(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211498164.2 (22)申请日 2022.11.28 (71)申请人 江苏沙钢集团有限公司 地址 215624 江苏省苏州市张家港市锦丰 镇永新路1号 申请人 江苏省沙钢 钢铁研究院有限公司 (72)发明人 吴园园　金传伟　张继明　 (74)专利代理 机构 苏州威世朋知识产权代理事 务所(普通 合伙) 32235 专利代理师 郜商羽 (51)Int.Cl. G01N 23/2251(2018.01) G01N 23/2255(2018.01) G01N 23/2208(2018.01) G01N 23/2202(2018.01)G06T 5/00(2006.01) G06T 17/00(2006.01) (54)发明名称 夹杂物重构方法 (57)摘要 本发明提供一种夹杂物重构方法， 本方法在 利用聚焦离子束电子束双束扫描电镜对夹杂物 形貌进行重构的过程中， 通过计算系列夹杂物切 片所累积的总厚度， 并测量夹杂物切片在YZ面上 Z方向的偏移角度， 利用三角函数关系近似求得 夹杂物切片的偏移量， 从而对重构图像进行偏移 校正， 使最终获得的夹杂物图像更接近夹杂物的 原始形貌， 从而获取夹杂物的真实空间形态及尺 寸， 为研究夹杂物的形成机理提供 数据支撑 。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 115541643 A 2022.12.30 CN 115541643 A 1.一种夹杂物重构方法， 其特 征在于， 包括 步骤： 准备待观察试样， 寻找所述待观察试样表面的感兴趣夹杂物， 夹杂物所在平面构成XY 轴平面， 利用聚焦离子束电子束双束扫描电镜在所述夹杂物的左右侧及下侧形成凹坑， 其 中所述待观察试样下侧凹坑内壁 面构成XZ轴平面， 为观察 面； 沿Y轴方向， 通过聚焦离子束电子束双束扫描电镜对所述观察面进行逐层切割， 获得系 列夹杂物切片； 获取所述夹杂物切片图像， 计算对应所述夹杂物切片所累积的总厚度， 并获取所述夹 杂物切片在YZ面上Z方向的偏移角度； 计算每张所述夹杂物切片图像的偏移量， 根据所述偏移量对所述夹杂物切片图像进行 偏移校正， 所述偏移量计算公式为： ΔZN=LN×sinθ 其中，ΔZN表示偏移量， LN表示第N张所述夹杂物切片所累积的总厚度， θ表示所述夹杂 物切片在YZ面上Z方向的偏移角度； 基于校正后的所述夹杂物切片图像对所述夹杂物进行三维重构。 2.根据权利要求1所述的夹杂物重构方法， 其特征在于， 所述通过聚焦离子束电子束双 束扫描电镜对所述夹杂物进行 逐层切割， 获得系列夹杂物切片具体包括： 通过聚焦离子束电子束双束扫描电镜对所述夹杂物进行逐层切割， 根据夹杂物尺寸， 调整切片厚度， 获得多片厚度一 致的系列夹杂物切片。 3.根据权利要求2所述的夹杂物重构方法， 其特征在于， 所述夹杂物切片厚度范围为12 ~48nm。 4.根据权利要求2所述的夹杂物重构方法， 其特征在于， 所述获取所述夹杂物切片图 像， 具体包括： 每n片所述夹杂物切片， 获取一张所述夹杂物切片的图像， 其中 n为根据夹杂物尺寸和 切片厚度预设的参数。 5.根据权利要求 4所述的夹杂物重构方法， 其特 征在于， 参数 n的取值范围为1~4。 6.根据权利要求4所述的夹杂物重构方法， 其特征在于， 所述计算对应所述夹杂物切片 所累积的总厚度， 具体包括： 根据所述夹杂物切片厚度和参数 n， 通过如下公式计算对应所述夹杂物切片所累积的 总厚度： LN=(N‑1)×n×d 其中， LN表示第N张所述夹杂物切片所累积的总厚度， d表示所述夹杂物切片厚度。 7.根据权利要求1所述的夹杂物重构方法， 其特 征在于， 控制切片电流 为1~2nA。 8.根据权利 要求1所述的夹杂物重构方法， 其特征在于， 控制切片电流为1.5A， 每2片所 述夹杂物切片， 获取一张所述夹杂物切片的图像。 9.根据权利要求1所述的夹杂物重构方法， 其特征在于， 所述待观察试样为钢铁铸坯试 样。 10.根据权利要求9所述的夹杂物重构方法， 其特征在于， 所述准备待观察试样， 具体包 括： 将所述钢铁铸坯试样打磨至表面及其相对面相平齐， 并将待分析表面磨抛至抛光态，权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115541643 A 2在夹杂物区域喷镀Pt保护层。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115541643 A 3