GB-T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法

ICS 71.040.40 G 04 中华人民共和国国家标准 GB/T35158—2017 俄歇电子能谱仪检定方法 Verification method for Auger electron spectrometers 2017-12-29发布 2018-11-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T 35158—2017 目次前言引言 IN 1 范围 2 规范性引用文件 3缩略语和符号 3.1 缩略语 3.2 符号方法原理与系统构成 4.1 方法原理 4.2 系统构成 5计量单位与技术指标 5.1 计量单位 5.2技术指标 6检定环境 6.1 外观要求 6.2 安装场所要求 6.3 电源 6.4 环境温度与湿度检定项目与方法 7.1 能量标检定 7.2 强度标检定. 24 7.3 横向分辨率检定 .31 7.4 离子枪检定 7.5 荷电控制与校正检定 50 报告检定结果 8 55 检定周期· 55 参考文献 56 GB/T 35158—2017 前言本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草，本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。本标准起草单位：厦门大学、清华大学。本标准起草人：姚文清、岑丹霞、张增明、徐建、刘芬、王水菊。 Ⅲ GB/T35158—2017 引俄歇电子能谱仪（AES）广泛用于材料的实验性和常规性表面与界面分析，为纳米尺度的表面分析仪器。我国目前有多家公司几十台不同型号的该类仪器。由于没有合适的检定方法的综合性国家标准，仪器的能量标、强度标，溅射速率、横向分辨率等各项性能标准不统一，因此需要制定检定方法的国家标准，以实现获取的谱图数据的科学性和可比性，这对于促进我国光电信息、能源及新材料等相关领域的科技与产业的发展很有意义。 IV

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