(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221100971.X (22)申请日 2022.05.10 (73)专利权人 江苏瑞鑫集成电路 设备有限公司 地址 224100 江苏省盐城市大丰区刘庄镇 工业集中区 (72)发明人 商富彬　 (74)专利代理 机构 盐城创佳智科专利代理事务 所(普通合伙) 32476 专利代理师 乔岳标 (51)Int.Cl. F16F 15/023(2006.01) F16F 15/067(2006.01) F16F 15/08(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于精密仪 器的防微震基台 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于精密仪器的防 微震基台， 涉及精密设备技术领域， 包括底 座， 所 述底座顶部设置有精密仪器本体， 所述底座顶部 位于中间的位置开设有凹槽， 且凹槽底部位于中 间的位置固定连接有气压杆， 所述凹槽底部固定 连接有多个第二弹簧， 多个所述第二弹簧环绕在 气压杆外部， 多个所述第二弹簧高度与气压杆一 致， 多个所述第二弹簧和气压杆顶部固定连接有 同一个托板， 所述托板顶部与精密仪器本体之间 通过螺栓连接。 本实用新型在精密仪器本体工作 时， 地表产生的微震传递给底座， 在底座上被第 二弹簧的弹性和气压杆的伸缩性吸收， 使的地表 产生的竖直方向上的震动被完全吸收， 使的精密 仪器本体不受地表微震的影 响， 能够继续正常的 作业。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217683028 U 2022.10.28 CN 217683028 U 1.一种用于精密仪器的防微震基台， 包括底座 （2） ， 所述底座 （2） 顶部设置有精密仪器 本体 （3） ， 其特征在于， 所述底座 （2） 顶部位于中间的位置开设有凹槽 （12） ， 且凹槽 （12） 底部 位于中间的位置固定连接有气压杆 （11）， 所述凹槽 （12） 底部固定连接有多个第二弹簧 （10） ， 多个所述第二弹簧 （10） 环绕在气压杆 （11） 外部， 多个所述第二弹簧 （10） 高度与气压 杆 （11） 一致， 多个所述第二弹簧 （10） 和气压杆 （11） 顶部固定连接有同一个托板 （7） ， 所述托 板 （7） 顶部与精密仪器本体 （3） 之间通过螺 栓连接。 2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的防微震基台， 其特征在于， 所述托板 （7） 两侧均固定连接有侧板 （8） ， 所述底座 （2） 顶部 两侧均开设有侧槽 （5） 。 3.根据权利要求2所述的一种用于精密仪器的防微震基台， 其特征在于， 两个所述侧槽 （5） 两侧内壁均固定连接有多个第一弹簧 （6） ， 且第一弹簧 （6） 位于同一侧槽 （5） 内部的相对 一端固定连接有收纳板 （9） 。 4.根据权利要求3所述的一种用于精密仪器的防微震基台， 其特征在于， 两个所述侧板 （8） 底部均固定连接有插 入板 （13） ， 且 插入板 （13） 设置为曲折形状。 5.根据权利要求4所述的一种用于精密仪器的防微震基台， 其特征在于， 两个所述收纳 板 （9） 顶部开设有插 入槽， 且插入槽大小与插 入板 （13） 相适配。 6.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的防微震基台， 其特征在于， 所述底座 （2） 底部外壁固定连接有底板 （1） ， 且底板 （1） 为橡胶材质。 7.根据权利要求6所述的一种用于精密仪器的防微震基台， 其特征在于， 所述底板 （1） 底部开设有 多个弧槽 （4） 。 8.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的防微震基台， 其特征在于， 所述底座 （2） 设置为顶部表面积小于底部表面积。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217683028 U 2一种用于精密仪器的防微震基台 技术领域 [0001]本实用新型 涉及精密设备技 术领域， 尤其涉及一种用于精密仪器的防微震基台。 背景技术 [0002]基座作为精密仪器的支撑基础和安装平台， 通过设有钢铁配件与精密仪器固定连 接， 其稳固性和尺 寸精度直接影响仪器的工作 精度， 对投入生产后的产品质量、 生产安全都 有很大的影响， 特别是在半导体和光电等对所用仪器的精密度要求极高行业中。 [0003]现有技术中对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的基座包括底座和精密仪 器本体， 精密仪器本体固定安装在底座顶部 。 [0004]但是， 现有的精密仪器的基台在实际使用中， 无法对精密仪器本体起到很好的防 微震效果， 导致精密仪器本体在工作过程中由于微震导致精密仪器本体无法正常工作， 因 此， 亟需设计一种用于精密仪器的防微震基台来 解决上述问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种用于精密仪 器的防微震基台。 其优点在于在精密仪器本体工作时， 地表产生的微震传递给底座， 在底 座 上被第二 弹簧的弹性和气 压杆的伸缩性吸收， 使的地表产生的竖直方向上的震动被完全吸 收， 使的精密仪器本体不受地表微震的影响， 能够继续 正常的作业。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0007]一种用于精密仪器的防微震基台， 包括底座， 所述底座顶部设置有精密仪器本体， 所述底座顶部位于中间的位置开设有凹槽， 且凹槽底部位于中间的位置固定连接有气压 杆， 所述凹槽底部固定连接有多个第二弹簧， 多个所述第二 弹簧环绕在气 压杆外部， 多个所 述第二弹簧高度与气压杆一致， 多个所述第二弹簧和气压杆顶部固定连接有同一个托板， 所述托板顶部与精密仪器本体之间通过螺 栓连接。 [0008]通过以上技术方案： 在精密仪器本体工作时， 地表产生的微震传递给底座， 在底座 上被第二 弹簧的弹性和气 压杆的伸缩性吸收， 使的地表产生的竖直方向上的震动被完全吸 收， 使的精密仪器本体不受地表微震的影响， 能够继续 正常的作业。 [0009]本实用新型进一步设置为， 所述托板两侧均固定连接有侧板， 所述底座顶部两侧 均开设有侧槽 。 [0010]通过以上技术方案： 能够将精密仪器本体收纳板连接， 便于后续收纳板对精密仪 器本体缓解水平方向上的微震。 [0011]本实用新型进一步设置为， 两个所述侧槽两侧内壁均固定连接有多个第一弹簧， 且第一弹簧 位于同一侧槽内部的相对一端固定连接有收纳板 。 [0012]通过以上技术方案： 能够利用第一弹簧的弹性使得水平方向的微震被缓冲进而被 吸收， 确保精密仪器本体不会受到水平方向上的微震。 [0013]本实用新型进一步设置为， 两个所述侧板底部均 固定连接有插入板， 且插入板设说　明　书 1/3 页 3 CN 217683028 U 3