(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210144979.4 (22)申请日 2022.02.18 (71)申请人 北京中拓光电科技有限公司 地址 102200 北京市昌平区科技园区超前 路23号院C区1层10 6号 (72)发明人 伊文君　张奇　徐杰　贾侦华　 (51)Int.Cl. G01N 21/84(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种可升 降的载物台及用其对外延片进行 检测的方法 (57)摘要 一种可升降的载物台， 包括机架， 载片台 （20） ， 顶针组件， 升降机构， 以及驱动组件； 其特 征在于， 驱动组件可通过升降机构驱动载片台 （20） 升降， 从而使得顶 针组件中的顶 针 （12） 的顶 部处于突出于载片台 （2 0） 的上表面一定距离、 与 载片台 （20） 的上表面齐平、 或者低于 载片台 （2 0） 上表面一定距离的位置， 当顶 针 （12） 的顶部处于 突出于载片台 （2 0） 的上表面一定距离的位置时， 可实现外延片的自动取放； 当顶针 （12） 的顶部处 于与载片台 （20） 的上表面齐平、 或者低于该上表 面一定距离的位置时， 可实现外延片的吸附固 定、 以及检测时的自动调焦。 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 CN 114324341 A 2022.04.12 CN 114324341 A 1.一种可升降的载物台， 包括机架， 载片台 （20） ， 顶针组件， 升降机构， 以及驱动组件； 其特征在于： 驱动组件可通过升降机构驱动载片台 （20） 升降， 从而使得顶针组件中的顶针 （12） 的顶部处于突出于载片台 （20） 的上表面一定距离、 与载片台 （20） 的上表面齐平、 或者 低于载片台 （20） 上表 面一定距离的位置， 当顶针 （12） 的顶部处于突出于载片台 （20） 的上表 面一定距离的位置时， 可实现外延片的自动取放； 当顶针 （12） 的顶部处于与载片台 （20） 的 上表面齐平、 或者低于该上表 面一定距离的位置时， 可实现外延片的吸附固定、 以及检测时 的自动调焦。 2.根据权利要求1所述的可升降的载物台， 其中， 驱动组件包括电机 （1） 和联轴器 （2） ， 升降机构通过 联轴器 （2） 与电机 （1） 的输出轴传动连接 。 3.根据权利 要求2所述的可升降的载物台， 其中， 升降机构包括丝杠 （5） ， 丝杠支座 （4） ， 丝杠螺帽 （7） ， 滑块推板 （6） ， 惰轮 （18） ， 惰轮支座 （17） ， Z轴上板 （19） ； 丝杠 （5） 可转动地设置 在丝杠座 （3） 上， 丝杠座 （3） 固定在丝杠支座 （4） 上， 丝杠支座 （4） 固定在Z轴底板 （9） 上， 丝杠 （5） 的一端通过联轴器 （2） 与电机 （1） 的输出轴传动连接， 另一端套设有丝杠螺帽 （7） ； 丝杠 螺帽 （7） 上固定连接有滑块推板 （6） ， 惰轮 （18） 与滑块推板 （6） 的斜面相抵接且可沿该斜面 滑动， 惰轮 （18） 通过惰轮支座 （17） 与机架滑动连接， 可沿着 机架上下滑动； 惰轮支座 （17） 的 顶部设置有Z轴上板 （19） ， Z轴上板 （19） 的顶部与载片台 （20） 固定连接 。 4.根据权利要求3所述的可升降的载物台， 其中， 顶针组件包括顶针 （12）， 顶针支座 （13） ， 顶针固定板 （14） ， 顶针支座 （13） 固定在机架的Z轴底板 （9） 上， 顶针固定板 （14） 固定在 顶针支座 （13） 上， 顶针 （12） 固定在顶针固定 板 （14） 上并可穿过 载片台 （20） 上相应的通 孔。 5.根据权利要求4所述的可升降的载物台， 其中， 顶针 （12） 为三根， 沿圆周方向均匀分 布， 且所有顶针 （12） 的顶端位于同一个水平面内。 