(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221167021.9 (22)申请日 2022.05.16 (73)专利权人 无锡中环应用材 料有限公司 地址 214200 江苏省无锡市宜兴经济技 术 开发区东氿大道 (72)发明人 徐益林　武瑞　武治军　曹政民　 曹进根　陈春娟　贾鹏程　王大伟　 贾海东　栾文凯　陈列波　朱东晓　 王青山　 (74)专利代理 机构 无锡市天宇知识产权代理事 务所(普通 合伙) 32208 专利代理师 蒋飞 (51)Int.Cl. B65G 13/06(2006.01) B65G 47/248(2006.01)B08B 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种单晶棒 托盘清理装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种单晶棒托盘清理装 置， 包括布置在输送线上的支架， 支架内水平布 置有一转框， 转框的一对平行框边上伸出有转 轴， 支架上布置有转轴穿过的安装孔， 支架上布 置有驱动转轴转动的驱动组件， 转框上布置有一 条放置托盘的辊道， 辊道输送方向与输送线输送 方向一致， 转框上布置有用于支撑托盘的压板， 压板位于辊道上方且布置在辊道两侧， 支架上布 置有吹扫组件， 吹扫组件位于转框的下方。 本实 用新型中将空托盘翻转后吹扫， 将托盘上的异物 去除， 避免出现异 物粘附在晶棒上的现象。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217755279 U 2022.11.08 CN 217755279 U 1.一种单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 包括布置在输送线上的支架， 支架内水平布 置有一转框， 转框的一对平行框边上伸出有转轴， 支架上布置有转轴穿过的安装孔， 支架上 布置有驱动转轴转动的驱动组件， 转框上布置有一条放置托盘的辊道， 辊道输送方向与输 送线输送方向一致， 转框上布置有用于支撑托盘的压板， 压板位于辊道上方且布置在辊道 两侧， 支架上布置有吹扫组件， 吹扫组件位于转框的下 方。 2.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 压板位于辊道的入口一侧 布置有喇叭口。 3.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 所述吹扫组件包括固定在 支架上的风刀， 风刀布置在沿辊道输送方向布置在辊道两侧的下方， 两风刀的刀口朝上布 置且向内侧倾 斜。 4.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 支架上布置有废渣收集 盒， 废渣收集盒位于吹扫组件下 方。 5.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 支架上固定有扫码器， 扫 码器位于转框的上 方， 扫码器的工作头朝向辊道。 6.根据权利要求5所述的单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 所述辊道包括布置在转框 内的一排具有内置电机的滚筒； 驱动机构包括固定在支架上 的驱动电机， 驱动电机的输出 轴和转框的转轴上布置有带轮， 两带轮通过皮带连接； 驱动电机、 扫码器、 内置电机均电信 号连通。 7.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 转框上布置有若干压 紧托 盘用旋转夹紧气缸， 旋转夹紧气缸布置在辊道两侧。 8.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 支架上布置有转轴 插入的 轴承座。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217755279 U 2一种单晶 棒托盘清理装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及硅片生产线领域， 尤其涉及一种单晶棒 托盘清理装置 。 背景技术 [0002]为了减少工人数量， 降低工人劳动强度， 达到少 人化、 自动化、 信息化的智能制造 工厂建设。 拆包输送线包含提升机、 主输送线、 库前线等， 该设备可以实现晶棒自动从整包 晶棒线输送到晶楼库的工作。 放置在托盘上 的晶棒通过地面输送线输送到提升机上， 再通 过提升机输送到拆包输送线上， 通过输送线输送到库前输送线， 库前输送线将晶棒输送到 晶棒库。 [0003]现有库前线没有单晶棒托盘内异物自动清理功能， 单晶检测完成后， 机器人将检 测合格的单晶进行 下放时， 存在因异 物影响造成单晶检测异常的情况。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是提供一种单晶棒 托盘清理装置 。 [0005]本实用新型的创新点在于将空托盘翻转后吹扫， 将托盘上的异物去除， 避免出现 异物粘附在晶棒上的现象。 [0006]为实现上述实用新型目的， 本实用新型的技 术方案是： [0007]一种单晶棒托盘清理装置， 其特征在于， 包括布置在输送线上的支架， 支架内水平 布置有一转框， 转框的一对平行框边上伸出有转轴， 支架上布置有转轴穿过的安装孔， 支架 上布置有驱动转轴转动的驱动组件， 转框上布置有一条放置托盘的辊道， 辊道输送方向与 输送线输送方向一致， 转框上布置有用于支撑托盘的压板， 压板位于辊道上方且布置在辊 道两侧， 支 架上布置有吹扫组件， 吹扫组件位于转框的下 方。 [0008]输送线的空托盘被输送至辊道上， 驱动组件 驱动转框转动， 将托盘转动至背面， 托 盘工作面上的异物自然掉落， 吹扫组件对粘附在托盘工作面的异物清理， 清理完成后， 驱动 组件带动转框复位， 辊道将托盘继续输送， 避免出现异物粘附在晶棒上的现象， 影响后续工 序对晶棒的检测。 [0009]进一步地， 压板位于辊道的入口一侧布置有喇叭口。 喇叭口便于将托盘送入辊道 与压板之间。 [0010]进一步地， 吹扫组件包括固定在支架上的风刀， 风刀布置在沿辊道输送方向布置 在辊道两侧的下方， 两风刀的刀口朝上布置且向内侧倾斜。 通过风刀吹托盘表 面， 使粘附在 托盘表面的异 物掉落在废渣收集盒上， 风刀吹扫效果效果 好。 [0011]进一步地， 支架 上布置有废渣收集盒， 废渣收集盒位于吹扫组件下方。 便于将废渣 收集后定期处 理， 提升工人的工作环境。 [0012]进一步地， 支架 上固定有扫 码器， 扫码器位于转框的上方， 扫 码器的工作头朝向辊 道。 托盘上布置有二维码， 二维码为每个托盘的身份证， 扫码器可以识别该托盘， 确认托盘 在流水线 上循环过次数， 当托盘循环到预定次数时， 提醒该托盘需要被清扫， 扫码 器可以用说　明　书 1/3 页 3 CN 217755279 U 3