(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221344571.3 (22)申请日 2022.05.31 (73)专利权人 申集半导体科技 （徐州） 有限公司 地址 221300 江苏省徐州市邳州市邳州经 济开发区辽河路以北华山路以西半导 体材料和设备产业园C2号厂房 (72)发明人 刘超　李中云　 (74)专利代理 机构 天津煜博知识产权代理事务 所(普通合伙) 12246 专利代理师 林秀秀 (51)Int.Cl. B01D 47/06(2006.01) B01D 29/03(2006.01) B01D 29/96(2006.01) B01D 29/64(2006.01) (54)实用新型名称 一种MOCVD用的废气收集装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种MOCVD用的废气收集 装置， 涉及MOCVD技术领域。 该一种MOCVD用的废 气收集装置， 包括处理箱， 所述处理箱上端的左 侧固定连接有进料管， 所述处理箱内部的上侧设 置有喷洒机构， 所述处理箱的左右内壁之间设置 有过滤机构， 所述处理箱的右侧固定连接有出料 管， 所述出料管的右侧固定连接有收集箱， 所述 处理箱下端的左侧固定连接有排水管。 本实用新 型中， 通过设置有连通板、 喷头、 滤板、 处理箱与 排水管， 使废气通过进料管进入到处理箱进行喷 洒与过滤处理， 对废气中大部分杂质进行处理， 减少后期处 理废气的工作量。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217410190 U 2022.09.13 CN 217410190 U 1.一种MOCVD用的废气收集装置， 包括处理箱(1)， 其特征在于： 所述处理箱(1)上端的 左侧固定连接有进料管(6)， 所述处理箱(1)内部的上侧设置有喷洒机构(3)， 所述处理箱 (1)的左右内壁之间设置有过滤机构(4)， 所述处理箱(1)的右侧固定连接有出料管(7)， 所 述出料管(7)的右侧固定连接有收集箱(2)， 所述处理箱(1)下端的左侧固定连接有排水管 (5)； 所述喷洒机构(3)包括水箱(301)， 所述水箱(301)固定连接在收集箱(2)的上侧， 所述 处理箱(1)内部的上侧固定连接有支撑杆(303)， 所述支撑杆(303)的下侧固定连接有连通 板(304)， 所述连通板(3 04)的下侧固定连接有喷头(3 05)； 所述过滤机构(4)包括滑槽(401)， 所述滑槽(401)开设在处理箱(1)的左右两侧， 所述 滑槽(401)的内侧滑动 连接有滑块(403)， 所述滑块(403)的内侧转动 连接有转杆(404)， 左 右两侧所述转杆(404)之间且位于处理箱(1)的内部固定连接有滤板(406)， 所述处理箱(1) 的左侧且位于滑块(403)的下侧固定连接有液压缸(407)， 所述处理箱(1)的左侧内壁固定 连接有液压杆(408)， 所述液压杆(408)的右侧固定连接有刮板(409)。 2.根据权利要求1所述的一种MOCVD用的废气收集装置， 其特征在于： 所述水箱(301)内 部设置有水泵， 所述水泵的输出端与连通板(3 04)之间固定连接有连接管(3 02)。 3.根据权利 要求1所述的一种MOCVD用的废气收集装置， 其特征在于： 所述进料管(6)与 出料管(7)的内壁均设置有滤网。 4.根据权利要求1所述的一种MOCVD用的废气收集装置， 其特征在于： 左侧所述滑块 (403)的上侧与左侧滑槽(401)的上侧之间固定连接有电动伸缩杆(402)。 5.根据权利要求1所述的一种MOCVD用的废气收集装置， 其特征在于： 左侧所述转杆 (404)的左端穿过滑块(40 3)且固定连接有转盘(40 5)。 6.根据权利要求1所述的一种MOCVD用的废气收集装置， 其特征在于： 所述连通板(304) 为中空结构设置 。 7.根据权利 要求1所述的一种MOCVD用的废气收集装置， 其特征在于： 所述处理箱(1)的 前侧固定连接有前板(8)， 所述前板(8)的前侧设置有观察窗(9)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217410190 U 2一种MOCVD用的废气收集装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及MOCVD技 术领域， 尤其涉及一种MOCVD用的废气收集装置 。 背景技术 [0002]MOCVD是金属有机物化学气相淀积， 采用将液态源送入汽化室得到气态源物质， 再 经过流量控制送入反应 室， 或者直接向反应室注入 液态先体， 在反应室内汽化和沉积， 这种 方式的优点是简化了源输送方式， 对材料 的要求降低， 便于实现多种薄膜的交替沉积以获 得超品格结构等。 [0003]经过检索， 申请号为 “201821568691.5 ”， 提供了一种 LED行业MOCVD设备用尾气收 集环， 通过真空泵将反应釜中的尾气进行收集， 尾气 中的未能进行沉积的尾气在经过支架 上的气囊进行沉积， 减少 了半圆块上过多的沉积进而导致堵塞， 同时当气囊的表面沉积到 一定的程度时可以通过气管对气囊进 行放气使得在气囊上沉积的粉尘进 行掉落， 从而对气 囊进行清洁， 避免了堵塞情况 的发生， 保证了尾气装置运行 的正常运行。 但仍存在不足， 收 集的气体需要后期使用废气处理装置来对废气进行处理， 增加工作人员的工作量， 效率不 高。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种MOCVD用的 废气收集装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本 实用新型采用了如下技术方案： 一种MOCVD用的废气收集装 置， 包括处理箱， 所述处理箱上端的左侧固定连接有进 料管， 所述处理箱内部的上侧设置有 喷洒机构， 所述处理箱的左右内壁之间设置有过滤机构， 所述处理箱的右侧固定连接有出 料管， 所述出 料管的右侧固定连接有收集箱， 所述处 理箱下端的左侧固定连接有排水 管； [0006]所述喷洒机构包括水箱， 所述水箱固定连接在收集箱的上侧， 所述处理箱内部的 上侧固定连接有支撑杆， 所述支撑杆的下侧固定连接有连通板， 所述连通板的下侧固定连 接有喷头； [0007]所述过滤机构包括滑槽， 所述滑槽开设在处理箱的左右两侧， 所述滑槽的内侧滑 动连接有滑块， 所述滑块的内侧转动连接有转杆， 左右两侧所述转杆之间且位于处理箱的 内部固定连接有滤板， 所述处理箱的左侧且位于滑块的下侧固定连接有液压缸， 所述处理 箱的左侧内壁固定连接有液压杆， 所述液压杆的右侧固定连接有刮板 。 [0008]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0009]所述水箱内部设置有水泵， 所述水泵的输出端与连通板之间固定连接有连接管。 [0010]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0011]所述进料 管与出料管的内壁均设置有滤网。 [0012]作为上述 技术方案的进一 步描述： [0013]左侧所述滑块的上侧与左侧滑槽的上侧之间固定连接有电动伸缩杆。说　明　书 1/3 页 3 CN 217410190 U 3