(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222004534.4 (22)申请日 2022.08.01 (73)专利权人 史巴克电子 （苏州） 有限公司 地址 215500 江苏省苏州市 常熟市虞山高 新技术产业园三 亚路21号1幢 (72)发明人 程泽玉　 (51)Int.Cl. B65G 47/90(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装 置 (57)摘要 本实用新型涉及微电子材料技术领域， 且公 开了一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装 置， 包括顶板、 移动装置、 升降装置以及夹取装 置， 移动装置安装在顶板内部， 升降装置安装在 移动装置下方， 夹取装置安装在升降装置底部。 该用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 通过 在底板底部安装槽内设置多个夹片， 在夹片上开 设与第二螺纹杆相适配的螺纹孔， 使用时可通过 安装在底板侧壁的第二驱动电机转动第二螺纹 杆， 带动夹片的移动， 由于第二螺纹杆上的外螺 纹交错相反设置， 使 得螺纹杆转动时第一夹片和 第二夹片可进行夹取或松开操作。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217675460 U 2022.10.28 CN 217675460 U 1.一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 包括顶板(1)、 移动装置、 升降装置以 及夹取装置， 其特征在于， 移动装置安装在顶板(1)内部， 升降装置安装在移动装置下方， 夹 取装置安装在升降装置底部； 所述顶板(1)内部水平开设有 T形槽(2)， T形槽(2)底部贯 穿顶板(1)底壁； 所述移动装置包括第一固定装置(6)、 第一驱动电机(7)、 第一螺纹杆(5)以及与T形槽 (2)相适配的T形块(3)， 第一固定装置(6)安装在顶板(1)一端， 第一固定装置(6)内部安装 有第一驱动电机(7)， 第一 驱动电机(7)输出端通过联轴器固定有第一螺纹杆(5)， T形块(3) 上开设有与第一螺纹杆(5)相适配的第一螺纹孔(4),第一螺纹杆(5)远离第一驱动电机(7) 的一端贯 穿第一螺纹孔(4)并与T形槽(2)的侧壁 通过轴承转动连接； 所述升降装置包括液压缸(9)、 液压伸缩杆(10)， T形块(3)底部固定有连接板(8)， 连接 板(8)底部固定有液压缸(9)， 液压缸(9)底部 输出端安装有液压伸缩杆(10)； 所述夹取装置包括底板(11)、 第二固定装置(12)、 第二驱动电机(13)、 第二螺纹杆(16) 以及多个夹片(15)， 底板(11)底部开设有安装槽(14)， 底板(11)侧壁安装有第二固定装置 (12)， 第二驱动电机(13)安装在第二固定装置(12)内部， 第二驱动电机(13)输出端通过联 轴器固定有第二螺纹杆(16)， 第二螺纹杆(16)远离第二驱动电机(13)的一端贯穿安装槽 (14)并与安装槽(14)的侧壁 通过轴承转动连接； 所述第二螺纹杆(16)上交错开设有多个第一外螺纹(17)以及多个第二外螺纹(18)， 多 个第一外螺纹(17)均与多个第二外螺纹(18)螺纹方向相反， 多个夹片(15)包括多个第一夹 片(1501)以及多个第二夹片(1502)， 多个第一夹片(1501)侧壁顶部均开设有与第一外螺纹 (17)相适配的第一螺纹孔， 多个第二夹片(1502)侧壁顶部均开设有与第二外螺纹(18)相适 配的第二螺纹孔， 多个第一夹片(1501)与第二外螺纹(18)交错螺纹连接在第二螺纹杆(16) 上。 2.根据权利要求1所述的用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 其特征在于， 第 一固 定装置(6)包括壳体(26)以及延伸板(21)， 延伸板(21)设有两个， 且两个延伸板(21)对称焊 接在壳体( 26)一端的两侧， 两个延伸板( 21)上均开设有多个第一固定螺纹孔( 22)， 壳体 (26)一侧壁 开设有电机固定 槽(23)， 壳体(26)对称两侧壁均开设有 多个散热槽(24)。 