(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122716734.8 (22)申请日 2021.11.08 (73)专利权人 碧菲分离膜 （大连） 有限公司 地址 116000 辽宁省大连市大连经济技 术 开发区红星工业园6 栋-3号 专利权人 中环环联 （北京） 水务有限公司 (72)发明人 路传波　张良　韩彬　王俊　 徐志强　 (74)专利代理 机构 北京挺立专利事务所(普通 合伙) 11265 代理人 高福勇 (51)Int.Cl. B01J 19/18(2006.01) B01D 53/26(2006.01) B01D 5/00(2006.01)C01B 33/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体特种硅烷气体的提纯装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种半导体特种硅烷气体 的提纯装置， 包括托体、 多个固定在托体底部并 沿圆周方向等角度均匀设置的撑脚、 可拆卸的固 定在托体中的球罐、 倾斜插接在球罐顶部一侧的 第一进料管、 倾斜插接在托体与球罐底部一侧的 第一出料管、 以及设于托体与球罐之间的主体， 主体包括固定在多个撑脚之间的支架、 固定在支 架顶部的电机、 竖直且可转动的设置在球罐内部 中心的驱动轴、 以及多个固定在驱动轴上并竖直 分布的叶片单元； 本实用新型结构简单， 并大幅 提升了提纯效果， 同时显著提高了提纯效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216321914 U 2022.04.19 CN 216321914 U 1.一种半导体特种硅烷气体的提纯装置， 其特征在于， 包括托体、 多个 固定在托体底部 并沿圆周方向等角度均匀设置的撑脚、 可拆卸的固定在托体中的球罐、 倾斜插接在球罐顶 部一侧的第一进料管、 倾斜插接在托体与球罐底部一侧的第一出料管、 以及设于托体与球 罐之间的主体， 所述球罐 的顶部伸出到托体的顶部开口处上方， 所述球罐 的外周面上还套 设固定有压圈， 所述压圈密封并可拆卸的固定在托体的顶部开口处， 所述球罐的底部外壁、 所述压圈与所述托体的内壁之间形成了隔层， 所述托体的底部一侧还插接有第二进料管， 所述托体的顶部开口处一侧还插接有第二出料管， 所述第二进料管和 第二出料管均与隔层 的内部相互连通； 所述主体包括固定在多个撑脚之 间的支架、 固定在支架顶部的电机、 竖直 且可转动的设置在球罐内部中心的驱动轴、 以及多个固定在驱动轴上并竖直分布的叶片单 元， 所述电机的转动轴 竖直向上密封穿过托体和球罐 的底部中心并固定在驱动轴的下端， 所述叶片单元包括多个沿圆周方向等角度均匀设置的叶片， 每个所述叶片中均开设有多个 通孔； 所述主体还包括横向设于球罐顶部中心上方 的筒体、 竖直且密封插接在筒体底部中 心与球罐顶部中心之 间的套筒、 插接在筒体顶部的出气管、 插接在 筒体底部的出液管、 以及 固定在套筒上端开口处内部的孔板； 所述驱动轴的上端伸入到套筒中并可转动的固定在孔 板中心， 所述套筒的内部还设有风叶， 所述风叶套设固定在驱动轴的上端并位于孔板的下 方。 2.根据权利要求1所述的一种半导体特种硅烷气体的提纯装置， 其特征在于， 所述筒体 的内部顶部还固定有 多个横向设置的吸湿柱。 3.根据权利要求2所述的一种半导体特种硅烷气体的提纯装置， 其特征在于， 所述筒体 的内部底部还固定有套管， 所述套管 的下端开口处环绕在套筒上端开口处的外 围， 所述套 管的上端开口处形成有扁嘴部 。 4.根据权利要求1所述的一种半导体特种硅烷气体的提纯装置， 其特征在于， 所述球罐 的顶部一侧还 插接有清洗管， 所述清洗管的端部开口处还固定有可拆卸的管盖 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216321914 U 2一种半导体特种硅烷气体的提纯装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种半导体特种硅烷气体的提纯装置 。 背景技术 [0002]硅烷气体是采用硅烷法生产 高纯度硅 的中间产物， 随着半导体技术的不断发展， 硅烷气体已成为半导体微电子工艺中最主要的特种气体,广泛用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、 微晶、 多晶、 氧化硅、 氮化硅、 金属硅化物 等的制备； 由于硅烷气体能溶于水， 因 此在用硅烷法生产半导体材料 的反应溶液中， 还混入有较多成分的硅烷气体， 必须借助提 纯装置将硅烷气体提取 出来。 [0003]现有的提纯装置结构复杂， 提纯效果欠佳， 而且在提取硅烷气体时， 提取出的硅烷 气体、 混杂在硅烷气体中的水汽以及冷凝水很容易倒吸回到反应溶液中， 导致提纯效率低 下， 有待于进一 步改进。 实用新型内容 [0004]针对上述现有技术的现状， 本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种结构简 单并大幅提升 了提纯效果， 同时显著提高了提纯效率的半导体特种硅烷气体的提纯装置 。 [0005]本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为： 一种半导体特种硅烷气体的 提纯装置， 其特征在于， 包括托体、 多个固定在托体底部并沿圆周方向等角度均匀设置的撑 脚、 可拆卸的固定在托体中的球罐、 倾斜插接在球罐顶部一侧的第一进 料管、 倾斜插接在托 体与球罐底部一侧的第一出料管、 以及设于托体与球罐之间的主体， 所述球罐 的顶部伸出 到托体的顶部开口处上方， 所述球罐 的外周面上还套设固定有压圈， 所述压圈密封并可拆 卸的固定在托体的顶部开口处， 所述球罐 的底部外壁、 所述压圈与所述托体的内壁之间形 成了隔层， 所述托体的底部一侧还插接有第二进料管， 所述托体的顶部开口处一侧还插接 有第二出料管， 所述第二进料管和第二出料管均与隔层的内部相互连通； 所述主体包括固 定在多个撑脚之间的支架、 固定在支架顶部的电机、 竖直且可转动的设置在球罐内部中心 的驱动轴、 以及多个固定在驱动轴 上并竖直分布的叶片单元， 所述电机的转动轴 竖直向上 密封穿过托体和球罐的底部中心并固定在驱动轴的下端， 所述叶片单元包括多个沿圆周方 向等角度均匀设置的叶片， 每个所述叶片 中均开设有多个通孔； 所述主体还包括横向设于 球罐顶部中心上方的筒体、 竖直且密封插接在筒体底部中心与球罐顶部中心之间的套筒、 插接在筒体顶部的出气管、 插接在筒体底部的出液管、 以及固定在套筒上端开口处内部的 孔板； 所述驱动轴的上端伸入到套筒中并可转动的固定在孔板中心， 所述套筒的内部还设 有风叶， 所述 风叶套设固定在驱动轴的上端并位于孔板的下 方。 [0006]优选地， 所述筒体的内部顶部还固定有 多个横向设置的吸湿柱。 [0007]优选地， 所述筒体的内部底部还固定有套管， 所述套管的下端开口处环绕在套筒 上端开口处的外围， 所述套管的上端开口处形成有扁嘴部 。 [0008]优选地， 所述球罐的顶部一侧还插接有清洗管， 所述清洗管的端部开口处还固定说　明　书 1/3 页 3 CN 216321914 U 3