(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111638387.X (22)申请日 2021.12.2 9 (71)申请人 有研半导体 硅材料股份公司 地址 101300 北京市顺 义区林河工业 开发 区双河路南侧 (72)发明人 尚锐刚　王永涛　刘建涛　李明飞　 高源　聂飞　 (74)专利代理 机构 北京北新智诚知识产权代理 有限公司 1 1100 代理人 刘秀青 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种多晶硅棒清洗装置及方法 (57)摘要 本发明公开了一种多晶硅棒清洗装置及方 法。 该多晶硅棒清洗装置包括由滑轮组成的滑轮 组、 多晶吊环、 酸槽、 水槽， 多晶吊环通过软绳经 滑轮组连接配重块， 配重块由气缸驱动可上下移 动， 由滑轮组、 配重块及气缸组成配重系统； 在气 缸和配重块的作用下， 软绳带动多晶吊环上下移 动， 实现多晶吊环配重助力的加载和卸载； 水槽 和酸槽相邻并排放置， 多晶吊环 位于水槽和酸槽 交界位置的正上方。 使用该多晶硅棒装置清洗多 晶硅棒， 由于配重抵消了大部分多晶硅棒重量， 抬起多晶硅棒之后， 多晶硅棒运动类似于单摆运 动和自由落体结合的效果， 可实现重量在70 ‑ 150kg范围内的多晶硅棒料1秒内完成从酸槽进 入水槽的过程， 可完全避免表面沾污氧化， 提高 了多晶硅棒料清洗质量。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 114226334 A 2022.03.25 CN 114226334 A 1.一种多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 包括由滑轮组成的滑轮组、 多晶吊环、 酸槽、 水 槽， 多晶吊环通过软绳经滑轮组连接配重块， 配重块由气缸驱动可上下移动， 由滑轮组、 配 重块及气缸组成配重系统； 在气缸和配重块的作用下， 软绳带动多晶吊环上下移动， 实现多 晶吊环配重助力的加载和卸载； 水槽和 酸槽相邻并排放置， 多晶吊环位于水槽和酸槽交界 位置的正上 方。 2.根据权利要求1所述的多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 所述水槽上沿位置低于酸槽 上沿位置 。 3.根据权利要求1或2所述的多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 所述滑轮组及多晶吊环 分别为两个， 其中， 两个多晶吊环分别对应于多晶硅棒的两端位置 。 4.根据权利要求1或2所述的多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 所述配重块的重量为可 在30‑100kg内变化， 所述多晶硅棒的重量范围为70 ‑150kg。 5.根据权利要求1所述的多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 所述水槽和酸槽分别为PVDF 材质， 所述多晶吊环为P P材质。 6.一种使用权利要求1 ‑5中任一项所述的多晶硅棒装置清洗多晶硅棒的方法， 其特征 在于， 包括以下步骤： (1)多晶硅棒进入酸槽前， 使用表面活性剂清除表面粉尘、 油污， 并使用纯 水冲洗干净； (2)使用运料车将清洗后的多晶硅棒缓慢放入多晶硅棒酸槽， 缓慢搅动多晶硅棒， 保证 酸液充分接触多晶硅棒表面； (3)酸洗充分后， 使用多晶硅棒吊环钩住多晶硅棒两边， 启动配重系统， 待多晶硅棒高 出酸槽上沿时， 同时摆动多晶硅棒两端 而将其快速转移到水槽中冲洗 干净； (4)再次使用运料车将多晶硅棒移出水槽， 放入二次清洗槽继续冲洗后， 烘干包装即 可。 7.根据权利要求6所述的方法， 其特征在于， 所述步骤(1)中， 纯水冲洗时间为30 ‑ 40min。 8.根据权利要求6所述的方法， 其特征在于， 所述步骤(2)中， 所述酸槽 中的酸液为氢氟 酸和硝酸的混合 酸， 氢氟酸和硝酸比例为1∶ 5， 多晶硅棒搅动时间为 4‑6min。 9.根据权利要求6所述的方法， 其特征在于， 所述步骤(3)中， 多晶硅棒从酸槽进入水槽 的时间控制在1秒以内； 多晶硅棒在水槽中的冲洗时间为10 ‑15min。 10.根据权利要求6所述的方法， 其特征在于， 所述步骤(4)中， 多晶硅棒在二次清洗槽 中的二次冲洗时间为3 0‑40min。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114226334 A 2一种多晶硅棒清洗装 置及方法 技术领域 [0001]本发明涉及一种多晶硅棒清洗装置及方法， 属于半导体材 料工艺技术领域。 背景技术 [0002]近年来， 随着大直径区熔单晶需求增加， 大直径区熔多晶硅棒料需求也随之而来， 多晶硅棒重量也超出人工搬运所能承受的范围， 传统清洗方法已经不能满足工艺要求。 多 晶硅棒自动清洗设备在实际应用过程中， 依然不能实现多晶硅棒料从酸槽到水槽的快速切 换， 虽然在水槽正上方加入氮气保护和水喷淋喷淋系统， 但也未能完全解决多晶硅棒料表 面氧化问题。 从而影响区熔 单晶品质。 [0003]因此， 有必要对多晶硅棒清洗装置及方法进行改进， 提高多晶硅棒料清洗质量。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种多晶硅棒清洗装置， 以节省人力， 解决多晶搬运难题， 实现多晶硅棒1秒内从酸槽切换至水槽， 避免多晶表面氧化， 提高多晶清洗质量。 [0005]本发明的另一目的在于提供一种使用所述多晶硅棒清洗装置清洗多晶硅棒的方 法。 [0006]为实现上述目的， 本发明采取以下技 术方案： [0007]一种多晶硅棒清洗装置， 包括由滑轮 组成的滑轮组、 多晶吊环、 酸槽、 水槽， 多晶吊 环通过软绳经滑轮组连接配重块， 配重块由气缸驱动可上下移动， 由滑轮组、 配重块及气缸 组成配重系统； 在气缸和配重块的作用下， 软绳带动多晶吊环上下移动， 实现多晶吊环配重 助力的加载和卸 载； 水槽和 酸槽相邻并排放置， 多晶吊环位于水槽和酸槽交界位置的正上 方。 [0008]优选地， 所述水槽上沿位置低于酸槽上沿位置， 由此能够使得由多晶吊环吊装的 多晶硅棒 顺利的从酸槽转移到水槽 。 [0009]优选地， 所述滑轮组及多晶吊环分别为两个， 其中， 两个多晶吊环分别对应于多晶 硅棒的两端位置 。 [0010]其中， 所述配重块的重量为可在 30‑100kg内变化， 以适应多晶硅棒重量的变化， 所 述多晶硅棒的重量范围为70 ‑150kg。 [0011]其中， 所述水槽和酸槽分别为PVDF(聚偏氟乙烯)材质。 所述多晶吊环为PP(聚丙 烯)材质。 [0012]一种使用所述的多晶硅棒装置清洗多晶硅棒的方法， 包括以下步骤： [0013](1)多晶硅棒进入酸槽前， 使用表面活性剂清除表面粉尘、 油污， 并使用纯水冲洗 干净； [0014](2)使用运料车将清洗后的多晶硅棒缓慢放入多晶硅棒酸槽， 缓慢搅动多晶硅棒， 保证酸液充分接触多晶硅棒表面； [0015](3)酸洗充分后， 使用多晶硅棒吊环钩住多晶硅棒两边， 启动配重系统， 待多晶硅说　明　书 1/3 页 3 CN 114226334 A 3