(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210590658.7 (22)申请日 2022.05.27 (71)申请人 深圳信息职业 技术学院 地址 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街 道龙翔大道 2188号 (72)发明人 刘蔚谕　陈华欣　杨源达　李梓莹　 黎万烙　林晓静　林思思　郑树基　 (74)专利代理 机构 深圳市华勤知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44426 专利代理师 隆毅　罗粤 (51)Int.Cl. B23K 26/352(2014.01) B23K 26/064(2014.01) B23K 26/03(2006.01) B23K 26/362(2014.01)B23K 26/70(2014.01) (54)发明名称 基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加 工设备及方法 (57)摘要 本发明公开一种基于红外纳秒和超快紫外 激光的多功能加工设备， 包括： 机座； 工作台， 设 于所述机座上； 红外纳秒激光头， 位于所述工作 台的上方， 用于产生红外纳秒 激光并将照射至待 加工工件上； 紫外飞秒激光头， 位于所述工作台 的上方， 并与所述红外纳秒激光头间隔设置， 用 于产生紫外飞秒激光并将照射至待加工工件上。 本发明所提出的技术方案中， 通过红外纳秒激光 和紫外飞秒激光可实现对于待加工工件的激光 冷加工， 实现激光冷加工时， 激光与待加工工件 的作用时间很短， 热影响区非常小， 得到的加工 截面也较为平整， 从而可以获得较低的表面粗糙 度和较高的表面质量， 进 而提高激光加工质量。 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 CN 114871584 A 2022.08.09 CN 114871584 A 1.一种基于红外纳秒和超快紫外 激光的多功能加工设备， 其特 征在于， 包括： 机座； 工作台， 设于所述机座上， 用于放置待加工 工件； 红外纳秒激光头， 位于所述工作台的上方， 用于产生红外纳秒激光并将其照射至待加 工工件上； 紫外飞秒激光头， 位于所述工作台的上方， 并与所述红外纳秒激光头间隔设置， 用于产 生紫外飞秒激光并将其照射至待加工 工件上； 其中， 所述红外纳秒激光用于对待加工工件表面进行粗加工， 所述紫外飞秒激光用于 对待加工 工件表面进行精细加工 。 2.根据权利要求1所述的基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工设备， 其特征在 于， 所述红外纳秒激光头包括： 红外纳秒激光器， 用于产生红外纳秒激光； 第一激光振镜， 与所述红外纳秒激光器连接， 用于将所述红外纳秒激光器产生的红外 纳秒激光照射至待加工 工件上。 3.根据权利要求2所述的基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工设备， 其特征在 于， 所述第一激光振镜包括依次连接的第一X轴振镜、 第一Y轴振镜和第一Z轴振镜， 所述红 外纳秒激光器所产生的红外纳秒激光， 经由所述第一X轴振镜、 第一Y轴振镜和 第一Z轴振镜 调节出射角度并照射至待加工 工件上。 4.根据权利要求1或2所述的基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工设备， 其特征 在于， 所述 紫外飞秒激光头包括： 紫外飞秒激光器， 用于产生 紫外飞秒激光； 第二激光振镜， 与所述紫外飞秒激光器连接， 用于将所述紫外飞秒激光器产生的紫外 飞秒激光照射至待加工 工件上。 5.根据权利要求4所述的基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工设备， 其特征在 于， 所述第二激光振镜包括依次连接的第二X轴振镜、 第二Y轴振镜和第二Z轴振镜， 所述紫 外飞秒激光器所产生的紫外飞秒激光， 经由所述第二X轴振镜、 第二Y轴振镜和 第二Z轴振镜 调节出射角度并照射至待加工 工件上。 6.根据权利要求4所述的基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工设备， 其特征在 于， 还包括第一旋转机构， 所述第一旋转机构与所述工作台连接， 用于驱动所述工作台沿第 一方向转动。 7.根据权利要求6所述的基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工设备， 其特征在 于， 还包括第二旋转机构， 所述第二旋转机构与所述工作台连接， 用于驱动所述工作台沿第 二方向转动， 所述第二方向与所述第一方向不同。 8.根据权利要求1所述的基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工设备， 其特征在 于， 还包括视觉定位机构， 所述视觉定位机构位于所述工作台的上方， 用于对放置于所述工 作台上的待加工 工件进行定位。 9.根据权利要求1所述的基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工设备， 其特征在 于， 还包括： 冷却装置， 用于对激光加工设备进行散热。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114871584 A 2和/或， 除尘装置， 用于去除激光加工设备加工 工件时所产生的灰尘。 10.一种基于红外纳秒和超快紫外激光的多功能加工方法， 用于激光打标、 纹理加工、 微纳加工和高硬脆材料 的抛光， 其特征在于， 所述基于红外纳秒和超快紫外激光的多功 能 加工方法包括： 获取待加工 工件的位置信息； 根据待加工工件的位置信息， 控制红外纳秒激光照射至待加工工件表面， 以对待加工 工件表面进行 预热处理； 根据待加工工件的位置信息， 控制紫外飞秒激光照射待加工工件表面， 以对待加工工 件表面的微纳米颗粒进行辐射熔融。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114871584 A 3