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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221492874.X (22)申请日 2022.06.15 (73)专利权人 扬州方通电子材 料科技有限公司 地址 225600 江苏省扬州市高邮经济开发 区凌波路86号 (72)发明人 蒋继林 王刚 刘学军  (74)专利代理 机构 苏州国卓知识产权代理有限 公司 323 31 专利代理师 周鑫 (51)Int.Cl. G01N 3/10(2006.01) G01N 3/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种单晶硅棒 抗拉强度的检测装置 (57)摘要 本实用新型适用于单晶硅棒生产技术领域, 公开了一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置, 其包 括左基板, 所述左基板右侧顶端的中部安装有拉 力检测传感器, 且左基板通过拉力检测传感器与 右基板相连接, 所述左基板与右 基板的顶部均固 定有棒架, 所述棒架的顶端设置有夹持液压缸, 且棒架的中部开设有夹持槽, 所述夹持槽内部的 底端固定有下夹片, 所述夹持液压缸的活塞 杆上 固定有上夹片, 所述左基板内部的中部安装有检 测液压缸, 且检测液压缸的活塞杆与右基板的左 端固定对接。 本实用新型通过棒架内设置有快速 夹持机构, 对硅棒进行夹持检测过程中, 可对硅 棒形成快速的夹持 效果, 同时夹持处设置有防滑 机构, 将保证后序检测时对硅棒拉力的检测质 量。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217786758 U 2022.11.11 CN 217786758 U 1.一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置, 其特征在于, 包括左基板(1), 所述左基板(1)右 侧顶端的中部安装有拉力检测传感器(6), 且左基板(1)通过拉力检测传感器(6)与右基板 (2)相连接, 所述左基板(1)与右基板(2)的顶部均固定有棒架(3), 所述棒架(3)的顶端设置 有夹持液压缸(4), 且棒架(3)的中部开设有夹持槽(5), 所述夹持槽(5)内部的底端固定有 下夹片(10), 所述夹持液压缸(4)的活塞 杆上固定有上夹片(9), 所述左基板(1)内部的中部 安装有检测液压缸(12), 且检测液压缸(12)的活塞 杆与右基板(2)的左端固定对接, 所述夹 持槽(5)的内部插接有硅棒(13)。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置, 其特征在于, 所述右基板 (2)左侧的两端均固定有稳固杆(7), 所述左基板(1)右侧的两端均开设有杆槽(8), 且稳固 杆(7)的末端插接 于杆槽(8)的内部 。 3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置, 其特征在于, 所述上夹片 (9)与下夹片(10)的内壁均匀分布固定有防滑头(1 1), 且防滑头(1 1)的末端呈尖头状。 4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置, 其特征在于, 所述左基板 (1)与右基板(2)底端的四角均安装有滚轮(15)。 5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置, 其特征在于, 所述左基板 (1)的表面设置有开关(14), 所述开关(14)与夹持液压缸(4)和检测液压缸(12)为电性连 接。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217786758 U 2一种单晶硅棒 抗拉强度的检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型适用于单晶硅棒生产技术领域, 尤其涉及一种单晶硅棒抗拉强度的检 测装置。 背景技术 [0002]目前, 随着单晶行业的发展, 大热场大投料量已成为行业发展趋势, 晶棒的拉制长 度也随之增 加, 这就要求籽晶所承受的拉力越来越大。 [0003]而现有技术中需要对单晶硅棒进行抗拉强度检测, 在对单晶硅棒进行检测时, 需 要对两端进 行固定夹持, 传统夹持方式需要通过螺栓紧固单晶硅棒, 费时费力, 无法形成快 速的检测效果, 为了解决上述中存在的问题, 因此, 我们提出一种单晶硅棒抗拉强度的检测 装置。 实用新型内容 [0004]本实用新型提出的一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置, 解决了背景技术中提出的 问题。 [0005]为了实现上述目的, 本实用新型采用了如下技 术方案: [0006]一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置, 包括左基板, 所述左基板右侧顶端的中部安 装有拉力检测传感器, 且左基板通过拉力检测传感器与右基板相连接, 所述左基板与右基 板的顶部均固定有棒架, 所述棒架的顶端设置有夹持液压缸, 且棒架的中部开设有夹持槽, 所述夹持槽内部的底端固定有下夹片, 所述夹持液压缸 的活塞杆上固定有上夹片, 所述左 基板内部的中部安装有检测液压缸, 且检测液压缸 的活塞杆与右基板的左端固定对接, 所 述夹持槽的内部插接有硅棒。 [0007]优选的, 所述右基板左侧的两端均 固定有稳固杆, 所述左基板右侧的两端均开设 有杆槽, 且稳固杆的末端插接 于杆槽的内部 。 [0008]优选的, 所述上夹片与下夹片的内壁均匀 分布固定有防滑头, 且防滑头的末端呈 尖头状。 [0009]优选的, 所述左基板与右基板底端的四角均安装有滚轮。 [0010]优选的, 所述左基板 的表面设置有开关, 所述开关与夹持液压缸和检测液压缸为 电性连接 。 [0011]与现有技 术相比, 本实用新型的有益效果是: [0012]1、 本实用新型通过棒架内设置有快速夹持机构, 对硅棒进行夹持检测过程中, 可 对硅棒形成快速的夹持效果, 同时夹持处设置有防滑机构, 将保证后序检测时对硅棒拉力 的检测质量。 [0013]2、 本实用新型通过稳固杆的末端位于杆槽的内部, 在左基板与右基板分离检测过 程中, 稳固杆将保证该装置整体运行 过程中的稳定, 保证拉力检测数值的精准。说 明 书 1/3 页 3 CN 217786758 U 3

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