(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122419658.4 (22)申请日 2021.10.09 (73)专利权人 上海贺东电子材 料有限公司 地址 200000 上海市金山区金山工业区亭 卫公路6495弄 168号5幢4楼 2980室 (72)发明人 王永超　赵泽良　贾时君　尤青文　 (74)专利代理 机构 郑州浩翔专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 41149 代理人 吕响声 (51)Int.Cl. F26B 11/18(2006.01) F26B 23/06(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) F26B 25/04(2006.01) (54)实用新型名称 —种靶材加热烘干装置 (57)摘要 本实用新型公开了—种靶材加热烘干装置， 涉及靶材制作技术领域， 包括筒体与盖板以及固 定在筒体内圆面的U形加热丝， 所述筒体的内部 设有旋转结构与设置在旋转结构上的固定结构， 所述旋转结构 包括电机与旋转架， 所述筒体的内 圆面底部固定连接有隔板， 所述电机固定连接在 筒体内壁底部与隔板底面之间， 所述电机的输出 轴凸隔板的一端固定连接有旋转杆， 所述旋转杆 的外部套接有与盖板底面中心处转动连接的升 降架。 该用于制备铂的装置， 通过旋转架与安装 架的配合设置， 在使用装置的对靶 材进行加热的 时候， 可以在使旋转架转动的同时， 使安装架带 动安装在上方的靶材进行转动， 能够对靶材的不 同部位进行加热， 提高制备效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 215930432 U 2022.03.01 CN 215930432 U 1.一种靶材加热烘干装置， 其特征在于： 包括筒体 （1） 与盖板 （2） 以及固定在筒体 （1） 内 圆面的U形加热丝 （17） ， 所述盖板 （2） 的顶部固定连接有与内部连通的真空泵 （18） ， 所述筒 体 （1） 的内部 设有旋转结构与设置在旋转结构上的固定结构， 所述旋转结构包括电机 （7） 与 旋转架 （10） ， 所述筒体 （1） 的内圆面底部固定连接有隔板 （8） ， 所述电机 （7） 固定连接在 筒体 （1） 内壁底部与隔板 （8） 底 面之间， 所述电机 （7） 的输出轴凸隔板 （8） 的一端固定连接有旋转 杆 （11） ， 所述旋转杆 （11） 的外部套接有与盖板 （2） 底面中心处转动连接的升降架 （4） ， 所述 旋转架 （10） 对称固定连接在升降架 （4） 的两端， 所述升降架 （4） 相对的内侧通过转轴 （12） 转 动连接有安装架 （5） ， 在位于所述安装架 （5） 底部的转轴 （12） 凸出旋转架 （10） 底 面的一端固 定连接有 齿轮 （6） ， 所述隔板 （8） 的顶面固定连接有与齿轮 （6） 啮合的齿盘 （9） 。 2.根据权利要求1所述的一种 靶材加热烘干装置， 其特征在于： 所述固定结构包括均匀 固定连接在安装架 （5） 内部一侧的第一夹板 （13） 与设置在安装架 （5） 内部向一侧的第二夹 板 （16） ， 所述第二夹板 （16） 通过平行设置的伸缩杆 （15） 活动连接在安装架 （5） 内与第一夹 板 （13） 相对的一侧， 所述第二夹板 （16） 与安装架 （5） 之间固定连接有套接在伸缩杆 （15） 外 部的压缩弹簧 （14） 。 3.根据权利要求1所述的—种靶材加热烘干装置， 其特征在于： 所述筒体 （1） 的外圆面 上对称固定连接有液压缸 （3） ， 所述液压缸 （3） 的活塞杆端固定连接在盖板 （2） 的两侧外圆 面。 4.根据权利要求2所述的—种靶材加热烘干装置， 其特征在于： 所述旋转杆 （11） 的横截 面为矩形， 所述升降架 （4） 的横截面为与旋转杆 （11） 相适配的矩形， 所述第一夹板 （13） 与第 二夹板 （16） 为弧度相同的弧形。 5.根据权利要求3所述的—种靶材加热烘干装置， 其特征在于： 所述液压缸 （3） 的行程 大于安装架 （5） 的长度， 所述 安装架 （5） 的长度小于 升降架 （4） 的长度。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 215930432 U 2一种靶材加热烘干装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及靶材制作技 术领域， 具体为 一种靶材加热烘干装置 。 背景技术 [0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、 多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下 溅射在基板上行程各种功 能薄膜的溅射源。 简单说的话， 靶材就是高速荷能粒子轰击的目 标材料， 高纯靶才是电子信息技术产业中不可或缺的关键材料， 在制备时通常需要将 高纯 靶才放置在升温装置中进行高温加热， 从而获得纯度较高的晶体。 现有的用于制备靶材 的 装置的装置在 使用的过程中对靶材进 行加热的时候， 靶材不能移动， 使靶材 受热不均， 且内 部结构不能取 出， 导致在取放的时候 不够方便， 影响操作的效率。 [0003]因此， 提出 —种靶材加热烘干装置来 解决上述问题很有必要。 实用新型内容 [0004]（一） 解决的技 术问题 [0005]本实用新型的目的在于提供—种靶材加热烘干装置， 以解决上述背景技术中提出 的用于制备靶材 的装置的装置在使用的过程中对靶材进行加热的时候， 靶材不能移动， 使 靶材受热不均， 且内部结构不能取出， 导致在取放的时候不够方便， 影响操作的效率的问 题。 [0006]（二） 技术方案 [0007]为实现以上目的， 本实用新型通过以下技术方案予以实现： —种靶材加热烘干装 置， 包括筒体与盖板以及固定在 筒体内圆面的U 形加热丝， 所述盖板的顶部固定连接有与内 部连通的真空泵， 所述筒体的内部设有旋转结构与设置在旋转结构上 的固定结构， 所述旋 转结构包括电机与旋转架， 所述筒体的内圆面底部固定连接有隔板， 所述电机固定连接在 筒体内壁底部与隔板底面之间， 所述电机的输出轴凸隔板的一端固定连接有旋转杆， 所述 旋转杆的外部套接有与盖板底面中心处转动连接的升降架， 所述旋转架对称固定连接在升 降架的两端， 所述升降架相对的内侧 通过转轴转动连接有安装架， 在位于所述安装架底部 的转轴凸出旋转架底 面的一端固定连接有齿轮， 所述隔板的顶面固定连接有与齿轮啮合的 齿盘。 [0008]优选的， 所述固定结构包括均匀固定连接在安装架内部一侧的第一夹板与设置在 安装架内部向一侧的第二夹板， 所述第二夹板通过平行设置的伸缩杆活动连接在安装架内 与第一夹板相对的一侧， 所述第二夹板与安装架之 间固定连接有套接在伸缩杆外部的压缩 弹簧。 [0009]优选的， 所述筒体的外圆面上对称固定连接有液压缸， 所述液压缸的活塞杆端固 定连接在盖 板的两侧外圆面。 [0010]优选的， 所述旋转杆的横截面为矩形， 所述升降架的横截面为与旋转杆相适配的 矩形， 所述第一夹 板与第二夹 板为弧度相同的弧形。说　明　书 1/3 页 3 CN 215930432 U 3