(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221137493.X (22)申请日 2022.05.12 (73)专利权人 江西兆驰半导体有限公司 地址 330096 江西省南昌市南昌 高新技术 产业开发区天祥北 大道1717号 (72)发明人 任想想　范绅钺　文国昇　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) G03F 7/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种吹扫装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种吹扫装置， 应用于压 印设备， 压印设备包括压印腔室和设备腔体， 压 印腔室内设置有工位平台， 吹扫装置包括安装支 架和喷嘴， 喷嘴通过转动组件与安装支架连接， 设备腔体上设有排气口， 排气口与喷嘴位置相 对， 通过排气口将压印腔室与抽气泵连通， 当抽 气泵工作时， 能够将喷嘴吹扫的颗粒杂质排出压 印腔室。 本实用新型提供的吹扫装置， 不仅能够 解决工位平台存在颗粒杂质， 影 响对晶圆真空吸 附， 导致机台异常报警的问题， 同时， 还能避免晶 圆表面存在颗粒， 导致产出的产品存在批量性缺 陷的问题， 有效地 提高了产品良率。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217191348 U 2022.08.16 CN 217191348 U 1.一种吹扫装置， 应用于压印设备， 所述压印设备包括压印腔室和设备腔体， 所述压印 腔室内设置有工位平台， 所述工位平台用于放置晶圆， 其特征在于， 所述吹扫装置包括安装 支架和喷嘴， 所述安装支架位于所述工位平台的一侧， 所述喷嘴通过转动组件与所述安装 支架连接， 所述转动组件用于调节所述喷嘴的吹扫角度， 所述设备腔体上设有排气口， 所述 排气口与所述喷嘴位置相对， 所述压印腔室经所述排气口与抽气泵连通， 以使所述抽气泵 将所述喷 嘴吹扫的颗粒杂质排出 所述压印腔室。 2.根据权利要求1所述的吹扫装置， 其特征在于， 所述转动组件包括第一连杆、 第二连 杆和滑块， 所述喷嘴通过所述第一连杆与所述安装支架转动连接， 所述第二连杆的一端与 所述第一连 杆的中部铰接， 另一端与所述滑块铰接， 所述滑块与所述 安装支架滑动连接 。 3.根据权利要求2所述的吹扫装置， 其特征在于， 所述转动组件还包括驱动气缸， 所述 驱动气缸安装于所述安装支架上， 所述驱动气缸 的活塞杆与所述滑块固定连接， 所述驱动 气缸驱动所述滑块移动， 以使所述第一连 杆带动所述喷 嘴进行转动。 4.根据权利要求3所述的吹扫装置， 其特征在于， 所述安装支架上设置有保护罩， 所述 保护罩覆盖所述驱动气缸， 所述保护罩上开设有插接孔， 所述活塞杆通过所述插接孔与所 述滑块固定连接 。 5.根据权利要求1所述的吹扫装置， 其特征在于， 所述设备腔体的外侧壁设置有收集腔 室， 所述排气口与所述收集腔室贯通， 所述收集腔室通过气管与所述抽气泵贯通连接， 所述 收集腔室内设有吸尘袋， 所述吸尘袋用于收集 排出的颗粒杂质。 6.根据权利要求1所述的吹扫装置， 其特征在于， 所述压印腔室的底面垂直设置有螺 杆， 所述安装支架上开设有螺纹孔， 所述螺杆与所述螺纹孔螺纹连接， 所述设备腔 体的底面 连接有驱动电机， 所述驱动电机的输出轴与螺杆远离所述 安装支架的一端固定连接 。 7.根据权利要求6所述的吹扫装置， 其特征在于， 所述压印腔室的底面垂直设置有限位 部， 所述限位部位于所述螺杆的一侧， 且所述 安装支架的外侧壁与所述限位部贴合接触。 