3.根据权利要求2所述的用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 其特征在于， 第 二固 定装置(12)与第一固定装置(6)结构相同， 且多个散热槽(24)均 与电机固定 槽(23)相连通。 4.根据权利要求1所述的用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 其特征在于， 安装槽 (14)内部固定有两个均与第二螺纹杆(16)相平行的导向杆(19)； 两个导向杆(19)的两端分 别与安装槽(14)的两侧壁相固定， 多个夹片(15)上均开设有与导向杆(19)相适配的导向 孔， 夹片(15)与导向杆(19)滑动连接 。 5.根据权利要求1所述的用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 其特征在于， 夹片 (15)侧壁均粘接有橡胶垫(20)。 6.根据权利要求1所述的用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 其特征在于， 多个夹 片(15)均安装在安装槽(14)内部 。 7.根据权利要求1所述的用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 其特征在于， 顶板 (1)顶部开设有 多个第二固定 螺纹孔(25)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217675460 U 2一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及微电子材料技术领域， 具体为一种用于微电子材料生产的便捷式 夹取装置 。 背景技术 [0002]微电子材料主要是大直径(400mm)硅单晶及片材技术， 大直径(200mm)硅片外延技 术， 150mmGaAs和100mmI  nP晶片及其以它们为基的 Ⅲ一V族半导体超晶格、 量子阱异质结构 材料制备技 术， GeSi合金和宽禁带半导体材 料等。 [0003]在微电子材料生产中， 目前市场上的夹取装置多为单一夹片， 每次只能夹取单一 微电子材料， 导致生产效率低， 且多 数夹取装置只能提供建议的夹取升降操作， 并不能实现 水平位移， 使用不便 。 实用新型内容 [0004](一)解决的技 术问题 [0005]针对上述背景技术中现有技术的不足， 本实用新型的目的在于提供一种用于微电 子材料生产的便捷式夹取装置， 以解决上述背景技术中提出的目前市场上的一些夹取装 置， 存在多为单一夹片， 每次只能夹取单一微电子材料， 导致生产效率低， 且多数夹取装置 只能提供建议的夹取升降操作， 并不能实现水平位移， 使用不便的问题。 [0006](二)技术方案 [0007]为实现以上目的， 本实用新型通过以下技 术方案予以实现： [0008]一种用于微电子材料生产的便捷式夹取装置， 包括顶板、 移动装置、 升降装置以及 夹取装置， 移动装置安装在顶板内部， 升降装置安装在移动装置下方， 夹取装置安装在升降 装置底部； [0009]顶板内部水平开设有 T形槽， T形槽底部贯 穿顶板底壁； [0010]移动装置包括第一固定装置、 第一驱动电机、 第一螺纹杆以及与T形槽相适配 的T 形块， 第一固定装置安装在顶板一端， 第一固定装置内部安装有第一驱动电机， 第一驱动电 机输出端通过联轴器固定有第一螺纹杆， T形块上开设有与第一螺纹杆相适配的第一螺纹 孔,第一螺纹杆远离第一驱动电机的一端贯穿第一螺纹孔并与T形槽的侧 壁通过轴承转动 连接； [0011]升降装置包括液压缸、 液压伸缩杆， T形块底部固定有连接板， 连接板底部固定有 液压缸， 液压缸底部 输出端安装有液压伸缩杆； [0012]夹取装置包括底板、 第二固定装置、 第二驱动电机、 第二螺纹杆以及多个夹片， 底 板底部开设有安装槽， 底板侧 壁安装有第二固定装置， 第二驱动电机安装在第二固定装置 内部， 第二驱动电机输出端通过联轴器固定有第二螺纹杆， 第二螺纹杆远离第二驱动电机 的一端贯 穿安装槽并与安装槽的侧壁 通过轴承转动连接； [0013]第二螺纹杆上交错开设有多个第一外螺纹以及多个第二外螺纹， 多个第一外螺纹说　明　书 1/4 页 3 CN 217675460 U 3