(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211298800.7 (22)申请日 2022.10.24 (71)申请人 河北美泰电子科技有限公司 地址 050000 河北省石家庄市昌盛大街21 号B10厂房美泰公司 (72)发明人 李保岭　王伟忠　沈超群　郑七龙　 杨拥军　 (74)专利代理 机构 石家庄国为知识产权事务所 13120 专利代理师 张罗涛 (51)Int.Cl. G01D 21/02(2006.01) G01D 11/26(2006.01) (54)发明名称 MEMS温度加速度复合传感器 (57)摘要 本发明提供了一种MEMS温度加速度复合传 感器， 包括壳体、 温度检测模块、 加速度检测模块 和控制模块， 壳体能够沿第一路径伸缩； 温度检 测模块设于所述壳体内； 加速度检测模块设于所 述壳体内， 用于检测车辆行驶时的加速度； 控制 模块设于 所述壳体内， 分别与所述加速度检测模 块和所述 温度检测模块连接， 所述控制模块包括 中间具有屏蔽层的PCB板， 和集成于所述PCB板 上 的电子元件。 本发明提供的MEMS温度加速度复合 传感器， 旨在解决现有技术中MEMS传感器防震 性 能和抗磁性能较 差的问题。 权利要求书1页 说明书6页 附图5页 CN 115355955 A 2022.11.18 CN 115355955 A 1.MEMS温度加速度复合传感器， 其特 征在于， 包括： 壳体， 能够沿第一路径伸缩； 温度检测模块， 设于所述壳体内； 加速度检测模块， 设于所述壳体内， 用于检测车辆行驶时的加速度； 以及 控制模块,设于所述壳体 内， 分别与所述加速度检测模块和所述温度检测模块连接， 所 述控制模块包括中间具有屏蔽层的PCB板， 和集成于所述PCB板上的电子元件。 2.如权利要求1所述的M EMS温度加速度复合传感器， 其特 征在于， 所述壳体包括： 主体， 具有沿所述第一路径贯 通的容纳通道， 且所述主体能够沿所述第一路径伸缩； 密封罩， 连接于所述主体的一端， 所述温度检测模块、 所述加速度检测模块和所述控制 模块均设于所述密封罩内； 以及 安装头， 连接 于所述主体的第二端； 所述密封罩、 所述主体和所述安装头连接后形成内部封 闭的腔室， 且所述密封罩与所 述主体的连接处、 所述 安装头与所述主体的连接处均填充 有密封胶。 3.如权利要求2所述的MEMS温度加速度复合传感器， 其特征在于， 所述主体包括沿所述 第一路径伸缩的伸缩管， 和沿所述第一路径分别连接于所述伸缩管两端的第一热缩组件和 第二热缩组件， 所述第一热缩组件与所述密封罩连接， 所述第二热缩组件与所述安装头连 接。 4.如权利要求3所述的MEMS温度加速度复合传感器， 其特征在于， 所述第一热缩组件包 括依次设置的第一热缩管、 连接管和密封机构， 其中， 所述第一热缩管套设于所述伸缩管 外； 所述连接管的一端插设于所述第一热缩管内， 另一端与所述密封罩对接； 所述密封机构 封堵于所述密封罩的开口。 5.如权利要求4所述的MEMS温度加速度复合传感器， 其特征在于， 所述连接管包括沿所 述第一路径依次设置的插接部、 抵接部和容置部， 所述插接部、 所述抵接部和所述容置部的 外径依次增大， 所述插接部插设于所述第一热缩管内， 所述抵接部与所述连接管 的端部抵 接， 所述容置部具有用于容纳所述密封 机构的容纳腔。 6.如权利要求2所述的MEMS温度加速度复合传感器， 其特征在于， 所述密封罩内设有安 装块， 所述 安装块上开设有用于容纳所述PCB板的安装腔。 7.如权利要求4所述的MEMS温度加速度复合传感器， 其特征在于， 所述密封机构包括由 内向外依次套接的内套 管、 夹爪和外套 管， 所述外套 管具有沿径向设置的限位环， 所述限位 环的外周面与所述密封罩的内壁连接 。 8.如权利要求7所述的MEMS温度加速度复合传感器， 其特征在于， 所述内套管外设有限 位凸台， 所述限位凸台与所述夹爪的端部 抵接， 用于对所述夹爪在所述第一路径限位。 9.如权利要求7所述的MEMS温度加速度复合传感器， 其特征在于， 所述密封机构还包括 套设于所述外套管外的密封管， 所述密封管插设于所述连接管内。 10.如权利要求4所述的MEMS温度加速度复合传感器， 其特征在于， 所述第一热缩管包 括沿所述第一路径设置的第一连接部和第一内缩部， 所述第一连接部套设于所述伸缩管 外， 所述第一内缩部的外径小于所述第一连接 部的外径。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115355955 A 2MEMS温度加速度复合传感器 技术领域 [0001]本发明属于传感器技术领域， 更具体地说， 是涉及一种MEMS温度加速度复合传感 器。 背景技术 [0002]随着城市的快速发展， 轨道交通已成为城市公共交通重要的组成部分， 由于轨道 交通的运行区间短， 车辆启动、 加速、 减速和制动频繁的特点， 使得轨道车辆在机械运转时 的动态载荷变化范围与频率变大， 因此为保证轨道车辆的运营安全， 对车辆的状态监测就 变的尤为重要。 目前， 轨道交通车辆的状态监测系统具有监测、 故障排查、 牵引和制动等重 要功能， 其决定了机车车辆运营速度和 安全品质， 而状态监测系统对故障的判断主要依靠 各类传感器对车辆的实时监测， 监测信号主 要为温度、 振动及冲击信号。 [0003]MEMS传感器是指 微机电系统， 是在微电子技术的基础上发展起来的多学科交叉的 前沿衍架领域。 与传统的传感器相比， 它具有体积小、 重量轻、 成本低、 功 耗低、 可靠性高、 适 于批量化生产、 易于集成和实现智能化的特点。 由于轨道车辆中的安装空间有限， MEMS传感 器的上述特点更加适 合于对轨道车辆进行监控。 [0004]由于轨道车辆运行环境 处于高压、 高电磁、 潮湿环境中， 传感器需要承受强烈的动 态、 交变、 导电壳体和空间强电磁干扰， 传 统的MEMS传感器外壳为刚性构件， 防震和抗磁性 能能较差， 在高压、 高电磁、 潮湿和震荡环境中工作时容易发生断裂， 而且经常出现失效或 误报的情况。 发明内容 [0005]本发明的目的在于提供一种MEMS温度加速度复合传感器， 旨在解决现有技术中 MEMS传感器防震性能和抗磁性能较差的问题。 [0006]为实现上述目的， 本发明采用的技术方案是： 提供一种MEMS温度加速度复合传感 器， 包括： 壳体， 能够沿第一路径伸缩； 温度检测模块， 设于所述壳体内； 加速度检测模块， 设于所述壳体内， 用于检测车辆行驶时的加速度； 以及 控制模块,设于所述壳体内， 分别与所述加速度检测模块和所述温度检测模块连 接， 所述控制模块包括中间具有屏蔽层的PCB板， 和集成于所述PCB板上的电子元件。 [0007]在一种可能的实现方式 中， 所述壳体包括: 主体， 具有沿所述第一路径贯通的容纳通道， 且所述主体能够沿所述第一路径伸 缩； 密封罩， 连接于所述主体的一端， 所述温度检测模块、 所述加速度检测模块和所述 控制模块均设于所述密封罩内； 以及 安装头， 连接 于所述主体的第二端；说　明　书 1/6 页 3 CN 115355955 A 3