(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211107428.7 (22)申请日 2022.09.13 (71)申请人 江苏知微 光电科技有限公司 地址 221300 江苏省徐州市邳州经济开发 区海河路海 归人才创业园6 #102室 (72)发明人 韩勋　 (74)专利代理 机构 江苏长德知识产权代理有限 公司 32478 专利代理师 张源 (51)Int.Cl. B24B 7/22(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 55/02(2006.01) B24B 55/03(2006.01) B24B 55/06(2006.01)B24B 55/12(2006.01) H01L 21/304(2006.01) (54)发明名称 一种超薄衬底的制备装置 (57)摘要 本发明公开了一种超薄衬底的制备装置， 涉 及超薄衬底加工技术领域， 其技术方案要点包括 底座和承 载板， 所述承 载板上固定连接有第一吸 盘， 将晶圆底衬放置在第一吸盘上， 通过第一吸 盘对晶圆底衬进行吸附固定； 打磨块， 所述打磨 块活动连接在承 载板的上方， 打磨块与晶圆底衬 接触后， 打磨块转动实现对晶圆底衬进行打磨； 装液箱， 所述装液箱固定连接在底座的上方， 所 述装液箱内连通有喷液管， 在打磨块对晶圆底衬 进行打磨时， 效果是实现对晶圆底衬上下表面进 行冷却， 使晶圆底衬的上下表面温度保持一致， 防止晶圆底衬上表面温度不一样， 影 响晶圆底衬 的性能， 同时在晶圆底衬的上下表面都喷冷却 液， 提高了降温效果。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 115476215 A 2022.12.16 CN 115476215 A 1.一种超薄衬底的制备装置， 其特 征在于， 包括： 底座(1)； 承载板(2)， 所述承载板(2)上固定连接有第一吸盘(3)， 将晶圆底衬放置在第一吸盘 (3)上， 通过第一吸盘(3)对晶圆底衬进行吸附固定； 打磨块(47)， 所述打磨块(47)活动连接在承载板(2)的上方， 打磨块(47)与晶圆底衬接 触后， 打磨块(47)转动实现对晶圆底衬进行打磨； 装液箱(4)， 所述装液箱(4)固定连接在底座(1)的上方， 所述装液箱(4)内连通有喷液 管(5)， 在打磨块(47)对晶圆底衬进 行打磨时， 装 液箱(4)内部的冷却液通过喷液管(5)喷向 晶圆底衬上表面， 冷却液对晶圆底衬上表面进行降温处 理； 其中， 所述底座(1)的内部固定连接有收集箱(6)， 所述收集箱(6)的顶部开设有进液孔 (7)， 所述收集箱(6)的内部固定连接有隔板(8)， 所述隔板(8)的进口处安装有单向阀(9)， 所述收集箱(6)的内部移动连接有挤压板(10)， 所述承载板(2)上固定连接有出液管(11)， 晶圆底衬上表 面进行降温的冷却液通过进液孔(7)、 隔板(8)上的进口流至收集箱(6)内部， 挤压板(10)在收集箱(6)内移动将收集箱(6)内部的冷却液挤压至出液管(11)， 通过出液管 (11)喷向晶圆底衬的下表面， 即对晶圆底衬下表面进行降温处 理； 相变块(12)， 所述挤压板(10)的侧壁上固定连接有锁紧框(13)， 所述相变块(12)锁紧 在锁紧框(13)的内部， 相变块(12)对收集箱(6)内部的冷却液进行降温处 理。 2.根据权利要求1所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述底座(1)的上表 面固定连接有L形支板(14)， 所述L形支板(14)上固定连接有第一气动伸缩杆(15)， 所述第 一气动伸缩 杆(15)的移动端固定连接有第一 驱动电机(16)， 所述第一 驱动电机(16)的驱动 轴与打磨块(47)固定连接 。 3.根据权利要求2所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述底座(1)上固定 连接有支撑杆(17)， 所述支撑杆(17)上固定连接有 固定环(18)， 所述固定环(18)的外侧壁 固定连接有第二 驱动电机(19)， 所述第二 驱动电机(19)的驱动轴穿过固定环(18)的侧壁并 与承载板(2)固定连接， 所述喷液 管(5)固定连接在固定环(18)的内侧壁。 4.根据权利要求3所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述装液箱(4)顶端 的进液口处设置有堵液块(20)。 5.根据权利要求4所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述喷液管(5)与装 液箱(4)之间通过中间管(21)连通， 所述中间管(21)上安装有第一控制阀(2 2)。 6.根据权利要求5所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述底座(1)上固定 连接有第二气动伸缩 杆(23)， 所述第二气动伸缩杆(23)的移动端固定连接有T形板(24)， 所 述T形板(24)上固定连接有移动杆(25)， 所述移动杆(25)的一端穿过底 座(1)的侧壁并固定 连接有清洁板(26)， 所述清洁板(26)的下表面与进液孔(7)接触， 所述底座(1)开设有收集 槽(27)， 所述收集槽(27)位于进液孔(7)的外周。 7.根据权利要求6所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述挤压板(10)上固 定连接有活动杆(28)， 所述活动杆(28)的一端穿过底座(1)的侧壁并与T形板(24)固定连 接。 8.根据权利要求7所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述收集箱(6)连通 有第一管(29)， 所述第一管(29)与出液管(11)之间通过第二管(30)连通， 所述第二管(30)权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115476215 A 2上安装有第二控制阀(31)。 9.根据权利要求8所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述承载板(2)上开 设有进液空间(32)， 所述进液空间(32)内密封移动 连接有活移块(33)， 所述活移块(33)上 固定连接有顶起杆(34)， 所述顶起杆(34)的上端穿过进液空间(32)的侧壁并位于承载板 (2)的上方， 所述进液空间(32)与第一管(29)之间通过第三管(35)连通， 所述第三管(35)上 安装有第三控制阀(3 6)。 10.根据权利要求9所述的一种超薄衬底的制备装置， 其特征在于， 所述锁紧框(13)的 内侧壁固定连接有弹性锁紧垫(37)， 所述收集箱(6)的侧壁上开设有换料孔(38)， 所述换料 孔(38)内密封移动连接有阻挡 板(39)， 所述阻挡 板(39)上固定连接有相连杆(40)， 所述相 连杆(40)上固定连接有移块(41)， 所述移块(41)上固定连接有弹簧(42)， 所述弹簧(42)上 固定连接有连接块(43)， 所述连接块(43)固定连接在底座(1)上； 所述底座(1)上固定连接有第三气动伸缩杆(44)， 所述第三气动伸缩杆(44)的移动端 固定连接有换 料板(45)， 所述换 料板(45)上固定连接有第二吸盘(46)。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115476215 A 3