ICS 71.100.20 G 86 T/ZZB 1373 —2019 7N光电子级超纯氨 7N photoelectric class hyperpure ammonia 2019 - 11 - 27发布 2019 - 12 - 31实施 浙江省品牌建设联合会 发布 团体标准 T/ZZB 1373 —2019 I 目 次 前言 ................................................................................ II 1 范围 .............................................................................. 1 2 规范性引用文件 .................................................................... 1 3 术语和定义 ........................................................................ 1 4 基本要求 .......................................................................... 2 5 技术要求 .......................................................................... 2 6 试验方法 .......................................................................... 3 7 检验规则 .......................................................................... 4 8 标志、包装、贮运及安全要求 ........................................................ 5 9 质量承诺 .......................................................................... 6 T/ZZB 1373 —2019 II 前 言 本标准依据 GB/T 1.1 —2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口。 本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位：海宁市英德赛电子有限公司。 本标准参与起草单位：浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司（排名不分先后）。 本标准主要起草人：陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）。 本标准评审专家组长：孙卫萍。 本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司负责解释。 T/ZZB 1373 —2019 1 7N光电子级超纯氨 1 范围 本标准规定了 7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运 输、贮运及安全要求和质量承诺。 本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的 氮化等生产工艺所使用的氨气。 分子式：NH 3。 相对分子质量：17.031 （按2016年国际相对原子量）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件， 仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 150.3 压力容器 第3部分：设计 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 536 —2017 液体无水氨 GB 1589 汽车、挂车及汽车列车外廓尺寸、轴荷及质量限值 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 6681 气体化工产品采样通则 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 13004 钢质无缝气瓶定期检验与评定 GB/T 13075 钢质焊接气瓶定期检验与评定 GB/T 14601 电子工业用气体 氨 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 20300 道路运输爆炸品和剧毒化学品车辆安全技术条件 GB 31573 无机化学工业污染物排放标准 GB/T 34972 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 TSG 21 固定式压力容器安全技术监察规程 TSG R0005 移动式压力容器安全技术监察规程 TSG R0006 气瓶安全技术监察规程 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 7N光电子级超纯氨 7N photoelectric class hyp erpure ammonia 纯度达到 99.999 99 %的氨。 T/ZZB 1373 —2019 2 4 基本要求 4.1 设计研发 采用化工模拟软件计算工艺参数、优化工艺流程、制定目标产品的工艺设计方案，实现客户需求。 4.2 原料 液体无水氨应符合 GB/T 536 —2017规定的一等品要求。 4.3 工艺及装备 4.3.1 采用双塔或多塔精馏工艺。 4.3.2 生产过程中采用分布式控制系统（DCS ），实现原料卸料、产线进料、精馏塔精馏、出料口在线 分析、成品充装的自动化集中控制。 4.3.3 生产现场应采用化工安全仪表系统（SIS ）及自动消防喷淋设施。 4.4 环保 采用物理分离操作，对生产过程产生的液态废氨冷凝回流至储罐回收利用，实现废水率为零；生产 过程产生的废气经尾气处理装置吸收，排放符合 GB 31573 的要求。 4.5 检验检测 4.5.1 应采用检测限为 0.01×10-6（体积分数，以 CH4计）的气相色谱分析仪进行氢、氧（氩）、氮、 烃（C1～ C3）、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 4.5.2 应采用检测限为 0.0016×10-6（体积分数）的水分分析仪进行成品水分含量的测定。 5 技术要求 5.1 7N光电子级超纯氨产品质量应符合表 1的要求。 5.2 7N光电子级超纯氨产品重金属含量应符合表 2的要求。 表1 7N光电子级超纯氨产品技术指标 项目 指标 氨（NH 3）纯度（体积分数）/10-2 ≥99.999 99 氢（H 2）含量（体积分数）/10-6 ＜0.01 氧（O 2） （氩）含量（体积分数）/10-6 ＜0.01 氮（N 2）含量（体积分数）/10-6 ＜0.01 烃（C 1～C3）含量（体积分数）/10-6 ＜0.01 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜0.01 二氧化碳（CO 2）含量（体积分数）/10-6 ＜0.01 水分（H 2O）含量（体积分数）/10-6 ＜0.05 总杂质含量（体积分数）/10-6 ≤0.1 T/ZZB 1373 —2019 3 表2 7N光电子级超纯氨产品重金属技术指标 重金属含量/10-6（质量分数） 指标 气相 液相 锑（Sb） ＜ 0.005 0.005 镉（Cd） ＜ 0.001 0.001 钙（Ca） ＜ 0.01 0.05 铬（Cr） ＜ 0.001 0.005 钴（Co） ＜ 0.001 0.005 铜（Cu） ＜ 0.005 0.01 镓（Ga） ＜ 0.001 0.005 碲（Te） ＜ 0.001 0.005 铅（Pb） ＜ 0.001 0.005 锂（Li） ＜ 0.001 0.001 镁(Mg) ＜ 0.001 0.005 锰（Mn） ＜ 0.001 0.005 钼（Mo） ＜ 0.001 0.005 镍（Ni） ＜ 0.001 0.01 钾（K） ＜ 0.001 0.001 硅（Si） ＜ 0.01 0.05 钠（Na） ＜ 0.005 0.01 锡（Sn） ＜ 0.001 0.01 锌（Zn）