(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221072989.3 (22)申请日 2022.05.07 (73)专利权人 大连地拓 重工有限公司 地址 116000 辽宁省大连市普 兰店区海 湾 工业区振兴街16号 (72)发明人 马跃　尹波　孙乐　 (51)Int.Cl. F16F 15/08(2006.01) F16F 15/03(2006.01) F16M 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于精密仪 器的磁浮隔振基座 (57)摘要 本实用新型提供了一种用 于精密仪器的磁 浮隔振基座， 包括面板和支撑架， 所述面板底部 连接有橡胶板， 所述橡胶板底部连接有支撑板， 所述支撑板底部连接有支撑框体， 所述支撑框体 内部中间位置安装有支撑柱， 所述支撑框体四周 及底部的中间位置安装有永磁体， 所述支撑架内 部与永磁体对应位置安装有电磁铁， 所述支撑板 底部还安装有速度传感器和位移传感器， 所述支 撑架内部还安装有控制器。 本实用新型结构简 单， 在垂直和水平三个自由度方向上都具有较小 的刚度， 系统在垂向和水平方向上的固有频率能 现实小于 0.5Hz。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 217713497 U 2022.11.01 CN 217713497 U 1.一种用于精密仪器的磁浮隔振基座， 包括面板和 支撑架， 其特征在于， 所述面板底部 连接有橡胶板， 所述橡胶板底部连接有支撑板， 所述支撑板底部连接有支撑框体， 所述支撑 框体内部中间位置安装有支撑柱， 所述支撑框体四周及底部的中间位置安装有永磁体， 所 述支撑架内部与永磁体对应位置安装有电磁铁， 所述支撑板底部还安装有速度传感器和位 移传感器， 所述支撑架内部还安装有控制器。 2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的磁浮隔振基座， 其特征在于， 所述面板、 支撑板均有铝合金板制成矩形 结构。 3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的磁浮隔振基座， 其特征在于， 所述支撑架 由五块铝合金板制成无顶板的矩形框架。 4.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的磁浮隔振基座， 其特征在于， 所述支撑框 体由五块铝合金板制成无顶板的矩形框架。 5.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的磁浮隔振基座， 其特征在于， 所述支撑柱 由不锈钢方 管制成。 6.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的磁浮隔振基座， 其特征在于， 所述控制器 通过电缆与速度传感器、 位移传感器连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217713497 U 2一种用于精密仪器的磁浮隔 振基座 技术领域 [0001]本实用新型 涉及隔振 装置技术领域， 具体是一种用于精密仪器的磁浮隔振基座。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项 核心关键技 术， 对该技 术的研究具有重要的实际意 义与应用价 值。 [0004]在EUV等光刻 机中， 运动台都是处在真空环境中， 而目前市场上常用的气 浮型隔振 器排放的气体会污染真空环境， 而单一的磁浮隔振器存在隔振带窄， 定位 不够精确等问题。 实用新型内容 [0005]实用新型的目的在于提供一种用于精密仪器的磁浮隔振基座， 以解决上述背景技 术中存在的问题。 [0006]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0007]一种用于精密仪器的磁浮隔振基座， 包括面板和支撑架， 所述面板底部连接有橡 胶板， 所述橡胶板底部连接有支撑板， 所述支撑板底部连接有支撑框体， 所述支撑框体内部 中间位置安装有支撑柱， 所述支撑框体四周及底部的中间位置安装有永磁体， 所述支撑架 内部与永磁体对应位置安装有电磁铁， 所述支撑板底部还安装有速度传感器和位移传感 器， 所述支撑架内部还安装有控制器。 [0008]进一步地， 所述面板、 支撑 板均有铝合金板制成矩形 结构。 [0009]进一步地， 所述支撑架由五块铝合金板制成无顶板的矩形框架。 [0010]进一步地， 所述支撑 框体由五块铝合金板制成无顶板的矩形框架。 [0011]进一步地， 所述支撑柱由不锈钢方 管制成。 [0012]进一步地， 所述控制器通过电缆与速度传感器、 位移传感器连接 。 [0013]本实用新型的有益效果 为： [0014]本实用新型主要由铝合金材质制成， 可以很好的屏蔽磁场对生产设备的影响， 垂 直方向上的橡胶板， 具有很好的阻尼效果， 能够实现高频振动的隔振， 并通过磁浮驱动进 行 重力支撑补偿， 垂直方向上能够获得高精度定位， 水平方向上通过四个磁浮驱动装置实现 低频隔振； 本实用新型结构简单， 在垂 直和水平 三个自由度方向上都具有较小的刚度， 系统 在垂向和水平方向上的固有频率能现实小于 0.5Hz。 附图说明 [0015]图1为本实用新型的结构示 意图。说　明　书 1/2 页 3 CN 217713497 U 3