6.根据权利 要求5所述的可升降的载物台， 其中， Z轴 底板 （9） 上还设置有水平导轨 （8） ， 滑块推板 （6） 设置 于水平导轨 （8） 上并可沿该 水平导轨 （8） 左右 移动。 7.根据权利要求6所述的可升降的载物台， 其中， Z轴底板 （9） 上还设置有沿竖直方向延 伸的Z导轨 （10） ， Z轴导轨板 （11） 可滑动的设置在Z导轨 （10） 上， Z轴导轨板 （11） 与Z轴上板 （19） 固定连接， 惰轮支座 （17）  与Z轴上板 （19） 固定连接， 从而惰轮 （18） 可带动惰轮支座 （17） 、 Z轴上板 （19） 、 Z轴导轨 板 （11） 沿着Z轴导轨 （10） 上 下滑动。 8.根据权利要求7所述的可升降的载物台， 其中， Z轴上板 （19） 和Z轴底板 （9） 之间设置 有拉簧 （15） ， 该拉簧 （15） 提供一个使Z轴上板 （19） 向下运动的拉力。 9.一种使用权利要求1 ‑8中任意一项所述的可升降的载物台对外延片进行检测的方 法， 其特征在于， 具有如下步骤： 第一步： 开启驱动组件， 通过升降机构驱动载片台 （20） 向下运动， 使得顶针组件中的顶 针 （12） 的顶部处于突出于载片台 （20） 的上表面 一定距离的位置， 停止驱动； 第二步： 驱动机 械手将待检测的外延 片 （21） 自动放置 于顶针 （12） 之上； 第三步： 开启驱动组件， 通过升降机构驱动载片台 （20） 向上运动， 使得顶针组件中的顶 针 （12） 的顶部不 突出于载片台 （20） 的上表面， 停止驱动； 第四步： 通过负压将外延 片 （21） 吸附固定在载片台 （20） 上； 第五步： 开启检测系统， 判断外延片 （21） 所处的位置是否处于检测的最佳对焦位置， 如 果不是， 则继续开启驱动组件， 带动载片台 （20） 向上运动， 同时自动判断外延片 （21） 所处的权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114324341 A 2位置， 直到 外延片 （21） 处于最佳对焦位置， 停止驱动， 开始检测； 第六步： 检测结束之后， 开启驱动组件， 通过升降机构驱动载片台 （20） 向下运动， 使得 顶针组件中的顶针 （12） 的顶部处于突出于载片台 （20） 的上表面一定距离的位置， 停止驱 动； 第七步： 驱动机 械手将检测结束的外延 片 （21） 取 走。 10.根据权利要求9所述的对外延 片进行检测的方法， 其中： 步骤一具体为： 驱动电机 （1） 逆时针转动， 带动丝杠 （5） 逆时针转动， 丝杠螺帽 （7） 向右 移动， 滑块推板 （6） 随着丝杠螺帽 （7） 在水平导轨 （8） 上向右移动， 拉簧 （15） 带动Z轴上板 （19） 向下运动， 惰轮 （18） 与滑块推板 （6） 斜面保持接触， Z轴导轨板 （11） 沿着Z导轨 （10） 向下 滑动， 载片台 （20） 向下运动， 顶针 （12） 露出载片台 （20） 外一定距离， 当顶针 （12） 超 出载片台 （20） 的上表面的距离 达到一个预定值的时候， 电机停转； 步骤三具体为： 驱动电机 （1） 顺时针转动， 电机 （1） 带动丝杠 （5） 顺时针转动， 丝杠螺帽 （7） 向左移动， 滑 块推板 （6） 随着 丝杠螺帽 （7） 在水平导轨 （8） 上向左移动， 滑 块推板 （6） 斜面 推动惰轮 （18） 向上运动， 惰轮 （18） 带动惰轮支座 （17） 、 Z轴上板 （19） 、 载片台 （20） 向上运动， 同时拉簧 （15） 拉伸， Z轴导轨板 （11） 沿着Z导轨 （10） 向上滑动， 载片台 （20） 向上运动， 直到顶 针 （12） 的顶部不突出于载片台 （20） 的上表 面， 从而外延片 （21） 与载片台 （20） 的上表 面相接 触。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114324341 A 3