(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123326578.0 (22)申请日 2021.12.27 (73)专利权人 深圳中科飞测科技股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区大浪街 道同胜社区上横朗第四工业区2号 101、 201、 3 01 (72)发明人 洪艮超　董坤玲　孙世宏　王启坤　 张鹏斌　夏爱华　汪辉　陈鲁　 张嵩　 (74)专利代理 机构 深圳鼎合诚知识产权代理有 限公司 4 4281 专利代理师 郭燕　彭家恩 (51)Int.Cl. G01N 21/89(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种自动检测装置 (57)摘要 一种自动检测装置， 包括传输设备、 边缘检 测设备以及 表面检测设备； 传输设备包括装 载装 置、 机械手装置以及校准装置， 装载装置用于盛 放待测物体， 机械手装置用于将待测物体传输至 校准装置， 校准装置用于确定待测物体的中心以 及预设标记的方向； 边缘检测设备用于对位于校 准装置上的待测物体的边缘进行第一预设特征 的检测； 机械手装置还用于将位于校准装置上的 待测物体以预设姿态传输至表面检测设备； 表面 检测设备用于对待测物体的表面进行第二预设 特征的检测。 可见， 自动检测装置可以完成对待 测物体的正面、 背面以及边缘的预设特征的自动 检测， 如完成晶圆的宏观缺陷的自动检测， 提高 检测效率以及准确率。 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 CN 217277934 U 2022.08.23 CN 217277934 U 1.一种自动 检测装置， 其特征在于， 包括传输设备(1)、 边缘检测设备(2)以及表面检测 设备(3)； 所述传输设备(1)包括装载装置(11)、 机械手装置(12)以及 校准装置(13)， 所述装载装 置(11)被配置为盛放待测物体(10)， 所述机械手装置(12)被配置为将所述待测物体(10)传 输至所述校准装置(13)， 所述校准装置(13)被 配置为确定所述待测物体(10)的位置； 所述边缘检测设备(2)被配置为对位于所述校准装置(13)上的所述待测物体(10)的边 缘进行第一预设特 征的检测； 所述机械手装置(12)还被配置为将位于所述校准装置(13)上的所述待测物体(10)以 预设姿态传输 至所述表面检测设备(3)； 所述表面检测设备(3)被配置为对所述待测物体(10)的表面进行第二预设特征的检 测。 2.如权利要求1所述的自动检测装置， 其特征在于， 所述校准装置(13)还包括转动系 统， 所述转动系统被配置为驱动所述待测物体(10)沿预设轴线转动； 所述转动系统还被配 置为检测所述待测物体(10)的转速， 在所述待测物体(10)的转速为匀速的情况下， 输出第 一控制信号； 所述边缘检测设备(2)包括 边检探测系统(21)； 所述边检探测系统(21)被配置为在所述第一控制信号的触发下获取所述待测物体 (10)的边缘在预设检测区域的图像； 其中， 所述待测物体(10)在转动过程中， 所述待测物体 (10)的边 缘的部分或全部经 过所述边缘检测设备(2)的所述预设检测区域。 3.如权利要求2所述的自动 检测装置， 其特征在于， 所述边检探测系统(21)包括第一边 检探测器(211)和/或第二边检探测器(212)， 所述第一边检探测器(211)的光轴以及所述第 二边检探测器(212)的光轴位于同一 直线上； 所述第一边检探测器(2 11)具有内照明 同轴镜头， 所述第二边检探测器(2 12)具有内照 明同轴镜头； 所述边检探测系统(21)还包括设在所述第一边检探测器(211)的内照明同轴 镜头上的第一照明组件(213)； 以及设在所述第二边检探测器(212)的内照明同轴镜头上的 第二照明组件(214)； 所述边检探测系统(21)被配置为在所述第一控制信号的触发下， 控制所述第一照明组 件(213)和第二照明组件(214)中至少一个进 行照明， 并获取所述待测物体(10)的边缘在所 述预设检测区域的图像。 4.如权利要求3所述的自动 检测装置， 其特征在于， 所述边缘检测设备(2)  还包括照明 系统(22)， 所述照明系统(22)设置于所述边检探测系统(21)的侧边， 所述照明系统(22)被 配置为在所述第一控制信号的触发下向所述预设检测区域 提供至少一个方向的照明。 5.如权利要求4所述的自动 检测装置， 其特征在于， 所述照明系统(22)包括第三照明组 件(221)以及第四照明组件(222)， 所述第三照明组件(221)位于所述第一边检探测器(211) 的侧边， 所述第四照明组件(222)位于所述第二边检探测器(212)的侧边， 所述第三照明组 件(221)被配置为向所述第一边检探测器(211)提供侧顺光照明， 所述第四照明组件(222) 被配置为向所述第二 边检探测器(212)提供侧顺 光照明； 所述照明系统( 22)被配置为在所述第一控制信号的触发下， 控制所述第三照明组件 (221)以及第四照明组件(2 22)中至少一个向所述预设检测区域 提供照明。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217277934 U 26.如权利要求5所述的自动检测装置， 其特征在于， 所述待测物体(10)为晶圆， 所述传 输设备(1)为设备 前段模块； 所述校准装置(13)的所述转动系统还被配置为驱动所述晶圆沿晶圆的中心轴 线转动； 所述校准装置(13)还被配置为检测所述晶圆的转速， 在所述晶圆的转速为匀速的情况下， 输出所述第一控制信号。 7.如权利要求1 ‑6任一项所述的自动检测装置， 其特征在于， 所述表面检测设备(3)包 括成像背景系统(31)、 面检探测系统(32)以及运动机构(3 3)； 所述成像背景系统(31)被配置为提供预设颜色的背景图像， 所述预设颜色包括至少一 种颜色； 所述面检探测系统(32)被 配置为获取 所述背景图像经 所述表面反射的检测图像； 所述运动机构(33)被配置为调整所述待测物体(10)的表面至预设角度， 所述预设角度 包括至少一个角度； 所述机械手装置(12)还被配置为将位于所述校准装置(13)上的所述待测物体(10)以 预设姿态传输 至所述运动机构(3 3)上。 8.如权利要求7所述的自动 检测装置， 其特征在于， 所述面检探测系统(32)包括至少一 个面检探测器(321)， 每一个所述 面检探测器(321)对应一个所述预设角度设置； 或， 所述面检探测系统(32)包括面检探测器(32 1)以及相机运动系统， 所述相机运动系 统被配置为将所述面检探测 器(321)运动至多个预设拍摄位置， 一个所述预设拍摄位置对 应一个所述预设角度。 9.如权利要求7所述的自动 检测装置， 其特征在于， 所述成像背景系统(31)包括多光谱 面光源， 或包括多光谱面光源以及黑色背 景组件， 其中， 所述多光谱面光源被配置为提供非 黑色的背景图像； 所述黑色背景组件被配置为提供黑色的背景图像， 所述多光谱面光源还被配置为提供 环境光源。 10.如权利要求7所述的自动检测装置， 其特征在于， 所述预设角度为0 °～90°， 和/或， 所述预设颜色包括 黑色、 白色、 绿色、 蓝色以及黄色中的至少一种。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217277934 U 3