(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211421098.9 (22)申请日 2022.11.15 (71)申请人 材料科学姑苏实验室 地址 215125 江苏省苏州市工业园区若水 路388号 (72)发明人 蔡晓　周博艺　冯加贵　熊康林　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 赵迎迎 (51)Int.Cl. G06N 10/20(2022.01) G06N 10/40(2022.01) G06F 30/23(2020.01) (54)发明名称 一种超导 量子电路的传输线结构 (57)摘要 本发明公开了一种超导量子电路的传输线 结构， 包括： 所述传输线结构包括信号传输线和 一个或多个接地线， 所述信号传输线和所述接地 线绝缘设置； 所述信号传输线由直线和环形线结 构构成， 所述环形线结构用于增加所述信号传输 线的分布电感； 或者， 所述接地线设置有预设数 量的孔型结构， 所述孔型结构用于改变所述信号 传输线和所述接地线之间的分布电容。 本发明设 计的传输线结构可以起到调控超导量子电路的 传输线结构特征阻抗的作用， 并且传输线结构尺 寸大小与微纳加工过程匹配， 所面临的工艺不确 定性降低， 在保证目标阻抗条件 下提高了传输线 设计的稳定性。 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 CN 115470914 A 2022.12.13 CN 115470914 A 1.一种超导 量子电路的传输线结构， 其特 征在于， 包括： 所述传输线结构包括信号传输线和一个或多个接地线， 所述信号传输线和所述接地线 绝缘设置； 所述信号传输线由直线和环形线结构构 成， 所述环形线结构用于增加所述信号传输线 的分布电感； 或者， 所述接地线设置有预设数量的孔型结构， 所述孔型结构用于改变所述信号传输 线和所述接地线之间的分布电容。 2.根据权利要求1所述的超导量子电路的传输线结构， 其特征在于， 所述超导量子电路 的传输线结构还包括介质层， 所述信号传输线位于所述介质层的第一侧， 所述接地线位于 所述介质层与所述第一侧相对的第二侧； 所述环形线结构包括环形传输线， 环形传输线的层数包括至少一层， 相邻两层环形传 输线填充 有所述介质层， 相邻两层环形传输线之间通过两者之间的介质层的通 孔连接。 3.根据权利要求1或2所述的超导量子电路的传输线结构， 其特征在于， 所述接地线包 括第一接地线和第二接地线， 所述第一接地线和所述信号传输线绝缘设置， 所述第二接地 线和所述信号传输线绝 缘设置。 4.根据权利要求1所述的超导量子电路的传输线结构， 其特征在于， 所述孔型结构在所 述接地线所在平面的截面形状包括圆形或者多边形。 5.根据权利要求1所述的超导量子电路的传输线结构， 其特征在于， 所述孔型结构在信 号传输线的电信号传输方向上， 所述孔型结构的结构或者密度呈预设变化， 以实现传输线 结构特性阻抗在 传输线长度方向的均匀或者非均匀的连续变化。 6.根据权利要求1所述的超导量子电路的传输线结构， 其特征在于， 所述环形线结构在 信号传输线的电信号传输方向上， 所述环形线结构的结构或者其密度呈预设变化， 以实现 传输线结构特性阻抗在 传输线长度方向均匀或者非均匀的连续变化。 7.根据权利要求5所述的超导量子电路的传输线结构， 其特征在于， 所述孔型结构在信 号传输线的电信号传输方向上的尺寸 为第一尺寸， 所述接地线的厚度为第二尺寸； 所述超导 量子电路的传输线结构的等效阻抗满足如下关系： 其中， factor2为拟合参数， Z0为所述接地线未设置所述孔型结构时的特性阻抗， factor1为预设数量的所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度， 其中， 孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺 寸为groundL2， 孔型结构在垂 直于信号传 输线的电信号传输方向上的尺寸为groundL1， C1为预设数量的孔型结构在信号传输线的电 信号传输方向上的排列密度为最大排列密度时对应的分布电容， C0为所述接地线未设置所 述孔型结构时的电容。 8.根据权利要求7所述的超导量子电路的传输线结构， 其特征在于， 孔型结构在信号传 输线的电信号传输方向上， 多个孔型 结构的密度呈周期性变化。 9.根据权利要求7所述的超导量子电路的传输线结构， 其特征在于， 预设数量的所述孔 型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度满足如下关系：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115470914 A 2其中， factor1为预设数量的所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列 密度， groundL2为所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺 寸， num为所述孔型 结构的数量， L 为所述信号传输线在电信号传输方向上的长度。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115470914 A 3