(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210704068.2 (22)申请日 2022.06.21 (71)申请人 上海捷策创电子科技有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区中国 （上海） 自由贸易试验区龙东大道3000号5号 楼302室-5325 (72)发明人 顾培东　张彤　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 薛学娜 (51)Int.Cl. G01R 31/28(2006.01) G01R 1/02(2006.01) B08B 1/00(2006.01) (54)发明名称 一种芯片测试装置 (57)摘要 本发明属于芯片测试技术领域， 公开了一种 芯片测试装置。 该芯片测试装置包括测试座、 压 盖、 压头机构和清洁机构， 测试座具有卡固槽， 卡 固槽用于安装被测试芯片； 压盖与测试座转动连 接； 压头机构转动设于压盖上， 压头机构能抵接 于被测试芯片的顶面， 转动压头机构， 压头机构 能挤压被测试芯片， 以使测试座上的探针刺破被 测试芯片上的锡球； 清洁机构设于测试座上， 清 洁机构能对探针进行清洁处理。 本发 明提供的芯 片测试装置， 通过设置清洁机构， 清洁机构对探 针进行清洁处理， 防止过多的锡渣粘连到探针 上， 使探针的阻抗过大， 提高了测试稳定性。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 114879018 A 2022.08.09 CN 114879018 A 1.一种芯片测试装置， 其特 征在于， 包括： 测试座(1)， 具有卡固槽， 所述 卡固槽用于安装被测试芯片(20 0)； 压盖(2)， 与所述测试座(1)转动连接； 压头机构(3)， 转动设于所述压盖(2)上， 所述压头机构(3)能抵接于所述被测试芯片 (200)的顶面， 转动所述压头机构(3)， 所述压头机构(3)能挤压所述被测试芯片(200)， 以使 所述测试座(1)上的探针(6)刺破所述被测试芯片(20 0)上的锡球； 清洁机构(4)， 设于所述测试座(1)上， 所述清洁机构(4)能对所述探针(6)进行清洁处 理。 2.根据权利要求1所述的芯片测试装置， 其特征在于， 所述测试座(1)的底部设有保护 底板(5)。 3.根据权利要求1所述的芯片测试装置， 其特征在于， 所述压盖(2)包括固定框(21)和 与所述固定框(21)转动连接的盖板(22)， 所述固定框(21)设于所述测试座(1)上， 所述压头 机构(3)转动设于所述盖 板(22)上。 4.根据权利要求1所述的芯片测试装置， 其特征在于， 所述清洁机构(4)包括动力组件 (41)和清洁组件(42)， 所述动力组件(41)能带动 所述清洁组件(42)沿垂直于所述探针(6) 的轴向的方向运动。 5.根据权利要求4所述的芯片测试装置， 其特征在于， 所述动力组件(41)包括相互传动 连接的驱动件(41 1)和传送胶条(412)， 所述清洁组件(42)与所述传送胶条(412)固定连接 。 6.根据权利要求5所述的芯片测试装置， 其特 征在于， 所述驱动件(41 1)为电机 。 7.根据权利要求5所述的芯片测试装置， 其特征在于， 所述清洁组件(42)包括毛刷杆 (421)和设于所述毛刷杆(421)上的刷毛(422)， 所述毛刷杆(421)与所述传送胶条(412)连 接。 8.根据权利要求4所述的芯片测试装置， 其特征在于， 所述动力组件(41)包括两个浮动 按键(414)和两个带有拨齿的传送胶条(412)， 两个所述浮动按键(414)滑动设于所述测试 座(1)的一端， 所述清洁组件(42)选择性地设于所述测试座(1)的另一端， 两个所述传送胶 条(412)分别设于所述测试座(1)的两内侧面， 所述压头机构(3)能推动所述浮动按键(414) 向下运动以按压所述拨齿， 所述拨齿能带动所述传送胶条(4 12)运动， 且所述拨齿能触动所 述清洁组件(42)以使所述清洁组件(42)对所述探针(6)进行清洁处 理。 9.根据权利要求8所述的芯片测试装置， 其特征在于， 所述拨齿和所述清洁组件(42)之 间连接有弹性件(416)。 10.根据权利 要求9所述的芯片测试装置， 其特征在于， 所述拨齿包括第一拨齿(4151)、 第二拨齿(4152)和多个第三拨齿(4153)， 所述第一拨齿(4151)和第二拨齿(4152)分别设于 所述传送胶条(412)的两端， 多个所述第三拨齿(4153)均匀设于所述传送胶条(412)上， 所 述弹性件(416)的一端与所述第一拨齿(4151)连接， 所述弹性件(416)的另一端设于所述清 洁组件(42)上， 清洁组件(42)能抵 接于测试座(1)上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114879018 A 2一种芯片测试装 置 技术领域 [0001]本发明涉及芯片测试技 术领域， 尤其涉及一种芯片测试装置 。 背景技术 [0002]随着5G和大数据的飞速发展， 芯片工作的频率和速率越来越高， 对芯片测试时的 数据稳定性的要求越来越高。 [0003]在对BGA产 品进行测试时， 因为BGA封装的芯片产 品的引脚为锡球， 锡球的材料质 地较软， 在探针刺破锡球进 行通电测试结束后， 锡球被破坏， 会有一部 分锡渣粘在探针的针 尖， 锡材料的阻抗比较高， 这样粘连的锡渣越多就会导致探针的阻抗变化越大， 会导致芯片 的测试数据出现数据不稳定， 所以针尖的定期清洁是非常重要的。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种芯片测试装置， 旨在 提高芯片测试装置对被测试芯片 的测试稳定性。 [0005]为达此目的， 本发明采用以下技 术方案： [0006]一种芯片测试装置， 包括： [0007]测试座， 具有卡固槽， 所述 卡固槽用于安装被测试芯片； [0008]压盖， 与所述测试座 转动连接； [0009]压头机构， 转动设于所述压盖上， 所述压头机构能抵接于所述被测试芯片的顶面， 转动所述压头机构， 所述压头机构能挤压所述被测试芯片， 以使所述测试座上 的探针刺 破 所述被测试芯片上的锡球； [0010]清洁机构， 设于所述测试座上， 所述清洁机构能对所述探针进行清洁处 理。 [0011]可选地， 所述测试座的底部设有保护底板 。 [0012]可选地， 所述压盖包括固定框和与所述固定框转动连接 的盖板， 所述固定框设于 所述测试座上， 所述压 头机构转动设于所述盖 板上。 [0013]可选地， 所述清洁机构包括动力组件和清洁组件， 所述动力组件能带动所述清洁 组件沿垂直于所述探针的轴向的方向运动。 [0014]可选地， 所述动力组件包括相互传动连接 的驱动件和传送胶条， 所述清洁组件与 所述传送胶条固定连接 。 [0015]可选地， 所述驱动件为电机 。 [0016]可选地， 所述清洁组件包括毛刷杆和 设于所述毛刷杆上的刷毛， 所述毛刷杆与所 述传送胶条 连接。 [0017]可选地， 所述动力组件包括两个浮动按键和两个带有拨齿的传送胶条， 两个所述 浮动按键滑动设于所述测试座的一端， 所述清洁组件选择性地设于所述测试座的另一端， 两个所述传送胶条分别设于所述测试座的两内侧面， 所述压头机构能推动所述浮动按键向 下运动以按压所述拨齿， 所述拨齿能带动所述传送胶条运动， 且所述拨齿能触动所述清洁说　明　书 1/5 页 3 CN 114879018 A 3