(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211083155.7 (22)申请日 2022.09.06 (71)申请人 上海御微半导体技 术有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区中国(上海) 自由贸易试验区芳春路40 0号1幢3层 (72)发明人 江齐　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 骆文欣 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种多轴运动台检测系统 (57)摘要 本发明实施例提供一种多轴运动台检测系 统， 包括： 相机， 采集检测物的 图像； 图像采集卡， 与相机电连接， 向相机发送采集信号， 相机接收 采集信号进行图像采集； 载物台， 位于相机的成 像视野内， 包括运动模组， 运动模组带动检测物 在XY平面内移动和/或转动； Z轴模组， 带动相机 沿Z方向移动， Z方向垂直于XY平面； 至少两个单 轴驱动器， 单轴驱动器驱动Z轴模组或者运动模 组运动； 同步控制板卡， 接收至少两个单轴驱动 器发出的位置触发信号， 将位置触发信号传输至 图像采集卡， 控制图像采集卡输出采集信号至相 机； 处理器。 本发明实施例提供一种多轴运动台 检测系统， 以实现至少两个运动轴的硬件同步触 发， 采集速率快， 无延时， 同步 性高。 权利要求书2页 说明书11页 附图6页 CN 115436380 A 2022.12.06 CN 115436380 A 1.一种多轴运动台检测系统， 其特 征在于， 包括： 相机， 采集检测物的图像； 图像采集卡， 与所述相机电连接， 向所述相机发送采集信号； 所述相机接收所述采集信 号进行图像采集； 载物台， 位于所述相机的成像视野内， 包括运动模组， 所述运动模组带动 检测物在XY平 面内移动和/或转动； Z轴模组， 带动所述相机沿Z方向移动， 所述Z方向垂直于所述XY平面； 至少两个单轴驱动器， 所述单轴驱动器驱动所述Z轴模组或者所述 运动模组运动； 同步控制板卡， 接收至少两个所述单轴驱动器发出的位置触发信号， 将所述位置触发 信号传输 至所述图像采集 卡， 控制所述图像采集 卡输出所述采集信号至所述相机； 处理器， 与所述图像采集 卡、 单轴驱动器和同步控制板卡均电连接 。 2.根据权利要求1所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述运动模组包括Y轴模 组和/或T轴模组， 所述Y轴模组带动所述检测物在Y方向运动， 所述T轴模组带动所述检测物在所述XY平 面内旋转， 所述Y方向平行于所述XY平面； 所述单轴驱动器包括Z轴驱动 器、 Y轴驱动 器和/或T轴驱动 器， 所述Z轴驱动 器驱动所述 Z轴模组运动， 所述Y轴驱动器驱动所述Y轴模组运动， 所述T轴驱动器驱动所述T轴模组运 动； 所述同步控制板卡接收所述Z轴驱动器、 所述Y轴驱动器和/或所述T轴驱动 器发出的位 置触发信号。 3.根据权利要求2所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述运动模组还包括X轴 模组； 所述X轴模组带动所述检测物在X 方向运动； 所述单轴驱动器还 包括X轴驱动器； 所述同步控制板卡接收所述X轴驱动器发出的位置触发信号。 4.根据权利要求1所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述同步控制板卡包括微 控制器、 第一输入接口单元、 第二输入接口单元、 第一开关单元、 第二开关单元和第一输出 接口单元； 所述第一输入接口单元与至少两个所述单轴驱动器电连接， 所述第 一输出接口单元与 所述图像采集 卡的输入接口电连接； 所述第一输入接口单元与第一输出接口单元之间通过所述第一开关单元和所述第二 开关单元电连接； 所述第二输入接口单 元与所述处 理器电连接； 所述第一 开关单元和所述第二 开关单元均由所述 微控制器控制通断。 5.根据权利要求4所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述同步控制板卡还包括 第三输入接口单元和 第三开关单元， 所述第三输入接口单元与所述图像采集卡的输出口电 连接， 所述第三 开关单元连接于光源， 所述第三 开关单元由所述 微控制器控制通断。 6.根据权利要求5所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述第 三输入接口单元为 光源输入接口， 所述第三开关单元至少包括两个开关， 所述开关数量为所述光源出入接口权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115436380 A 2数量的两倍。 7.根据权利要求5所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述第 三输入接口单元和 第三开关单元均为两个。 8.根据权利要求4所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述第 一输入接口单元至 少包括两个轴输入接口， 分别电连接 于至少两个所述单轴驱动器。 9.根据权利要求8所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述第 一开关单元至少包 括两个开关， 所述 开关数量与所述单轴驱动器数量 一致。 10.根据权利要求4所述的多轴运动台检测系统， 其特征在于， 所述同步控制板卡还包 括电源输入接口和程序烧录 输入接口。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115436380 A 3