京科亿知识产权代理事务 所(普通合伙) 11350 专利代理师 李越 (51)Int.Cl. G01N 21/94(2006.01) G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01N 15/06(2006.01) G01N 33/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种湿法清洗 机的清洗质量检测机构 (57)摘要 本实用新型涉及清洗后半导体检测技术领 域， 且公开了一种湿法清洗机的清洗质量检测机 构， 所述拉伸机构 包括内螺纹舱、 伸缩连接端、 外 螺纹杆、 电动机、 电机舱， 所述内螺纹舱一端的端 头固定连接有伸缩连接端， 所述伸缩 连接端的一 端固定连接有电机舱， 所述电机舱的内壁固定连 接有电动机， 所述电动机的一端固定连接有外螺 纹杆， 所述内螺纹舱的内壁设有螺纹槽， 且内螺 纹舱的螺纹槽与外螺纹杆的外壁相啮合， 本实用 新型通过设有电机舱， 有利于电动机的固定， 通 过设有电动机， 有利于动力的提供， 通过设有伸 缩连接端， 有利于拉伸时整体的一个稳定性， 通 过设有外螺纹杆、 内螺纹舱， 有利于通过电动机 转动带动内螺纹舱进行移动， 进而带动固定装置 进行移动。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 217385256 U 2022.09.06 CN 217385256 U 1.一种湿法清洗机的清洗质量检测机构， 包括拉伸机构(1)、 检测机构(2)、 固定原料机 构(3)、 传送机构(4)、 固定 机构(5)， 其特 征在于， 还具 备： 拉伸机构(1)其配置在与所述固定机构(5)顶端一侧的位置， 其所述拉伸机构(1)与固 定机构(5)之间为固定连接； 检测机构(2)其配置在与所述拉伸机构(1)一侧端头的位置， 其所述检测机构(2)与拉 伸机构(1)之间为固定连接； 固定原料机构(3)其配置在与所述检测机构(2)内部的位置， 其所述固定原料机构(3) 与检测机构(2)之间为活动连接； 传送机构(4)其配置在于与所述固定机构(5)顶端另一侧的位置， 其所述传送机构(4) 与固定机构(5)之间为固定连接 。 2.根据权利要求1所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构， 其特征在于： 所述拉伸 机构(1)包括内螺纹舱(101)、 伸缩连接端(102)、 外螺纹杆(103)、 电动机(104)、 电机舱 (105)， 所述内螺纹舱(101)一端的端头固定连接有伸缩连接端(102)， 所述伸缩连接端 (102)的一端固定连接有电机舱(105)， 所述电机舱(105)的内壁固定连接有电动机(104)， 所述电动机(104)的一端固定连接有外 螺纹杆(10 3)。 3.根据权利要求1所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构， 其特征在于： 所述检测 机构(2)包括检测舱(201)、 固定板(202)、 紫光灯(203)、 感应板(204)、 伸缩柱(205)、 湿度检 测仪(206)、 弹簧(208)、 伸缩开关(209)， 所述检测舱(201)两侧内壁的顶端固定连接有固定 板(202)， 且 固定板(202)与检测舱(201)通过螺栓固定连接， 所述固定板(202)的一端固定 连接有紫光灯(203)， 所述检测舱(201)内壁的底端活动连接有感应板(204)， 所述感应板 (204)一端为斜角状态， 所述感应板(204)的底端固定连接有伸缩柱(205)， 所述伸缩柱 (205)的内壁固定连接有弹簧(208)， 所述伸缩柱(205)内壁的底端固定连接有伸缩开关 (209)。 4.根据权利要求1所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构， 其特征在于： 所述固定 原料机构(3)包括固定舱(301)、 固定抓手板(302)、 巨型拉伸柱(303)、 摩擦球体(304)、 微型 拉伸柱(305)、 隔板(306)， 所述固定舱(301)内壁的中部固定连接有隔板(306)， 所述固定舱 (301)内壁的一侧固定连接有巨型拉伸柱(303)， 所述巨型拉伸柱(303)的一端 固定连接有 固定抓手板(302)， 所述固定抓手板(302)一侧的外壁固定连接有微型拉伸柱(305)， 所述固 定抓手板(3 02)一侧的内壁固定连接有摩擦球 体(304)。 5.根据权利要求1所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构， 其特征在于： 所述传送 机构(4)包括送风机(401)、 微型支撑柱(402)、 多孔管(403)、 传 送端口(404)、 烘干舱(405)、 送气管(406)， 所述烘干舱(405)的顶端固定连接有微型支撑柱(402)， 所述微型支撑柱 (402)的顶端固定连接有送风机(401)， 所述送风机(401)底端的中部贯穿固定连接有送气 管(406)， 所述送气管(406)的一端固定连接有多孔管(403)， 所述多孔管(403)的底端固定 连接有传送端口(404)。 6.根据权利要求1所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构， 其特征在于： 所述固定 机构(5)包括固定底座(501)、 支 撑板(502)、 抗压板(503)、 巨型支撑柱(504)， 所述固定底座 (501)顶端的一侧固定连接有支撑板(502)， 所述支撑板(502)顶端的一侧固定连接有抗压 板(503)， 且抗压板(503)与支撑板(502)之前为固定焊接， 所述固定底座(501)顶端的另一权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217385256 U 2侧固定连接有巨型支撑柱(5 04)。 7.根据权利要求3所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构， 其特征在于： 所述检测 舱(201)顶端的一侧固定连接有粉尘检测器(207)， 所述检测舱(201)前端的一侧固定连接 有湿度检测仪(20 6)。 8.根据权利要求3所述的一种湿法清洗机的清洗质量检测机构， 其特征在于： 所述感应 板(204)底端的四角固定连接有伸缩柱(205)， 所述伸缩柱(205)的内壁固定连接有永磁铁 (210)， 所述感应板(204)底端的中部固定连接有伸缩开关(209)。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217385256 U 3