8.根据权利要求7所述的吹扫装置， 其特征在于， 所述安装支架的外侧壁上固定连接有 限位块， 所述限位部上开设有限位槽， 所述限位 块插接于所述限位槽中。 9.根据权利要求6所述的吹扫装置， 其特征在于， 所述驱动电机通过承载台与 所述设备 腔体的底面固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217191348 U 2一种吹扫装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及蓝宝石晶圆制备技 术领域， 特别涉及一种吹扫装置 。 背景技术 [0002]PSS(Patterned  Sapphire  Substrate， 图形化蓝宝石衬底)是在蓝宝石衬底表面 形成具有围观图形的蓝宝石衬底， 图形化衬底一方面能够有效降低外延结构层的位错密 度， 提高外延材料的晶体质量和均匀性， 进而提高发光二极管的内部量子效率； 另一方面由 于图形结构增加了光的散射， 改变了发光 二极管的光学线路， 提升 了出光几率。 [0003]目前， PSS工艺包括图形复制和图形转移， 在图形转移的过程中， 通常采用压印机 对来料晶圆进行压印， 以实现图像转移， 然而， 由于压印机工位腔室内为常规大气状态， 在 工艺制程过程中， 晶圆的正面被压印机上的软膜压印后， 会产生软膜碎屑， 导致产品存在批 量性缺陷， 影响成品率， 同时产生的碎屑也会随着掉落至晶圆工位上， 从而导致晶圆真空吸 附异常， 致使机台报警。 实用新型内容 [0004]基于此， 本实用新型的目的是提供一种吹扫装置， 以解决上述现有技 术中的不足。 [0005]一种吹扫装置， 应用于压印设备， 所述压印设备包括压印腔室和设备腔体， 所述压 印腔室内设置有工位平台， 所述工位平台用于放置晶圆， 所述吹扫装置包括安装支架和喷 嘴， 所述安装支架 位于所述工位平台的一侧， 所述喷嘴通过转动组件与所述安装支架连接， 所述转动组件用于调节所述喷嘴的吹扫角度， 所述设备腔体上设有排气口， 所述排气口与 所述喷嘴位置相对， 所述压印腔室经所述排气口与抽气泵连通， 以使所述抽气泵将所述喷 嘴吹扫的颗粒杂质排出 所述压印腔室。 [0006]本实用新型的有益效果是： 通过在压印设备的压印腔室内增 设吹扫装置， 利用吹 扫装置中的喷嘴对放置于工位平台上的晶圆以及工位平台进 行吹扫， 再利用抽气泵和排气 口的配合工作， 将喷嘴吹扫出 的颗粒杂质排出压印腔室， 不仅能够解决工位平台存在颗粒 杂质， 影响对晶圆真空吸附， 导致机台异常报警的问题， 同时， 还能避免晶圆表 面存在颗粒， 导致产出的产品存在批量 性缺陷的问题， 有效地 提高了产品良率。 [0007]优选的， 所述转动组件包括第一连杆、 第二连杆和滑块， 所述喷嘴通过所述第一连 杆与所述安装支架转动连接， 所述第二连杆 的一端与所述第一连杆的中部铰接， 另一端与 所述滑块铰接， 所述滑块与所述 安装支架滑动连接 。 [0008]优选的， 所述转动组件还包括驱动气缸， 所述驱动气缸安装于所述安装支架上， 所 述驱动气缸 的活塞杆与所述滑块固定连接， 所述驱动气缸驱动所述滑块移动， 以使所述第 一连杆带动所述喷 嘴进行转动。 [0009]优选的， 所述驱动电机通过承载台与所述设备腔体的底面固定连接 。 [0010]优选的， 所述设备腔体的外侧壁设置有收集腔室， 所述排气口与所述收集腔室贯 通， 所述收集腔室通过气管与所述抽气泵贯通连接， 所述收集腔室内设有吸尘袋， 所述吸尘说　明　书 1/4 页 3 CN 217191348 U 3