(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210335275.5 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 上海哥瑞利软件股份有限公司 地址 201199 上海市闵行区园文路28号318 室 (72)发明人 叶宇晖　何涛　 (74)专利代理 机构 上海申浩 律师事务所 31280 专利代理师 田敏 (51)Int.Cl. B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 半导体12寸MES系统 中FOUP Clean的自动化 流程设计方法及系统 (57)摘要 本发明公开了一种基于半导体12寸MES系统 的FOUP Clean的自动化流程 设计系统， 包 括载具 管理模块(CMS)、 搬运模块(GTM)、 自动化模块 (AUTO)， 所述载具管理模块管理载具的状态， 包 括载具的使用次数以及载具的使用时间， 所述搬 运模块负责与载具管理模块(CMS)协作在载具状 态Dirty(需要清洗)时驱动载具的搬运， 所述自 动化模块负责与自动化软件(EAP)协作把载具清 洗在设备上自动执行起来。 本发 明采用以载具为 中心的自动化异常处理流程设计， 能够100％达 到自动化清洗流程标准。 在本发明使用之后， 12 寸半导体生产无尘室可以达到 “关灯”效果， 无尘 室内不需要操作员。 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 CN 114850162 A 2022.08.05 CN 114850162 A 1.一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设计系统， 其特征在于， 包 括载具管理模块、 搬运模块、 自动化模块， 所述载具管理模块管理载具的状态， 包括载具 的 使用次数以及载具的使用时间， 所述搬运模块负责与载具管理模块协作在载具状态Dirty 时驱动载具的搬运， 所述自动化模块负责与自动化软件协作把载具清洗在设备上自动执行 起来。 2.根据权利要求1所述的一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设 计系统， 其特 征在于， 所述自动化模块包 含FOUP CLEAN的接口供EAP使用。 3.一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设计方法， 其特征在于， 包 括如下步骤： (1)载具放上端口后， EAP发送STARTCLEAN到 MES的自动化模块； (2)MES把载具状态改变为清洗中； (3)清洗完成后， 设备通知EAP清洗 完成， EAP发送ENDCLEAN到 MES的自动化模块； (4)异常发生时， 针对载 具进行暂停处 理； (5)利用M ES系统和EAP系统的接口细节。 4.根据权利要求3所述的一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设 计方法， 其特 征在于， 利用M ES系统和EAP系统的接口细节， EAP发送M ES.STARTCLEAN到 MES。 5.根据权利要求3所述的一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设 计方法， 其特 征在于， 利用M ES系统和EAP系统的接口细节， EAP发送M ES.ENDCLEAN到 MES。 6.根据权利要求3所述的一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设 计方法， 其特 征在于， 利用M ES系统和EAP系统的接口细节， EAP发送M ES.HOLDCAR RIER到MES。 7.一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设计方法， 其特征在于， 采 用权利要求1中的系统。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114850162 A 2半导体12寸MES系统中FOUP  Clean的自动化流程设计方 法及 系统 技术领域 [0001]本发明涉及半导体器件清洗领域， 具体涉及一种基于半导体12寸MES系统的FOUP   Clean的自动化 流程设计方法。 背景技术 [0002]在半导体12寸晶圆生产的过程中， FOUP  Clean为清洗载具的设备(比如EET   VFC301&PSTH  MTCM‑830型号的设备)。 在清洗载具之前， 需要确保载具内没有晶圆， 所以清 洗过程中载具内是 空的。 在12 寸的生产系统里， 需要达到所有 过程全自动， 而 大部分的场景 里， 载具里都有包含晶圆批次， 自动化流程都是围绕批次进行管控， 而没有批次的FOUP   Clean则无法使用批次场景进行管控。 哥瑞利 软件股份有限公司设计一套以载具为管控的 流程将12寸晶圆工厂的FOUP  Clean控制自动化。 [0003]现有12寸晶圆生产系统以批次为管理中心， 对空载具的自动化清洗流程没有对应 的标准， 有些工厂保留了人工清洗的操作， 这种方式无法达成100％全自动(Full  Auto)的 关灯工厂标准。 发明内容 [0004]本发明提供了一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设计方 法， 是一种以载 具为中心的自动化异常处 理流程。 [0005]一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设计系统， 包括载具管 理模块(CMS)、 搬运模块(GTM)、 自动化模块(AUTO)， 所述载具管理模块管理载具的状态， 包 括载具的使用次数以及载具的使用时间， 所述搬运模块负责与载具管理模块(CMS)协作在 载具状态Dirty(需要清洗)时驱动载具的搬运， 所述自动化模块负责与自动化软件(EAP)协 作把载具清洗在设备 上自动执 行起来。 [0006]作为优选实施例， 所述自动化模块包 含FOUP CLEAN的接口供EAP使用。 [0007]一种基于半导体12寸MES系统的FOUP  Clean的自动化流程设计方法， 包括如下步 骤： [0008](1)载具放上端口后， EAP发送STARTCLEAN到MES的自动化模块， 此步骤作用在 于对 载具的开始 清洗同步到 MES系统； [0009](2)MES把载具状态改变为清洗中， 此步骤作用在于对载 具的状态呈现给用户； [0010](3)清洗完成后， 设备通知EAP清洗完成， EAP发送ENDCLEAN到MES的自动化模块， 此 步骤作用在于对载 具的完成清洗同步到 MES系统； [0011](4)异常发生时， 针对载具进行暂停处理， 此步骤作用在于对载具清洗的异常进行 自动暂停管理， 防止异常载 具重复清洗； [0012](5)利用MES系统和EAP系统的接口细节， 接口细节的作用在于系统之间的固定协 议内容。说　明　书 1/4 页 3 CN 114850162 A 3