(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210436465.6 (22)申请日 2022.04.25 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114546964 A (43)申请公布日 2022.05.27 (73)专利权人 南京品微智能科技有限公司 地址 210012 江苏省南京市雨 花台区宁双 路19号云密城K栋14楼1408室 (72)发明人 陆晓杰　王其高　闵雨轩　 (74)专利代理 机构 南京聚匠知识产权代理有限 公司 323 39 专利代理师 耿英 (51)Int.Cl. G06F 16/172(2019.01) G06F 16/176(2019.01)G06F 16/16(2019.01) G06F 16/36(2019.01) H01L 21/67(2006.01) (56)对比文件 US 2008/0254575 A1,20 08.10.16 CN 10407 7271 A,2014.10.01 周丹 等. 《基 于面阵相机识别生成晶圆图谱 的算法研究》 . 《电子 工业专用设备》 .2021, Ken Chau-Cheung Cheng 等. 《Mac hine Learning-Based Detecti on Method for Wafer Test Induced Defects》 . 《IE EE Transacti ons on Semico nductor Manufacturi ng》 .2021, 审查员 张杨悦 (54)发明名称 半导体先进封装晶圆图谱自动化管理系统 及方法 (57)摘要 本发明公开了一种半导体先进封装晶圆图 谱自动化管 理系统及方法， 该系统包括图谱上传 模块、 图谱文件管理模块、 图谱下载模块、 解析模 块、 图谱防错检验模块和图谱推送模块。 本晶圆 图谱管理系统覆盖半导体先进封装全工艺流程 的图谱管理， 可以实现图谱文件管理、 图谱上传、 图谱下载、 图谱解析、 图谱防错检验等。 通过 WaferMap图谱管理系统， 提高了来料图谱文件控 制、 生产过程图谱、 图谱分发等的可控性和通用 性， 从而实现晶圆封装生产过程的图谱管理全流 程系统化。 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 CN 114546964 B 2022.07.12 CN 114546964 B 1.一种半导体先进封装晶圆图谱自动化管理系统， 其特 征在于： 包括： 图谱上传模块， 通过FTP地址或共享文件夹方式将包括晶圆初始图谱、 控制图谱、 各作 业站点图谱文件在内的图谱文件上传至指定目录下存储； 其中， 根据晶圆原片对应的晶圆 初始图谱得到对应的控制图谱， 使控制图谱参 考点位、 图谱大小与初始图谱匹配； 图谱文件管理模块， 实时监控图谱上传模块上传的FTP地址或共享文件夹中的图谱文 件， 由解析模块将图谱文件解析成可识别数据流， 通过消息传送中间件上传至图谱防错检 验模块， 检验后由图谱上传模块将原地址中的文件转移到另一个目录存 储； 解析模块， 根据晶圆初始图谱内容定义解析规则， 定义晶圆初始图谱每一行、 每一列的 属性名和属性值； 读取监控的FTP或共享文件夹中的图谱文件的每一行、 每一列内容， 与定 义的解析规则进行匹配后得到新的属性 值， 形成完整的可识别数据流； 图谱下载模块， 从图谱文件管理模块中下 载控制图谱或作业站点产生的图谱文件； 图谱防错检验模块， 将当前作业站点产生的图谱文件或者通过图谱下载模块下载的前 一作业站点产生的图谱文件与控制图谱比对检验， 将 检验通过后生效的当前作业站 点图谱 文件由图谱上传模块上传存 储； 图谱推送模块， 将选中的生效存储的作业站点图谱文件输出推送给设定的初始化的图 谱接收地址 。 2.一种半导体先进封装晶圆图谱自动化管理方法， 其特 征在于： 包括以下步骤： 步骤一： 根据晶圆原片对应的晶圆初始图谱得到对应的控制图谱， 使控制图谱参考点 位、 图谱大小与初始图谱匹配； 通过FTP地址或共享文件夹方式将包括初始图谱、 控制图谱 在内的图谱文件上传至指定目录下存 储； 步骤二： 通过解析程序， 实时监控FTP地址或共享文件夹中的图谱文件， 按照对应地址 的解析规则将图谱文件解析成可识别数据流， 通过消息传送中间件rabbitMq上传至图谱防 错检验模块， 解析后将原地址中的文件转移到另一个目录存 储； 所述解析规则为： 根据晶圆初始图谱文件内容定义解析规则， 定义晶圆初始图谱文件每一行、 每一列的 属性名和 属性值； 解析时， 读取监控的FTP地址或共享文件夹中的图谱文件， 识别该图谱文件的每一行、 每一列内容， 与定义的解析规则进行匹配后得到新的属性 值， 形成完整的可识别数据流； 步骤三： 依次进行一个或多个站点测试设备的作业， 各站点测试设备作业 时， 对应产生 当前作业站 点图谱文件， 过账出站时上传该作业站 点图谱文件， 并执行步骤二， 对解析的图 谱文件采用定义的事 件规则进行检验； 将检验通过后产生的该作业站点图谱文件生效存 储； 直到最后一个站点测试设备作业完成； 步骤四： 将选 中的生效存储的作业站点图谱文件输出推送给设定的初始化的图谱接收 地址。 3.根据权利要求2所述的一种半导体先进封装晶圆图谱自动 化管理方法， 其特征在于： 图谱文件上传至指定目录下存储时按照图谱文件格式、 客户和厂别的信息进行区分， 分别 存放在不同FTP地址或共享文件夹 。 4.根据权利要求2所述的一种半导体先进封装晶圆图谱自动 化管理方法， 其特征在于：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114546964 B 2图谱文件按照晶圆标识号 waferID或图谱类型进行多次多版本并存。 5.根据权利要求4所述的一种半导体先进封装晶圆图谱自动 化管理方法， 其特征在于： 图谱类型为图谱文件的来源方式， 该来源方式是站 点测试设备上传而来的图谱文件或是初 始晶圆图谱文件。 6.根据权利要求2所述的一种半导体先进封装晶圆图谱自动 化管理方法， 其特征在于： 步骤三中， 所述站点测试设备为AOI测试设备和/或CP电路测试设备。 7.根据权利要求6所述的一种半导体先进封装晶圆图谱自动 化管理方法， 其特征在于： 步骤三中， 根据晶圆的封装工艺需要， AOI测试设备为一台或多台； CP电路测试设备为一台 或多台。 8.根据权利要求2所述的一种半导体先进封装晶圆图谱自动 化管理方法， 其特征在于： 步骤三中， 所述定义的事件规则检验内容包括与控制图谱比较的大小检查、 参考点位是否 坏品failbin检验、 图谱文件是否偏移检验、 与控制图谱基础信息一 致性检验和良率检验。 9.根据权利要求7所述的一种半导体先进封装晶圆图谱自动 化管理方法， 其特征在于： 所述站点测试设备为CP电路测试设备时， 站点产生的CP图谱文件支持图谱点位的BIN位等 级的修改调整， 该BI N位等级表示CP电路测试设备定义的测试等级。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114546964 B 3