(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211010654.3 (22)申请日 2022.08.23 (71)申请人 沈阳市第四人民医院 地址 110031 辽宁省沈阳市皇姑区黄河南 大街20号 (72)发明人 胡莹　刘驰　徐丽　杨爽　谢致宇　 张贺　 (74)专利代理 机构 北京京华知联专利代理事务 所(普通合伙) 11991 专利代理师 耿浩 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/84(2006.01) G01N 23/2251(2018.01) (54)发明名称 一种用于微流控芯片的多角度视觉检测装 置及其检测方法 (57)摘要 本发明属于微机电系统领域， 涉及一种用于 微流控芯片的多角度视觉检测装置及其检测方 法， 包括环形底座和多角度检测调节臂， 多角度 检测调节臂设置有多个， 多个多角度检测调节臂 通过调节臂进入通道沿周向等距离设置在环形 底座上， 多角度检测调节臂包括转接头固定螺 栓、 卡具转接头和芯片卡具， 卡具转接头一侧与 转接头固定螺栓铰接并通过螺栓固定， 卡具转接 头的另一侧与芯片卡具铰接， 且卡具转接头能够 相对转接头固定螺栓沿竖直方向旋转。 本发明的 优点： 与常见金相显微镜结合使用后， 通过装置 上的多角度检测调节臂， 可有效拓展显微镜观测 范围和观测角度， 实现对结构复杂， 深宽比较大 的微流控芯片或其他微纳尺度器件进行多角度 视觉检测。 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 CN 115479892 A 2022.12.16 CN 115479892 A 1.一种用于微流控芯片的多角度视觉检测的卡接机构， 其特征在于： 包括环形底座(1) 和多角度检测调节 臂(8)， 所述环型底座(1)开设有调节 臂进入通道(101)； 所述多角度检测调节臂(8)设置有多个， 多个所述多角度检测调 节臂(8)通过调 节臂进 入通道(101)沿周向等距离设置在环形底座(1)上， 所述多角度检测调节臂(8)包括转接头 固定螺栓(3)、 卡具转接头(4)和芯片卡具(2)， 所述转接头固定螺栓(3)与调节臂进入通道 (101)螺纹连接， 且 所述转接头固定螺栓(3)的一端固定在调节臂进入通道(101)的外侧， 转 接头固定螺栓(3)的另一端伸入所述调节臂进入通道(101)并延伸至环形底座(1)内部； 所 述卡具转接头(4)设置在环型底座(1)内侧， 所述卡具转接头(4)一侧与转接头固定螺栓(3) 铰接并通过螺栓固定， 卡具转接头(4)的另一侧与芯片卡具(2)铰接并通过螺栓固定， 且所 述卡具转接 头(4)能够相对转接 头固定螺栓(3)沿竖直方向旋转。 2.根据权利要求1所述的用于微流控芯片的多角度视觉检测的卡接机构， 其特征在于： 还包括环形LED灯带(7)， 所述环形LED灯带(7)设置有多个LED灯(702)， 所述环形灯带(7)设 置在所述环型底座(1)上； 所述环型底座(1)上还设置有 进液软管固定槽(103)。 3.根据权利要求2所述的用于微流控芯片的多角度视觉检测的卡接机构， 其特征在于： 所述芯片卡具(2)包括芯片卡槽、 芯片固定件(201)和卡具臂(203)； 所述芯片卡槽为开口向 内的槽体结构； 所述芯片固定件(201)包括芯片固定盘(2011)、 螺纹杆和芯片固定扳手 (2012)， 所述芯片固定盘(2011)位于芯片卡槽的内部， 所述芯片固定扳手(2012)位于芯片 卡槽外部； 所述螺纹杆与芯片卡槽的顶板或底板螺纹连接， 且螺纹杆 的一端与芯片固定盘 (2011)连接， 螺纹杆的另一端与芯片固定 扳手(2012)连接； 所述卡具臂(203)的一端与芯片卡槽的侧壁 固定连接， 所述卡具臂(203)的另一端与 卡 具转接头(4)通过螺 栓固定连接 。 4.一种用于微流控芯片的多角度视觉检测装置， 其特征在于： 包括扫描电子显微镜和 权利要求1 ‑3任一项所述的卡接 机构， 所述扫描电子显微镜包括支撑座(9)、 载物台(11)、 物镜(15)和目镜(17)， 所述载物台 开设有载物台透光 孔(1102)， 所述载物台透光 孔(1102)设置在载物台(1 1)的中心位置； 所述环形底座(1)设置在载物台(1 1)的顶面上。 5.根据权利要求4所述的用于微流控芯片的多角度视觉检测装置， 其特征在于： 还包括 连接螺栓(104)， 所述环型底座(1)开设有多个底座固定螺栓孔(102)， 所述环形LED灯带(7) 放置在环型底座(1)的顶面上， 所述环形LED灯带(7)开设有灯带固定孔(702)， 且所述灯带 固定孔(702)与底座固定螺栓孔(102)在同一轴线上， 所述环形LED灯带(7)和环型底座(1) 通过接螺栓(104)与载物台(1 1)固定连接 。 6.一种使用权利要求4或5的用于微流控芯片的多角度视觉检测装置检测微流控器件 的方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： 步骤1： 打开扫描电子 显微镜的照明系统， 根据放大倍数要求选用物镜(15)； 步骤2： 将待检测微 流控芯片(6)通过卡接 机构固定在载物台(1 1)的中心位置； 步骤3： 观测水平面上待检测微 流控芯片(6)的不同位置； 步骤4： 调整 待检测微 流控芯片(6)的角度并进行观测；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115479892 A 2步骤5： 重复步骤4， 在待检测的微流控芯片(6)观测完毕后， 关闭扫描电子显微镜， 取下 待检测的微 流控芯片(6)。 7.根据权利要求6所述的用于微流控芯片的多角度视觉检测装置， 其特征在于， 所述步 骤3中观测水平面上微 流控芯片(6)的不同位置， 包括以下步骤： 步骤A： 旋转扫描电子显微镜的粗调节器(13)使物镜(15)下降并靠近待检测微流控芯 片(6)的表面， 当视场亮度增强时改用细调节器(12)， 直到物像清晰为止； 步骤B： 调节电子 显微镜的反光镜(10)位置； 步骤C： 调 节扫描电子显微镜的载物台移动 旋钮(16)， 观测水平面上待检测微流控芯片 (6)的不同位置， 并选择 所需的视场拍照。 8.根据权利要求6所述的用于微流控芯片的多角度视觉检测装置， 其特征在于， 所述步 骤4中调整微 流控芯片(6)的角度并进行观测包括以下步骤： 旋转扫描电子显微镜的粗调节器(13)使物镜(15)下降并靠近待检测微流控芯片(6)的 表面， 当视场亮度增强时改用细调节器(12)， 直到物像清晰为止； 步骤B： 调节电子显微镜的 反光镜(10)位置； 步骤C： 调 节扫描电子显微镜的载物台移动 旋钮(16)， 观测水平面上待检测微流控芯片 (6)的不同位置， 并选择视场拍照。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115479892 A 3